【課題】 流量が大きくなっても温度検出手段の温度測定誤差やノイズの影響を軽減して高精度で測定することが可能な熱式流量計を実現することにある。
【解決手段】 流路を流れる液体の温度を制御し温度制御部分の上流側及び下流側の流体の温度差に基づき流量を測定する熱式流量計において、接液部分が全てガラスで構成された流路と、この流路に設けられた伝熱手段と、流路上であって伝熱手段から等間隔の位置に設けられた上流側及び下流側の温度検出手段と、流路を流れる液体の流量が大きくなるに従って伝熱手段の温度を順次上昇させるように制御すると共に上流側及び下流側の温度検出手段で検出された温度の温度差を温度和で除算した規格化された温度差を求め、規格化された温度差に基づき流量を求める演算制御手段とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 タンク内液体が低粘度液体であっても傍熱式流量計による流量測定精度の低下を抑制することができ、検知精度低下を生ずることなく長期にわたって極微量の漏れを正確に検知することの可能なタンク内液体の漏れ検知装置を提供することにある。
【解決手段】 液導入出部１２から導入出されるタンク内液体が流量測定部１３内に位置する測定細管１３ｂ，１３ｂ’，１３ｂ”にその下端から導入出される。測定細管の上端に液溜め部１４の測定管１７が接続される。測定管１７は測定細管より断面積が大きい。測定細管に付設され液体の流量を測定するための流量センサ部を備える。流量センサ部はヒータ１３５及び温度センサ１３３．１３４を含む。測定細管はヒータ１３５に対応する位置から上端開口までの距離Ｌ１が２０ｍｍ以上４５ｍｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】 広い漏れ量範囲にわたって良好な精度及び感度で漏れを検知することの可能なタンク内液体の漏れ検知装置を提供する。
【解決手段】 測定細管１３ｂに付設された流量センサ部は、温度センサ１３３，１３４、傍熱式センサ１３５を含む。液位測定用圧力センサ１３７と流量センサ部とに接続された漏れ検知制御部は、傍熱式センサのヒータ１６３に電圧を印加する電圧発生回路６７と、第１の漏れ検知回路７１と、傍熱式センサ１３５により感知される温度に対応する出力を生ぜしめる第２の漏れ検知回路とを有する。第１の漏れ検知回路の出力を用いる第１の漏れ検知と圧力センサの出力を用いる第２の漏れ検知と第２の漏れ検知回路の出力を用いる第３の漏れ検知とを行い、そのうちの少なくとも１つの検知の結果を出力する。 （もっと読む）

【課題】 タンク及び漏れ検知装置における腐食発生を低減することができ、検知精度低下を生ずることなく長期にわたって極微量の漏れを正確に検知することの可能なタンク内液体の漏れ検知装置を提供する。
【解決手段】 液導入出部１２から導入出されるタンク内液体が流量測定部１３内に位置する測定細管１３ｂにその下端から導入出される。測定細管の上端に液溜め部１４の測定管１７が接続される。測定管は測定細管より断面積が大きい。測定細管に付設され液体の流量を測定するための流量センサ部と、タンク計量口５に対して固定される取付部材１９２とを備える。測定管１７は取付部材１９２に対し上下方向に相対移動可能に絶縁性Ｏ−リング１９３を介して支持される。取付部材の材質はタンク計量口の材質との間の接触電位差が０．０５Ｖ以下となるように選択される。装置下端部には絶縁性部材１２ｃが付される。 （もっと読む）

【課題】 タンクの熱膨張収縮などによる寸法の変動があっても、誤検知を生ずることなく極微量の漏れを正確に検知することの可能なタンク内液体の漏れ検知装置を提供する。
【解決手段】 液導入出部１２から検知装置内に導入出されるタンク内の液体が流量測定部１３内に位置する測定細管にその下端から導入出される。測定細管の上端に液溜め部１４内の測定管１７が接続されている。測定管１７は測定細管より断面積が大きい。検知装置は、更に、測定細管に付設され測定細管内の液体の流量を測定するための流量センサ部と、タンクの計量口５への検知装置取り付けに際して計量口５に対して固定される取付部材１９２とを備えている。測定管１７は取付部材１９２に対して上下方向に相対移動可能に支持されており、測定管１７に固定された摺動部材１９１を取付部材１９２に対して下方へと付勢するコイルバネ１９４を備えている。 （もっと読む）

流量センサは、主導管と、この主導管の上流部分を主導管の下流部分に連結するセンサチューブ及びバイパスチューブであって、主導管を通る流れがセンサチューブ及びバイパスチューブに分割されるセンサチューブ及びバイパスチューブと、センサチューブを加熱するための少なくとも一つのヒーター要素とを備えている。多孔質媒体を含む第１流れ制限器が、主導管の上流部分とセンサチューブとの間に位置決めされており、多孔質媒体を含む第２流れ制限器が、主導管の上流部分とバイパスチューブとの間に位置決めされている。これらの流れ制限器は、所定のバイパス比の流量センサを提供する。その結果、センサは、計測されるガスの種類とは無関係に作動できる。
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質量流量センサは、全てのガスに対するセンサのバイパス比の誤差を、全てのバイパスエラーがレイノルズ数の関数であるという事実に基づいて補償するため、レイノルズ数補正関数を使用する。センサは、流れを分割するセンサチューブ及びバイパスチューブを含み、センサのバイパス比は、センサを通る総流量をセンサチューブのみを通る流量で除した値に等しい。ヒーター要素がセンサチューブの上流部分及び下流部分を加熱する。ヒーター要素間の抵抗の差に基づいて電圧を発生するため、回路がヒーター要素に接続されている。電圧を基準ガスの既知の流量に基づいて較正する。センサを通る流量は、較正した電圧に多ガス補正関数及びレイノルズ数補正関数を乗じることによって得られる。
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【課題】 従来であれば流体流量の増大とともに流況が層流域、遷移域、乱流域と移行するような広い流量計測範囲においても、精度のよい流量計測を行うことができる熱式流量計（境界層流量計）を提供する。
【解決手段】 コイル１４、円環、突起物、ねじれテープなどの乱流促進体を、配管１５のヒータ１１で加熱される部分の内部に設け、この乱流促進体で配管１５内を流れる流体の流れを乱して前記流体の所定の流量測定範囲の全範囲で前記流体を乱流状態とするように構成する。或いは、配管を管径の異なる複数の配管部分を有する複数段の構造とすること、配管の少なくともヒータで加熱される配管部分を螺旋管とすること、配管のヒータで加熱される配管部分をベンド管とすること、又は、配管内に流体衝突部材を配置することによって、前記所定の流量測定範囲の全範囲で前記流体を乱流状態とするようにしてもよい。 （もっと読む）

通過して流れる流体の流量を表す流量測定信号を発生するのに用いられるために、流体が流量の共通軸に沿って流れる管に設置された少なくとも２つの温度センサ・コイルの姿勢感度を補償するシステム及び方法が開示される。前記コイルの中の１つは、ある上流位置において前記管を流れる流体に熱エネルギを提供し、前記上流位置における前記流体の上流温度を確立し測定するように構成され、前記コイルの中の１つは、ある下流位置における前記流体の下流温度を測定するように構成される。前記流量測定信号は、前記測定された上流温度と前記測定された下流温度との差の関数である。このシステムは、前記共通軸の方向の重力を測定するステップと、前記流量測定信号を前記測定された重力の関数として修正するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】 流路中の流体の流量を正確に測定する流量センサを提供する。
【解決手段】 流路を構成する配管の外壁面の一部領域を加熱するか又は配管内部の特定領域を加熱する加熱手段１１と、被加熱領域に対して配管の上流側及び下流側であって被加熱領域からの温度影響を熱エネルギー（赤外線）として外部に放射する領域の温度を測定する温度検出手段とを備え、温度検出手段は配管外壁面近傍において外壁面と非接触に配置された上流側非接触温度検出手段１２と下流側非接触温度検出手段１３からなり、各非接触温度検出手段は上流側熱エネルギー放射領域の温度と下流側熱エネルギー放射領域の温度とを配管の外壁面と非接触でそれぞれ測定可能で、非接触温度検出手段で測定した上流側熱エネルギー放射領域の温度と下流側熱エネルギー放射領域の温度の温度差又は温度差に起因して発生する出力から流路を流れる被測定流体の流量を測定する。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造プロセスに使用する特殊ガス供給装置や、化学機器、医療機器などに用いられる耐食性と清浄性を必要とするパイプとその製造方法が求められていた。
【解決手段】 合金の組成が少なくともＣｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｆｅの元素を含み、その組成の重量％が、Ｃｏ２５〜４５％、Ｎｉ２５〜４０％、Ｃｒ１８〜２６％、Ｍｏ７〜１２％、Ｆｅ１．１〜５％であるＣｏ−Ｎｉ基合金を用いたパイプとその製造方法、及びそのパイプを用いたマスフローセンサを提供する。 （もっと読む）

【課題】 流路中を流れる流体の流量を正確に測定する流量センサであって、好ましくは微少流量の測定を正確に行うのに適した流量センサを提供する。
【解決手段】 ベース１０と、ベース上に被着され一面に凹み部１００ａを有したセンサチップ１００であって、当該センサチップの凹み部と反対側面にヒータ１１３を備えるとともに上流側温度センサ１１１と下流側温度センサ１１２を備えたセンサチップとを有し、ベースに形成され、センサチップの凹み部と共に被測定流体の流路をなす第１流路１１と第２流路１２を備えた流量センサにおいて、センサチップの凹み部の上流側温度センサ裏側部分又はその近傍領域にベースの第１流路のセンサチップ側開口部１１ａが対応するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】ＣＳＦに接触しない温度センサ及びヒーターを用いてＣＳＦの流量を測定する熱式流量センサを提供すること。
【解決手段】熱式流量センサであって、第１の面及び反対側の第２の面を有する第１の基板、第２の基板、及び第３の基板を含む。第１の基板は第２の基板に結合され、第３の基板は第２の基板に結合されている。第２の基板は内部に形成された溝を有し、その第２の基板、第１の基板の第２の面、及び第３の基板の第１の面によって画定された導管が形成されている。ヒーターが導管の反対側の第１の基板の第１の面に配置され、第１の温度センサが導管の反対側の第１の基板の第１の面に配置され、第２の温度センサが導管の反対側の第１の基板の第１の面に配置されている。第１の凹部が、ヒーターと第１及び第２の温度センサの一方との間の前記第１の基板の第１及び第２の面の少なくとも一方に形成されている。 （もっと読む）

【課題】ＣＳＦに接触しない温度センサ及びヒーターを用いてＣＳＦの流量を測定する熱式流量センサを提供すること。
【解決手段】熱式流量センサであって、それぞれが第１の面及び反対側の第２の面を有する第１の基板、第２の基板、及び第３の基板を有する。第１の基板が、その第２の面が第２の基板の第１の面に当接するように第２の基板に結合されている。第３の基板が、その第１の面が第２の基板の第２の面に当接するように第２の基板に結合されている。第２の基板は内部に形成された溝を有し、これにより、第２の基板、第１の基板の第２の面、及び第３の基板の第１の面によって画定された導管が形成されている。ヒーターが導管の反対側の第１の基板の第１の面に配置されている。第１の温度センサが、導管の反対側の第１の基板の第１の面に配置されている。 （もっと読む）

【課題】ＣＳＦに接触しない温度センサ及びヒーターを用いてＣＳＦの流量を測定する熱式流量センサを提供すること。
【解決手段】熱式流量センサであって、第１の面及び反対側の第２の面を有する第１の基板、第２の基板、及び第３の基板を有する。第１の基板は、その第２の面が第２の基板の第１の面に当接するように第２の基板に結合され、第３の基板は、その第１の面が第２の基板の第２の面に当接するように第２の基板に結合されている。第１の基板、第２の基板、及び第３の基板は、第１の基板の第１の面と第３の基板の第２の面との間に延在する少なくとも１つの端部を有する多層本体構造を形成している。第２の基板は内部に形成された溝を有し、その第２の基板、第１の基板の第２の面、及び第３の基板の第１の面によって画定された導管が形成されている。導管は端部に形成された入口開口及び出口開口を有する。 （もっと読む）

【課題】 耐腐食性が高く広い流量範囲を測定することが可能な熱式流量計を実現する。
【解決手段】 流路を流れる液体の温度を制御し温度制御部分の上流側及び下流側の流体の温度差に基づき流量を測定する熱式流量計において、接液部分が全てガラスで構成された流路と、この流路に設けられた伝熱手段と、流路上であって伝熱手段から等間隔の位置に設けられた上流側及び下流側の温度検出手段と、流路を流れる液体の温度を伝熱手段で制御すると共に上流側及び下流側の温度検出手段で検出された温度の温度差を温度和で除算した規格化された温度差を求め、規格化された温度差に基づき流量を求める演算制御手段とを設ける。 （もっと読む）

【解決手段】流量センサーッセンブリは、第１及び第２の略反対の側を有する基部部材を含んでいる。開口部は基部部材を貫通して伸張しており、流量センサー管の端部はこの開口部の中に入っている。溶加材は、管を基部部材に取り付けるために、開口部の中に、基部部材の第１側に隣接する流量センサー管を取り囲んで配置される。流量センサー管は、基部部材に、基部部材の第２側に隣接して溶接される。 （もっと読む）