【課題】各ノズルからのインク吐出量の安定化や、ノズル及び吐出室の高密度化、多列化が可能な液滴吐出ヘッドを得る。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル３１が形成されたノズル基板３０と、ノズル３１のそれぞれに連通し、底壁が振動板２２となる複数の吐出室２１、振動板２２のそれぞれに形成された複数の個別電極２４、及び個別電極２４のそれぞれの間に形成された絶縁層２３を有するキャビティ基板２０と、少なくとも振動板２２と対向する範囲に振動板２２を駆動する共通電極１１が形成された電極基板１０と、キャビティ基板２０と電極基板１０との間に設けられ、振動板２２と共通電極１１との間にギャップを形成するスペーサ層１５とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】低電圧印加で振動板の十分な変位量が得られる静電アクチュエータを提供する。
【解決手段】電気分極したエレクトレット層１、絶縁層２、電極層３が順に積層された電極側部材１０の電極層３に、可撓性及び導電性を有する振動板２１が絶縁膜２５を介して変形可能に密接配置されており、振動板２１と電極層３との間に電圧を印加して振動板２１を変形させるようにした静電アクチュエータ。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔形成のための処理時間が短く、材料が少なくて済み、安全性に優れ、安価に製造することができるシリコン製ノズル基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】シリコン基材１の表面にシラザンのようなシリコン窒素化合物１０１を成膜する工程と、成膜されたシリコン窒素化合物１０１を焼成する工程と、成膜され焼成されたシリコン窒素化合物１０１の上にレジスト１０２を塗布して開口部１０２ａを形成する工程と、レジスト１０２に形成された開口部１０２ａよりウェットエッチングして、シリコン窒素化合物１０１に、シリコン基材１００側に小径化していく液導入側のノズル孔部１１０ａを形成する工程と、成膜され焼成されたシリコン窒素化合物１０１をマスクとしてドライエッチングし、シリコン基材１に液吐出側のノズル孔部１１０ａを形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】コスト上昇を招くことなく、エッチング時の水素ガス発生による振動板破壊を防いだ精度の高い静電型アクチュエータなどを提供すること。
【解決手段】ベース基板上に変形可能な振動板とこれに所定のギャップを介して対向する電極とを備え、前記振動板を静電力により変形させる静電型アクチュエータにおいて、前記ギャップは、前記ギャップと略同じ高さに形成された梁で囲まれ、前記梁は複数の層からなる静電型アクチュエータを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動板の貼り付きを防止し、また当接面側の絶縁膜あるいはＤＬＣ膜の異物化を防止するとともに、駆動耐久性に優れ、高電圧駆動が可能な静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びそれらの製造方法並びに液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板上に形成された個別電極５と、この個別電極５に対して所定のギャップを介して対向配置された振動板６と、個別電極５と振動板６との間に静電気力を発生させて、振動板６に変位を生じさせる駆動制御回路４０とを備えた静電アクチュエータにおいて、振動板６または個別電極５上に酸化物系絶縁膜が形成され、この酸化物系絶縁膜の上に、さらに体積抵抗率が異なる、複数の水素化アモルファスカーボン膜を重ねて形成する。 （もっと読む）

【課題】優れたインクジェットプリンタ用のカートリッジユニットを提供する。
【解決手段】インクジェットプリンタ用のカートリッジユニットは、１つまたは複数のインク貯蔵コンパートメントを有する本体部分と、上記インク貯蔵コンパートメントからインクを受け取り、その長さに沿ってインクを分配するページ幅印字ヘッドアセンブリとを備え、ページ幅印字ヘッドアセンブリが、その長さに沿って延びる１つまたは複数の集積回路を備え、集積回路間に継手が形成され、各集積回路には、その上に複数のノズルが形成され、各ノズルが、使用中に上記インク供給チャネルからインクを受け取り、通過する印刷媒体にインクを送るように配置され、集積回路の１つの端に隣接する行の各ノズルが、ある度合のノズルオーバーラップを継手で提供し、継手に跨るノズルピッチを維持するため、ノズルの残りに関して垂直に変位される。 （もっと読む）

【課題】微振動駆動工程においてノズル近傍の液体を良好に撹拌することができ且つ液滴が噴射されてしまうのを防止することができる液体噴射装置の制御方法及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】第１〜第ｎの少なくとも２つ以上のパルス信号を含む駆動電圧パルス信号３０３が一定間隔で連続する駆動電圧信号によって振動板を振動させる駆動方式を有すると共に、この駆動方式によってノズルから液滴を噴射させない程度の圧力変動を圧力室に発生させてノズル近傍の液体を撹拌する微振動駆動工程を有し、微振動駆動工程では、第１のパルス信号３０１を印加後、メニスカスがノズルの外側に向かって変位しているタイミングで第２のパルス信号３０２の印加を開始する。 （もっと読む）

【課題】製造上の不都合を回避可能で、且つ、振動板の駆動形態や当接順序を制御することができ、安定した振動板動作を行うことが可能な静電アクチュエータ等を提供する。
【解決手段】静電気力によって駆動される振動板４と、振動板４にギャップを隔てて対向する対向電極１１とを備え、対向電極１１の振動板側表面に、複数の領域（第１の領域３１、第２の領域３２）を有する絶縁層３０が形成され、各領域３１、３２毎に、それぞれ異なる材料からなる絶縁膜３１ａ、３２ａが形成されているものである。 （もっと読む）

【課題】製造工程途中において、エッチング液やエッチングガスのギャップへの侵入に起因する歩留まり低下を防止することが可能な静電アクチュエータの製造方法等を提供する。
【解決手段】振動板と振動板にギャップを介して対向配置された対向電極とを有し封止されているアクチュエータ部を備えた静電アクチュエータの製造方法であって、ガラス基板３００に凹部３２を形成し、凹部３２内に対向電極３１を形成する工程と、ガラス基板３００の凹部３２内に、封止用の壁を低融点ガラス３５ａにより形成する工程と、ガラス基板３００とシリコン基板２００とを接合し、封止用の壁により、凹部３２を最終的にアクチュエータ部となる部分とそれ以外の部分とに分離するとともに、最終的にアクチュエータ部となる部分を封止する工程と、シリコン基板２００を薄板化して少なくとも振動板２２を形成し、アクチュエータ部を完成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】安価な原料によって耐薬品性、親水性を確保することのできる耐液保護膜を有した液滴吐出ヘッド等を提供すること。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル孔１１と、それぞれのノズル孔１１に連通する複数の吐出室２１と、各吐出室２１に連通され吐出室２１に液体を供給する共通液滴室２３と、吐出室２１の壁面に形成された振動板６と、振動板６に対向配置された対向電極５とを備え、複数の基板１、２、３を積層してなる液滴吐出ヘッド１０であって、前記基板１、２、３の液体と接触する面に、窒素を導入したダイアモンドライクカーボン膜からなる親水性の耐液保護膜１５、１８が形成されたものである。この耐液保護膜１５、１８は、単層構造であってもよく、複数層構造であってもよい。 （もっと読む）

【課題】ＤＬＣ膜の密着性改善を図り、駆動耐久性に優れ、高電圧駆動が可能な静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びそれらの製造方法並びに液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板上に形成された個別電極５と、この個別電極５に対して所定のギャップを介して対向配置された振動板６と、個別電極５と振動板６との間に静電気力を発生させて、振動板６に変位を生じさせる駆動制御回路４０とを備えた静電アクチュエータにおいて、振動板６または個別電極５上に酸化物系絶縁膜７が形成され、この酸化物系絶縁膜７の上に密着膜８を形成し、さらにこの密着膜８の上にダイアモンドライクカーボン膜９を形成する。 （もっと読む）

【課題】絶縁層を構成する表面保護膜を改質処理し、寿命が長く、しかも高い吐出能力を維持して安定して駆動することができる静電アクチュエータ等を提供する。
【解決手段】振動板２０と対向電極３０との対向面のいずれか一方または両者に絶縁層２５、２５０が設けられ、絶縁層２５、２５０が、誘電体膜２６、２６０とその上に形成された表面保護膜２７、２７０とからなり、表面保護膜２７、２７０が表層部にＣ−Ｆ結合部分２７ｂ、２７０ｂを有するダイヤモンドライクカーボン膜２７ａ、２７０ａである。この製造工程は、シリコン基板２の表面と、対向電極３の表面とのいずれか一方または両者に誘電体膜２６、２６０を形成し、その上にダイヤモンドライクカーボン膜２７ａ、２７０ａを形成する工程と、ダイヤモンドライクカーボン膜２７ａ、２７０ａの表面にフッ素系ガスのプラズマを照射して表層部をＣ−Ｆ結合に改質する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】 従来ノズル部で生じ易かったインクの固着による詰まり等を防ぎ、印字品質を確保し得る液滴飛翔装置を得る。
【解決手段】 振動を音響放射圧５として音響伝搬部材４とインク溜り９内のインク１０を通し、ノズル穴７のインク液面からインク液滴６を飛翔させて印字を行う音響インクジェットプリンタにおいて、ノズル穴を形成するノズルプレート１２を交換可能に構成する。このノズルプレートは、ヘッド本体内の新品ノズルプレート仮置き位置１９へ手で置くと、通常使用位置へ自動で搬送される。また、使用済みノズルプレートは、通常使用位置から旧品ノズルプレート仮置き位置２０へ自動で搬送される。 （もっと読む）

【課題】ノズル先端開口縁部のエッジダメージやエッジダレ、及びノズル内部の樹脂残りなどがなく、ノズル形状の安定性とノズル内部の清浄度の高いノズル基板の製造方法、さらには、吐出性能の向上と生産性向上を同時に実現する液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】シリコン基板１００の一方の面側から、ノズル１１となる凹部を形成する工程と、凹部の先端部に樹脂４０を充填する工程と、凹部が形成された面に、支持基板６０を貼り合わせる工程と、凹部が形成された面と反対側の面から、樹脂が露出するまでシリコン基板を薄板化する工程と、薄板化されたシリコン基板から支持基板を剥離し、その後、樹脂を除去することにより、ノズルを開口する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ヘッド内の温度分布のばらつきをなくしヘッド全体の温度を均一にできる静電型アクチュエータの提供。
【解決手段】加圧液室の壁面を形成する振動板１１と対向電極１３との間に静電力を発生させて振動板を変形して振動板の復元力により液を加圧する静電型アクチュエータにおいて、加圧液室を加熱する加熱素子４１と、加圧液室の温度を検知する温度検知素子とを振動板に形成し、温度検知素子によって検知される加圧液室の温度に応じて加圧液室内の温度を所定の温度範囲に制御する。 （もっと読む）

【課題】複雑な構造にすることなく、チップサイズの小型化及びノズル孔の多列化を容易に両立させることができる液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１００は、振動板３２と個別電極４２とをガラス溝４５に起因するエアギャップ４１を介して対向させるとともに、キャビティ基板３の電極基板４との接合面の一部を貫通穴４４を介して露出させ、キャビティ基板３の電極基板との接合面に、一端を個別電極４２の表面に接続し、他端をガラス溝４５の開放端部から貫通穴４４形成部分にまで延設した個別電極リード３６を形成し、貫通穴４４を介してキャビティ基板３の露出面側から個別電極リード部３６に駆動信号を印加可能にした。 （もっと読む）

【課題】複雑な構造にすることなく、インクのカラー化及びチップサイズの小型化を両立させるとともに、リザーバ間の隔壁の剛性を確保した液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１００は、ノズル列１５が形成されたノズル基板１と、底壁が振動板３２となる複数の圧力室３１が形成されたキャビティ基板３と、複数の圧力室３１の所定個数毎に液体を供給する開口形成された複数のリザーバ２１、ノズル連通穴２４、及び、リザーバ２１の開口部外周の一部を圧力室３１方向に延設させてリザーバ２１と圧力室３１とを連通させる供給口２２が形成されたリザーバ基板２と、振動板３１を駆動する個別電極４２が凹部４５内に形成された電極基板４と、を備え、供給口２２は、リザーバ基板２の開口部の形成面に所定の深さの凹部により構成されている。 （もっと読む）

【課題】小型化及び低コスト化を実現しつつ、信頼性の向上を図るようにした液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１００は、液滴を吐出するノズル孔４１が形成されたノズル基板４０と、ノズル孔４１と連通し、底壁が振動板２２となる吐出室２１が形成されたキャビティ基板２０と、振動板２２にギャップ１５をもって対向し、振動板２２を駆動する個別電極１２及び個別電極１２を設ける凹部１１が形成された電極基板１０とを備え、電極基板１０の凹部１１の一方の端部側に、電極基板１０を貫通させた封止溝穴１３を形成し、個別電極１２に接続するように金属材料を封止溝穴１３に成膜することで、この金属材料をギャップ１５の封止部とするとともに、個別電極１２に電圧を印加する際の入力配線としている。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、振動板全体で充分な圧力を効率良く得ることができる熱屈曲型アクチュエータ、このアクチュエータを備えた液体吐出ヘッド、マイクロポンプ及び光変調デバイス、この液体吐出ヘッドを備えたインクカートリッジ及び画像形成装置を得ることである。
【解決手段】本発明に係る熱屈曲型アクチュエータは、個別液室（液室）６又は流路３３の壁面部分を構成する振動部（振動板）１５を熱膨張により屈曲させて液室内又は流路内の流体の圧力を変化させることにより流体を移動させるアクチュエータであって、振動部１５の短辺方向の幅を長辺方向に沿って徐々に狭くなるようにしている。 （もっと読む）

【課題】振動板の絶縁膜や電極基板の個別電極の耐久性や信頼性を向上させることができ、基板積層の際のアラインメントも容易になる静電アクチュエータを得ること。
【解決手段】シリコン基板２のガラス製の電極基板３との接合側面に、ダイヤモンドライクカーボン膜９ｂとＳｉＯ₂膜を成膜し、シリコン基板２と電極基板３とを密着させて陽極接合し、シリコン基板２と電極基板３とから構成される隙間１７に、エッチングガスまたはエッチング液を導入して、隙間１７に対面する先に成膜されたＳｉＯ₂膜を除去する。 （もっと読む）