【課題】 より広い測定レンジで流量の測定が可能な熱式流量計を実現する。
【解決手段】 流路を流れる液体の温度を制御し温度制御部分の上流側及び下流側の流体の温度差に基づき流量を測定する熱式流量計において、接液部分が全てガラスで構成された第１の流路と、接液部分が全てガラスで構成され一端が第１の流路の一端に接続され第１の流路より断面積の大きい第２の流路と、これらの第１及び第２の流路にそれぞれ設けられた第１及び第２のセンサ手段と、これら第１及び第２のセンサ手段を制御して第１及び第２の流路を流れる液体の温度をそれぞれ制御すると共に測定する流量に応じて一方のセンサ手段を選択して選択されたセンサ手段で検出された上流側及び下流側の温度の温度差に基づき流量を求める演算制御手段とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 より広い測定レンジで流量の測定が可能な熱式流量計を実現する。
【解決手段】 流路を流れる液体の温度を制御し温度制御部分の上流側及び下流側の流体の温度差に基づき流量を測定する熱式流量計において、接液部分が全てガラスで構成された流路と、この流路に設けられた伝熱手段と、流路上であって伝熱手段から等間隔の位置に設けられた上流側及び下流側の温度検出手段と、流路上であって下流側の温度検出手段の外側の位置に設けられた第２の温度検出手段と、流路を流れる液体の温度を伝熱手段で制御すると共に測定する流量に応じて上流側及び下流側の温度検出手段で検出された温度の温度差若しくは下流側の温度検出手段と第２の温度検出手段における温度検出の時刻の時刻差に基づき流量を求める演算制御手段とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 流れる流体の流量が大きくなる領域と流れる流体の流量が小さくなる領域においてＳ／Ｎ比を向上させることが可能な熱式流量計を実現する。
【解決手段】 流路を流れる液体の温度を制御し温度制御部分の上流側及び下流側の流体の温度差に基づき流量を測定する熱式流量計において、接液部分が全てガラスで構成された流路と、この流路に設けられた伝熱手段と、流路上であって伝熱手段から等間隔の位置に設けられた上流側及び下流側の温度検出手段と、伝熱手段を周期的な駆動信号で駆動すると共に上流側及び下流側の温度検出手段の温度検出信号を駆動信号に基づき同期検波して上流側及び下流側の温度を演算して流量を求める駆動演算手段とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 より広い測定レンジで流量の測定が可能な熱式流量計を実現する。
【解決手段】 流路を流れる液体の温度を制御し温度制御部分の上流側及び下流側の流体の温度差に基づき流量を測定する熱式流量計において、接液部分が全てガラスで構成された流路と、この流路に設けられた伝熱手段と、流路上であって伝熱手段から等間隔の位置に設けられた第１の温度差検出手段と、流路上であって第１の温度差検出手段の外側であり、且つ、伝熱手段から等間隔の位置に設けられた第２の温度差検出手段と、流路を流れる液体の温度を伝熱手段で制御すると共に測定する流量に応じて第１若しくは第２の温度差検出手段を選択して検出された温度差に基づき流量を求める演算制御手段とを設ける。 （もっと読む）

【課題】流量センサ部自体にサーマルサイフォン現象対策を行わなくてもこれを防止できる集積タイプのマスフローコントローラを用いた流体供給機構を提供する。
【解決手段】一対のセンサコイルからなる流量センサ１０が水平姿勢状態で本体ブロック１に設けられているマスフローコントローラ３と流体供給ラインＬの一部を構成するバルブ等とを繋ぐ繋ぎ流路ｔ_２，ｔ_３，ｔ_７，ｔ_８を有する複数の基板９１〜９４とを備えた集積タイプのマスフローコントローラにおいて、前記マスフローコントローラ３の前記基板９１〜９４への取付姿勢の変更に伴い前記流量センサ部１０においてサーマルサイフォン現象が生ずるのを回避すべく、前記基板９１〜９４とは異なる繋ぎ流路Ｎ_１，Ｎ_２を有する取替基板８０を設ける。 （もっと読む）

【課題】輸液用チューブの材質や肉厚に影響を受けずに、より高い測定精度を得られる熱式質量流量センサーを提供する。
【解決手段】熱式質量流量センサー１で流量測定を行う場合には、第１の熱伝導体４１のチューブ収容部４１ａに流路の上流側に位置する輸液用チューブＴ、第２の熱伝導体４２のチューブ収容部４２ａに流路の下流側に位置する輸液用チューブＴを、それぞれ嵌め込む。輸液用チューブＴの第２の熱伝導体４２の取付個所は、その前後よりも上方に位置している。熱式質量流量センサー１は、第２の温度センサ５２から入力された検知信号が示す検知温度、及び、目標温度の情報に基づいて発熱体６を発熱させ、その間に積分制御に用いた積分回路からの出力電圧値、予め記憶した電流値情報や比熱や比重等の情報、及び各温度センサ５１，５２から入力された検知信号に基づき、演算を実行し、流量を算出する。 （もっと読む）

質量流量コントローラにおいてガスの温度を測定するための方法および装置が記載される。一実施形態は、別個の温度センサに頼ることなく、ガスの温度情報を質量流量コントローラの質量流量センサから引き出す。この実施形態は、実質的に一定の電流を質量流量コントローラの熱式質量流量センサに供給し、熱式質量流量センサは、ガスの質量流量レートを測定するように設計されており、現在の入力電圧を取得するために、熱式質量流量センサの入力電圧を測定する。入力電圧は、熱式質量流量センサの一対の感知要素の間の温度差によって変化する。ガスの質量流量レートに依存する現在の入力電圧の成分を計上することによって、調整入力電圧を計算し、調整入力電圧に基づいてガスの温度を計算する。 （もっと読む）

【課題】配管の任意の場所に配設して内部の流れを外部から測定し、リークの方向およびリーク流量の計測を可能にする。
【解決手段】インリーク流量計測装置は、配管１の長さ方向の一部を加熱するヒータ２と、ヒータ２により加熱された部位の配管長さ方向両側の配管１表面温度を測定する熱電対温度計４ａ、４ｂなどの温度測定手段と、温度測定手段により測定された測定値から配管長さ方向温度分布の偏りを算出する演算装置７と、演算装置７により算出された温度分布の偏りから配管１内の流量とその方向を判定する比較判定装置９と、配管長さ方向温度分布の偏りと配管内流量との関係をあらかじめ記憶する基準データ記憶装置８を備える。比較判定装置９は、演算装置７により算出された温度分布の偏りと、基準データ記憶装置８に記憶された温度分布の偏りと配管内流量との関係とに基づいて、配管内のリーク流量とその方向を求める。 （もっと読む）

【課題】直線性の確保できる領域を拡大させてフルスケールを広げ、また高感度に流量を検知できるといった、熱式質量流量センサを提供する。
【解決手段】試料ガスが流れる中空細管１と、温度の変化にともなって電気抵抗値が増減する感熱抵抗体Ｋから成り且つ前記中空細管１の上流側及び下流側にそれぞれ巻き付けて成る上流側コイル２ａ及び下流側コイル２ｂとを具備し、前記両コイル２の抵抗値変化に基づいて、前記中空細管１を流れる試料ガスの流量を検知するようにした熱式質量流量センサＡであって、前記両コイル２が、それぞれの両端部のうち各コイル２が合い寄る内側の所定領域Ｘに、その外側領域Ｙよりも前記感熱抵抗体Ｋの単位長さ当たりの巻数を多くした多数巻部Ｔを具備するようにした。 （もっと読む）

【課題】温度センサチップの測定感度を向上させて、熱式質量流量計の測定性能を向上させる。
【解決手段】ヒータチップ４及び温度センサチップ６，８の下面側に配管２が熱伝導性接着剤１０によって固着されている。ヒータチップ４及び温度センサチップ６，８はモールド樹脂に覆われており、内部に形成されている素子までの熱抵抗は下面側が最も小さくなっている。
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【課題】 製品出荷後に複数種類の実使用ガスと複数の流量レンジに対応したマスフローコントローラに仕様変更を可能とすること。
【解決手段】 質量流量制御装置の初期状態において、校正ガスを用いて流量設定信号に対する実流量を計測した校正ガス特性データを求め、この校正ガス特性データを制御手段に記憶し、一方、複数種類の実ガス毎に流量設定信号に対する実流量を計測した実ガス特性データを求め、この実ガス特性データを記憶媒体に保存し、その後、前記質量流量制御装置を稼働する前に、実使用ガスの実ガス特性データを前記記憶媒体からコンピュータを介して読み出し、また、前記制御手段に記憶した校正ガス特性データを読み出し、前記実ガス特性データを元に前記校正ガス特性データを制御流量補正データに変換し、制御流量補正データを制御手段に書き込み、この制御流量補正データを基に実ガス流量を補正する流量制御補正方法である。 （もっと読む）

【課題】熱式質量流量計の測定部が部分的に外部の温度変化の影響を受けることがなく、外部の温度変化の影響を受けにくい熱式質量流量計を提供する。
【解決手段】微少試料を送液するキャピラリ２の下側に発熱素子としてのヒータチップ４が接した状態で配置されている。ヒータチップ４の上流側と下流側のヒータチップ４から等しい位置に１対の温度センサチップ対を構成する温度センサチップ６ａと６ｂが配管２に接した状態で配置されている。ヒータチップ４と温度センサチップ６ａ，６ｂの間には熱伝導性接着剤からなる熱伝導性材料層８が介在しており、測定部を構成するこれらの素子は熱伝導性接着剤により一体化している。ヒータチップ４及び温度センサチップ６ａ，６ｂの上面に熱伝導性接着剤からなる熱伝導性材料層８が形成されており、配管２を含む測定部の上面は熱伝導性材料層８で覆われている。
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【課題】バイパス部の変更によらずセンサ部に関する構成の変更により、流量測定範囲を拡大する。
【解決手段】加熱されると共に管内に流体が流されるセンサ細管５を備え、流体の質量流量に応じて生ずる前記センサ細管５の温度分布の変化に基づき流体の質量流量を検出する流量計において、前記センサ細管５と直列に流体の抵抗細管７を設けた。 （もっと読む）

【課題】配管を流れる流体の流量を従来のものよりも高感度で測定できる熱式質量流量計を提供する。
【解決手段】配管２の上側でヒータチップ４ａの上流側に温度センサチップ６ａが配置されており、配管２の上側でヒータチップ４ａの下流側に温度センサチップ８ａが配置されている。温度センサチップ６ａと８ａはヒータチップ４ａから等距離の位置に配置されている。配管２の下側で温度センサチップ６ａの反対側にあたる位置に温度センサチップ６ｂが配置されており、配管２の下側で温度センサチップ８ａの反対側にあたる位置に温度センサチップ８ｂが配置されている。
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【課題】温度勾配に起因して、管内での流量が比較的少ない場合に測定信号に不正確さが生じることを抑制する熱型流量センサ装置を提供することを課題とする。
【解決手段】ハウジングは、凹部が形成された内側表面、および外側表面のそれぞれを有する、熱良導材料の第一および第二のハウジング部材を含んでいて、ハウジング部材は該ハウジング部材の内側表面が互いに対向して位置しており、Ｕ字形のセンサ管６は、上記内側表面に平行に延びる主面を有し、ハウジング部材がＵ字形のセンサ管６の連結管９と脚管とを包囲しており、上記センサ管６は、二箇所、すなわち、入口部１９と上流の抵抗素子１０との間の第一の位置におけるハウジング部材同士の間で局所的かつ熱的にクランプされていて、かつ、出口部２０と下流の抵抗素子１１との間の第二の位置におけるハウジング部材同士の間で局所的かつ熱的にクランプされている。 （もっと読む）

【課題】流体の流量を制御する熱式質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】熱式質量流量コントローラは、流体を受けるように構成されている導管と、流体が導管内を通過する際に、流体の圧力を測定するように構成されている圧力センサと、流体の周囲温度を測定するように構成されている温度センサと、流体の流速を表す出力を発生するように構成されている熱センサとを含む。熱式質量流量コントローラは、更に、熱センサからの出力、圧力センサによって測定した圧力、および温度センサによって測定した周囲温度を監視し、熱吸引によって起こる熱センサの出力のずれを補償するように、導管内における流体の流量を規制するように構成されている制御システムを含む。 （もっと読む）

流体の流量を測定する熱式質量流量計は、流体を受け入れ且つ、導管の入口と出口との間の主流路を画成する形態とされた導管を含む。導管は、少なくとも一部分、センサを受け入れる面との境を画成する。熱センサ管は、主流路及びセンサ受け入れ面の双方に対し実質的に垂直方向に向けてセンサ受け入れ面に対して取り付けられた熱感知部分を有する。熱式質量流量計が垂直方向に向けて取り付けられ、導管内の流体が主流路に沿って垂直方向に流れるとき、センサ管内の流体は、水平方向に流れて、センサ管が加熱されたとき、熱サイフォンを実質的に防止する。
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【課題】 従来品の欠点を解消し、容易に高感度が実現でき且つ傾斜誤差の生じない流量センサーを提供すること。
【解決手段】 一組の平行部分を有する１本の流路と、当該流路の前記平行部分の一部に設けられて流体を所定の温度に加熱する測温抵抗体とを備え、流路中を流れる流体流量の変化によって生ずる流路の温度分布の変化から流体流量を検出する流量センサーにおいて、前記平行部分の片側には上流側に第１の上流側測温抵抗体と、下流側に第１の下流側測温抵抗体が並んで設けられ、前記平行部分のもう一方側には上流側に第２の上流側測温抵抗体と下流側に第２の下流側測温抵抗体が並んでそれぞれ設けられていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 処理室内に供給される処理流体の供給時の温度に基づいて処理流体の流量を正確に測定できるようにすること。
【解決手段】 被処理体である半導体ウエハＷが処理流体（例えば、オゾンガスと水蒸気の混合流体）により処理される処理室２内に、処理流体供給源（オゾンガス発生器７，水蒸気発生器９）から処理流体供給管６を介して処理流体を供給する際に、処理流体供給管内を流れる処理流体の温度を温度センサ１０によって計測して、その検出信号をＣＰＵ２０に伝達し、ＣＰＵ２０によって処理流体供給管内を流れる処理流体の温度が所定の温度に達した際に、処理流体が所定の流量に達したと判断する。 （もっと読む）

【課題】 １基の流量制御装置によってより広い流量域の流体の高精度な流量制御を可能とすることにより、流量制御装置の小型化と設備費の削減を図る。
【解決手段】 オリフィス上流側圧力Ｐ₁及び又はオリフィス下流側圧力Ｐ₂を用いて、オリフィス８を流通する流体の流量をＱｃ＝ＫＰ₁（Ｋは比例定数）又はＱｃ＝ＫＰ₂^m（Ｐ₁−Ｐ₂）ⁿ（Ｋは比例定数、ｍとｎは定数）として演算するようにした圧力式流量制御装置において、当該圧力式流量制御装置のコントロール弁の下流側と流体供給用管路との間の流体通路少なくとも二つ以上の並列状の流体通路とすると共に、前記各並列状の流体通路へ流体流量特性の異なるオリフィスを夫々介在させ、小流量域の流体の流量制御には一方のオリフィスへ前記小流量域の流体を流通させ、また大流量域の流体の流量制御には他方のオリフィスへ前記大流量域の流体を切換え流通させる。 （もっと読む）