【課題】識別マークによる強度的品質の低下を防ぐ。
【解決手段】ガラス材料からなる積層基板１３と、積層基板１３の一面に形成された発熱抵抗体と、発熱抵抗体の両端に接続され、発熱抵抗体に電力を供給する電極部とを備え、積層基板１３に固有の識別情報を示す文字または記号からなる識別マーク３０が形成され、識別マーク３０が、炭酸ガスレーザを断続的に照射して積層基板１３の一部を略長円形に溶融させた後に硬化させた溶融跡を間隔を空けて複数配列することにより構成されているサーマルヘッド１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】保護膜上における電極による段差を無くして印字効率を向上するともに、サーマルヘッドの信頼性および耐久性を向上することができるサーマルヘッドを提供する。
【解決手段】支持基板３上に設けられた発熱抵抗体７と、発熱抵抗体７上において発熱抵抗体７の表面に沿う方向に間隔をあけて設けられ、支持基板３から離れるに従って互いに離間する傾斜面８Ｃをそれぞれ有する一対の電極８と、一対の電極８の間の領域を埋設する埋設膜４と、埋設膜４により埋設された領域および一対の電極８上に形成された保護膜９とを備えるサーマルヘッドを採用する。 （もっと読む）

【課題】発熱効率が高く安定した品質のサーマルヘッドを製造する。
【解決手段】平板状の支持基板および支持基板に対して積層状態に配される平板状の上板基板の少なくとも一方の一表面に開口する凹部を形成する凹部形成工程ＳＡ１と、凹部の幅寸法を測定する凹部測定工程ＳＡ２と、支持基板と上板基板とを凹部の開口を閉塞するように積層状態に接合する接合工程ＳＡ３と、支持基板に接合された上板基板の表面における凹部に対向する領域に発熱抵抗体を形成する抵抗体形成工程ＳＡ７と、上板基板上の発熱抵抗体を覆い保護する保護膜を凹部の幅寸法および上板基板の厚さ寸法に基づいて設定される厚さで形成する保護膜形成工程ＳＡ９とを含むサーマルヘッドの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】発熱効率が高く安定した品質のサーマルヘッドを製造する。
【解決手段】平板状の支持基板および支持基板に対して積層状態に配される平板状の上板基板の少なくとも一方の一表面に開口する凹部を形成する凹部形成工程ＳＡ１と、凹部形成工程ＳＡ１により形成された凹部の幅寸法を測定する測定工程ＳＡ２と、支持基板と上板基板とを凹部の開口を閉塞するように積層状態に接合する接合工程ＳＡ４と、接合工程ＳＡ４により支持基板に接合された上板基板を、測定工程ＳＡ２により測定された凹部の幅寸法に基づいて設定される厚さまで薄板化する薄板化工程ＳＡ５と、薄板化された上板基板の表面における凹部に対向する領域に発熱抵抗体を形成する抵抗体形成工程ＳＡ６とを含むサーマルヘッドの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】大がかりな装置を用いることなく、利用されずに棄てられる熱量を見込んだ目標発熱量を精度よく出力可能な高効率のサーマルヘッドを簡易に製造する。
【解決手段】一表面に開口する断熱用凹部を有する平板状の支持基板に断熱用凹部を閉塞するように平板状の上板基板を積層状態に接合する接合工程ＳＡ２と、接合工程ＳＡ２により支持基板に接合された上板基板を薄板化する薄板化工程ＳＡ３と、薄板化工程ＳＡ３により薄板化された上板基板の厚さを測定する測定工程ＳＡ４と、測定工程ＳＡ４により測定された上板基板の厚さに基づいて発熱抵抗体の目標抵抗値を決定する決定工程ＳＡ５と、薄板化工程ＳＡ３により薄板化された上板基板の表面の断熱用凹部に対向する位置に、決定工程ＳＡ５により決定された目標抵抗値を有する発熱抵抗体を形成する抵抗体形成工程ＳＡ６とを備えるサーマルヘッドの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】サーマルプリントヘッドにグレーズ層を形成する際に、エッチングプロセスを廃止できるようにする。
【解決手段】サーマルプリントヘッドを製造する際に、支持基板の少なくとも一つの面に液体中にシリカ系材料が分散したコーティング剤を付着させた（工程Ｓ２）後に、コーティング剤を乾燥させて支持基板の表面にコーティング剤の層を形成する（工程Ｓ３）。コーティング剤は、たとえば１００ｍＰａ・ｓ程度の粘度を有するコロイダルシリカなど、粘度が１０００ｍＰａ・ｓ程度以下のものを用いる。その後、必要に応じてグレーズ層にガラスペーストを突条に印刷塗布し（工程Ｓ４）、焼成する（工程Ｓ５）。その後、グレーズ層の表面に発熱抵抗体を形成することなどによりサーマルプリントヘッドを完成させる。 （もっと読む）

【課題】エッチング速度の低下及びエッチングの不均一を改善するために、ガラスエッチング時に生成する固形の反応生成物を除去しながらエッチングを行うことにより、凸状部の高さが高く、かつ凸状部頂面およびその斜面のうねりが小さいサーマルヘッド用基板の製造方法を提供する。
【解決手段】エッチング液に超音波をかけ、そのキャビテーションにより反応生成物を除去しながらエッチングを行うことにより、一度に深く均一なエッチングを施すことが可能なグレーズ基板のエッチング方法、およびそのエッチング方法を用いた部分凸型グレーズ基板の製造方法。超音波は間欠発振とすることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ポリシリコン膜のシート抵抗のバッチごとの増加を防止すること。
【解決手段】減圧した反応管３内で気相成長法により基板上にポリシリコン膜を成膜するポリシリコン膜製造方法であって、水分供給手段によって水分を供給しつつ、上記成膜を行うことを特徴とする。このポリシリコン膜製造方法によれば、水分供給手段によって水分を供給しているので、成膜されるポリシリコン膜のシート抵抗のバッチごとの増加を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】保護層の帯電した静電気によるボンディングパッド部での静電破壊が発生しない信頼性の高いサーマルヘッドとそのサーマルヘッドの製造方法及び印画装置を提供する。
【解決手段】サーマルヘッドは、基板２５上に設けられた発熱抵抗体２４と、発熱抵抗体２４に電力を印加するための配線パターン２７，４７とボンディングパッド部５２を有し、発熱抵抗体２４が保護層５１で覆われており、基板２５は金属製のマウント２１に固定されているサーマルヘッドであって、保護層５１は、金属製のマウント２１と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】熱や荷重による応力集中の発生を抑制して、耐久性を向上することができ、かつ、十分な強度と発熱効率とを両立する。
【解決手段】絶縁基板９と、絶縁基板９の表面に接合された蓄熱層１０と、蓄熱層１０上に設けられた発熱抵抗体１１とを備え、絶縁基板９と蓄熱層１０との接合面９ａに、発熱抵抗体１１に対向する領域において、これら絶縁基板９または蓄熱層１０の少なくとも一方に凹部１６を設けることにより空洞部１７が形成され、凹部１６が、各角部に１０μｍ以上の曲率半径を有する発熱抵抗素子１を提供する。 （もっと読む）

【課題】空洞部の気体への蓄熱を抑えて、印字品質を向上する。
【解決手段】絶縁基板９と、絶縁基板９の表面に接合された蓄熱層１０と、蓄熱層１０上に設けられた発熱抵抗体１１とを備え、絶縁基板９と蓄熱層１０との接合面９ａに、発熱抵抗体１１に対向する領域において、これら絶縁基板９または蓄熱層１０の少なくとも一方に凹部１６を設けることにより空洞部１７が形成され、空洞部１７の絶縁基板９側の内表面が、表面粗さＲａ０．２μｍ以上に処理されている発熱抵抗素子１を提供する。 （もっと読む）

【課題】基板の両端の樹脂層の厚さを確保し、樹脂にクラックが入りにくい信頼性の高いサーマルヘッドとそのサーマルヘッドの製造方法及び印画装置を提供する。
【解決手段】サーマルヘッドは、複数の発熱抵抗体２４と、発熱抵抗体２４の発熱を制御する集積回路２６が段差３０を間に設けて基板上に配置され、複数の発熱抵抗体２４と集積回路２６とを電気的に接続する接続手段２８とを有するサーマルヘッドであって、基板の接続手段２８の設けていない部分には、接続手段に隣接して樹脂形状補強手段４６を設けて、集積回路２６と接続手段２８と樹脂形状補強手段４６を覆うように保護樹脂が設けられている。 （もっと読む）

【課題】各発熱部の通電による発熱量の制御をより適切に行うことが可能な記録ヘッドおよびその製造方法、並びに記録装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るサーマルヘッドは、絶縁性基板１０上に、導電層と、該導電層を介して導かれた電気により発熱する発熱抵抗体層３０と、該発熱抵抗体層３０で発生した熱を蓄積するための蓄熱層４０と、を有し、発熱抵抗体層３０における発熱部Ｈを複数配列してなるものである。蓄熱層４０は、発熱抵抗体層３０における発熱部Ｈが位置する領域Ｒ_１に形成される第１突出部４１と、発熱部Ｈの配列方向において該発熱部Ｈに隣接する領域に形成され且つ第１突出部４１より突出高さの低い第２突出部４２とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】ウェットエッチングにより微細なパターンを形成可能とした電子デバイス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】通電されることにより発熱する抵抗発熱体と、前記抵抗発熱体に接続された電極と、前記電極の少なくとも一部を覆う保護膜と、前記保護膜の略全面を被覆するＴｉＮ膜と、を備えたことを特徴とする電子デバイスが提供される。また、第１の層を形成し、前記第１の層の上にＴｉＮ膜を形成し、前記ＴｉＮ膜をマスクとして、ウェットエッチングにより前記第１の層の一部をエッチングすることを特徴とする電子デバイスの製造方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】発熱抵抗体の発熱効率を向上して消費電力の低減を図り、発熱抵抗体下部の基板の強度を向上しつつ、簡易にかつ安価に製造することができる発熱抵抗素子、これを用いたサーマルヘッド、プリンタ、及び発熱抵抗素子の製造方法を提供する。
【解決手段】サーマルヘッド４を、基板１１と、基板１１の一面に形成されるガラス製の蓄熱層１２と、蓄熱層１２上に設けられた発熱抵抗体１３とを有する構成とする。蓄熱層１２の発熱抵抗体１３に対向する領域には、発熱抵抗体１３が形成される面から離間した位置に、フェムト秒レーザーを用いたレーザー加工によって空洞部２６を複数形成する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成及び工程で高精度エッチングを実現可能なグレーズエッチング装置及びグレーズエッチング方法を得る。
【解決手段】 先ず、グレーズド基板のグレーズ面にエッチングマスクを形成する。次に、グレーズ面を腐食するエッチング液にグレーズド基板を浸漬し、該グレーズド基板のグレーズ面に対して平行にスキージーを位置させる。そして、エッチング液に超音波振動を与え、この超音波振動しているエッチング液中で、グレーズド基板とスキージーとに該グレーズド基板に平行な平面内において直交二方向の相対運動を与えながら、グレーズド基板のグレーズ面をエッチングする。 （もっと読む）