【課題】振動板と対向電極との間の残留電荷影響の低減を実現して、安定した駆動が可能な静電アクチュエータを得ること。
【解決手段】一方の電極として作用する可撓性を有した振動板１２と、振動板１２にギャップ１０を隔てて対向し振動板１２との間で電圧が印加される対向電極１７とを備え、振動板１２の対向電極１７との対向面に絶縁膜１６Ｂが形成されている静電アクチュエータであって、絶縁膜１６Ｂが形成された振動板１２と対向電極１７との対向面の少なくとも一方の面に、ダイヤモンドライクカーボンなどのカーボン材料からなる表面層１６Ｃを形成している静電アクチュエータ。 （もっと読む）

【課題】気泡の巻き込みによる噴射の不具合を抑制することが可能な液体噴射ヘッド、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】結晶性基材から成り、インクを噴射するノズル８がエッチング加工により開設されたノズル基板を有し、ノズルは、結晶性基材の板厚方向に同軸上で連続し直径の異なる複数のノズル部から成り、各ノズル部のうち最も噴射側に位置する第１の直径Ｄ１の第１ノズル部８ａと、当該第１ノズル部に連続し第１の直径よりも大きい第２の直径Ｄ２の第２ノズル部８ｂとの径差が、第１の直径に対して０．１以上０．４以下である。 （もっと読む）

【課題】高精度な液滴吐出を行う液滴吐出ヘッドを提供する。特に、溶融金属を液滴として吐出する場合における吐出精度の高い液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】電極部を有する第１基板と、前記第１基板と接合され、前記電極部に対向して配置された振動部を有するとともに、液体流路の一部を構成する第２基板と、前記第２基板と接合され、前記液体流路の一部を構成するとともに、前記液体流路の一部に設けられたノズルを有する第３基板と、前記液体流路の近傍に設けられた発熱抵抗体層と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出の際の振動部の振動制御を行い、駆動周波数を高める。
【解決手段】ノズルと、前記ノズルに連通するとともに、前記液体を貯留する液体室と、弾性変位可能に形成された振動部と、前記振動部に対して空間を隔て、前記振動部に対向して配置された電極部と、前記振動部および前記電極部の間の充放電を行う電圧印加部とを有する第１静電アクチュエーターと、前記空間における気体の圧力を調整する圧力調整部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】優れた熱曲げアクチュエータなどを提供する。
【解決手段】熱曲げアクチュエータは、駆動回路構成に接続するためのアクティブビームと、アクティブビームと機械的に協働するパッシブビームと、を含む。アクティブビームに電流が流れると、アクティブビームはパッシブビームに対して膨張し、その結果、アクチュエータの曲げが生じる。パッシブビームは、窒化シリコンから成る第１層と、二酸化シリコンから成る第２層と、を含む。第２層は、第１層とアクティブビームとの間に狭持され、第１層のための断熱をもたらす。 （もっと読む）

【課題】振動板の貼り付きを防止し、また当接面側の絶縁膜あるいはＤＬＣ膜の異物化を防止するとともに、駆動耐久性に優れ、高電圧駆動が可能な静電アクチュエーター、吐出ヘッド及びそれらの製造方法並びに吐出装置を提供する。
【解決手段】静電アクチュエーターは、基板８上に形成された固定電極１４と、固定電極１４に対して所定のギャップＧを介して対向配置された可動電極１２と、を備え、固定電極１４と可動電極１２との間に静電気力を発生させて、可動電極１２に変位を生じさせる静電アクチュエーターであって、可動電極１２又は固定電極１４上に酸化物系絶縁膜２２が形成され、この酸化物系絶縁膜２２の上に、水酸化アモルファスカーボン膜２４が形成され、さらにギャップＧ内部が放電抑制ガス５８雰囲気に保たれている。 （もっと読む）

【課題】曲げ方向を逆側に反転させて液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、液滴吐出ヘッドが捩じれても、狙いどおりに液滴吐出ヘッドを曲げて逆側に反転させることができる液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出装置を得る。
【解決手段】流路部材１２には、ノズル１６が形成された吐出板５６と、吐出板５６と対向する対向板５８が設けられている。吐出板５６と対向板５８との間に設けられる空間を区画して複数個の液流路１４を形成する区画壁６０は、液流路１４の長手方向に延び、断面円形状とされている。液滴吐出ヘッド１０を曲げる場合に、連結部材４０による支持部材２０の把持位置がずれて液滴吐出ヘッド１０が捩じれてしまったときでも、区画壁６０の断面が円形状であるため全方向に渡って同じように曲がり、矩形状の断面である場合と比して、断面円形状の区画壁６０は、狙いどおりに曲がり、狙いどおりに液滴吐出ヘッド１０を曲げて逆側に反転させる。 （もっと読む）

【課題】優れた印刷ヘッド（特に、インク噴射面上をコーティングするポリシルセスキオキサンを有する印刷ヘッド）を提供する。
【解決手段】疎水性ポリマー材料でコーティングされたインク噴射面を有する印刷ヘッド。ポリマー材料が、ポリ（メチルシルセスキオキサン）又はポリ（フェニルシルセスキオキサン）等のポリシルセスキオキサンから成る。印刷ヘッドは、インク噴射面と接触することを必要とする様々な印刷ヘッド保守操作に適応できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、変位量を向上させることで高集積化及び低コスト化を実現した圧電型アクチュエータ、それを用いた液滴吐出ヘッド、画像形成装置を提供する。
【解決手段】弾性体２１ａの圧電素子２１を設けた面に、圧電素子２１とは所定の空隙を有するように設けた基板１０を備え、圧電素子２１は、各圧電素子間で共通に電圧を印加される第１の共通電極２１ｂと、圧電体膜２１ｃと、各圧電素子間で個別に電圧を印加される個別電極２１ｄと、を弾性体側から順次積層して構成され、基板は１０、圧電素子に対向する面に、圧電素子の夫々に対応した第２の共通電極１２を有するようにした。 （もっと読む）

【課題】駆動時に電極間に発生する帯電を除去することができ、内部に異物が発生せず、長期耐久性を確保することができる静電アクチュエーター等を提供すること。
【解決手段】可動電極１１、及び可動電極１１と連続し可動電極１１に帯電した残留電荷を除電する帯電除去用可動電極１１ａと、可動電極１１とギャップを隔てて対向する固定電極２１、及び固定電極２１と分離し帯電除去用可動電極１１ａとギャップを隔てて対向する帯電除去用固定電極２３とを備え、可動電極１１と固定電極２１との間、及び帯電除去用可動電極１１ａと帯電除去用固定電極２３との間にそれぞれ電圧を印加可能に構成し、可動電極１１と固定電極２１との接触により可動電極１１に帯電した残留電荷を、帯電除去用可動電極１１ａと帯電除去用固定電極２３とを接触させて、帯電除去用固定電極２３から除去するようにした。 （もっと読む）

【課題】印字品質がよく、しかも応答速度が速いインクジェットヘッドを提案すること。
【解決手段】静電駆動式のインクジェットヘッド１において、第２ノズル１１ｂの中心に
対するインクノズル１１ａの中心を相対的にインクが供給される側の位置に形成している
。個別インク室５を結晶面方位（１１０）のシリコンに異方性エッチングで形成した場合
でも、インク液滴はノズル面３ａに対して鉛直方向に真っ直ぐ吐出するので、印字品質が
よく、かつ、応答速度の速いインクジェットヘッドを実現することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】１つの駆動周期内に印加される駆動パルス数が多く、噴射される液滴量が大きい場合の、その液滴の着弾位置のずれを抑制することが可能な、液滴噴射装置を提供すること。
【解決手段】インクジェットヘッドの、時間的に連続する駆動周期の各々に対して、非噴射波形、小玉波形、中玉波形、及び、大玉波形の４つの駆動波形から１つを選択する。その上で、ある駆動周期に対して、駆動パルスＰの多い大玉波形が選択されているときには、この大玉波形を割り当てる周期を、元の駆動周期よりも１周期以上前の駆動周期に変更する。 （もっと読む）

【課題】振動板の変位動作を排除体積が急激に変化することがないように制御することができる静電アクチュエーター、その駆動方法、並びに、その静電アクチュエーターを搭載した液滴吐出ヘッド及びそれを搭載した液滴吐出装置を得る。
【解決手段】固定電極５における振動板４に対向する領域は、その領域の長手方向の一端から他端に向かってギャップが大きくなるように階段形状に形成されており、段５ｃ〜５ｅの３つの段によって構成されている。 （もっと読む）

【課題】印字のための駆動周波数を低下させずに吐出量を大きく変化させることができる
液滴吐出ヘッドの駆動方法、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を得る。
【解決手段】駆動制御回路４１は、静電アクチュエーターに対する駆動電圧Ｖ２の印加に
よる振動板４の固定電極５への一部当接状態から、駆動電圧Ｖ２の電圧値から上昇させ、
駆動電圧Ｖ３を印加し、振動板４の固定電極５に対する当接領域を拡大させることによっ
て、インク押し出し部１２を切断し、インク滴１３として外部に吐出させる。 （もっと読む）

【課題】ギャップの封止を複雑な工程を要することなく、安価な材料を用いて行なうようにして小型化及び低コスト化を実現するようにした静電アクチュエーターを提供する。
【解決手段】本発明に係る静電アクチュエーターは、固定電極３２及びリード部３３が形成された凹部３１を有する第１の基板（電極基板３０）と、固定電極３２にギャップ４０を隔てて対向し、固定電極３２との間で発生させた静電気力により動作する可動電極（振動板２２）及びリード部３３に対向し、凹部３１に挿入されることでギャップ４０を封止している封止薄膜部２５を有する第２の基板（キャビティ基板２０）と、を備えている。 （もっと読む）

インクを含むインク容器と前記インクが印刷媒体上に吐出するために前記インクが通る出口を持つインクジェットプリンタ装置であり、前記装置はミクロ流体アクチュエータを含み、前記アクチュエータは：（ｉ）前記流体が流入する入口チャンネル；（ｉｉ）前記流体が前記入口チャンネルから受け入れられるチャンバ；（ｉｉｉ）前記チャンバから前記流体を受けとる出口チャンネルであり、かつ前記流体を前記チャンネルから流通させて、前記流体の、前記入口チャンネル、前記チャンバ及び出口チャンネルからの流通路を形成する出口チャンネル；（ｉｖ）前記チャンバの壁の一部を形成し、かつ前記チャンバ内の流体圧に応じて変位するフレキシブル膜；及び（ｅ）前記流通路内の少なくとも第一のバルブを含み、前記バルブが作動される場合に、前記流通路を通る前記流体の流れが変更され、前記チャンバを流通する前記流体圧が変化し、それにより、前記フレキシブル膜を変位させ、前記フレキシブル膜の変位により、前記インク容器から前記インクが吐出又は吐出されない、インクジェットプリンタ装置。

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【課題】吐出室の側壁の幅精度を向上させ、吐出性能の安定化を図るようにした液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１００は、液体を吐出するノズル孔１１が形成されたノズル基板１０と、ノズル孔１１と連通し、底壁が振動板２２となる吐出室２１が形成されたキャビティ基板２０と、振動板２２を駆動する個別電極３２が振動板２２にギャップ４０を隔てて対向するように形成された電極基板３０と、を備え、吐出室２１の側壁のうち少なくとも長手方向の側壁（隔壁２５）を耐アルカリ性部材で構成している。 （もっと読む）

【課題】絶縁膜の帯電を除去することにより、耐久性及び信頼性を向上させることが可能な構造とした静電アクチュエーター、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置並びに静電アクチュエーターの駆動方法を提供する。
【解決手段】基板上に形成された個別電極１１と、個別電極１１にギャップＧを隔てて対向し、個別電極１１との間で発生させた静電気力により動作する振動板４と、ギャップＧを気密封止する封止材９と、Ｘ線を照射してギャップＧ内の雰囲気を電離させるＸ線発生装置４０とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】コストを削減し、設計分野の自由度を高め、工程を自由化する流体分注サブアセンブリを提供する。
【解決手段】流体分注サブアセンブリは、トランスデューサ１７の動作により作用されるように配置された膜２０と、前記膜２０の動作により作用されるように配置された本体圧力チャンバ１３と、前記膜２０と前記本体圧力チャンバ１３の間に配置された接着剤付着層６８とを備える。 （もっと読む）

【課題】可動電極を所望の動作で制御し、液滴の吐出性能を向上させる静電アクチュエーターの駆動方法、静電アクチュエーター、それを備えた液滴吐出ヘッド及びそれを備えた液滴吐出装置を得る。
【解決手段】駆動制御回路４１によって印加される振動板４と固定電極５との間の駆動電圧として、駆動電圧Ｅと振動板４の変位ｘとの所定の関係式に基づいて求められる第１の駆動電圧６１、第２の駆動電圧６２及び第３の駆動電圧６３の３種類の駆動電圧を印加して、振動板４の変位動作を制御する。 （もっと読む）