【課題】副空気通路の副空気通路出口部付近に生じる剥離渦による空気流量計測への影響を抑制して脈動流下でも高い計測精度を有する発熱抵抗体式空気流量測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の発熱抵抗体式空気流量測定装置１００は、副空気通路出口部２０４の流路壁（カバー部材）２０６を切り欠いて、副空気通路出口部２０４の一部を主空気の順流方向に直交する方向に向かって開放する構造とすることで、副空気通路構成部２０５よりも順流方向下流で発生する剥離渦が副空気通路出口部２０４から副空気通路２０２内に侵入するのを抑制した。 （もっと読む）

【課題】弁体の動作速度をさらに高速にでき、かつ大流量を制御できる電動バルブを提供すること。
【解決手段】流路１３を流れる流体の流量を制御する目的で、流路１３に開度を可変可能な弁構造３５を設け、この弁構造３５の弁体３７と弁体３７のアクチュエータであるピエゾ素子４２との間に、ピエゾ素子４２の伸縮を拡大して弁体３７に伝達する変位拡大機構（ストローク拡大機構）５０を設けた。 （もっと読む）

定温熱伝導体式アネモメーターは、内側ピンの対及び外側ピンの対を含む一組の導電性ピンを有する。伝導体は、電気的及び機械的にピンと連結されている。電流源は、内側ピンと連結されている。電流源は、内側ピンの間の伝導体を通って、電流を供給するように構成されている。電圧センサーは、外側ピンと連結されており、外側ピンの間の伝導体の電圧を測定するように構成されている。電流源と電圧センサーは、内側ピンの間の伝導体の抵抗を一定に維持するように構成されている。一実施例において、第２のピンのセット、第２の伝導体、及び第２の回路もまた流体の動的温度を測定し、既知の周囲温度で抵抗を算出するために使用される。
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【課題】ガス種等の試料流体の変更にも特別な手間を必要とせずに柔軟に対応することができ、しかも、精度良く流量を測定することができるといった、優れたマスフローメータ等を提供する。
【解決手段】流路１を流れる試料流体Ｇの流量を検知するセンサ部２と、流体ごとに定められ、前記センサ部２からの出力値に基づいて流量を定めるための流量特性関数であって、指定された試料流体に固有の流量特性関数Ｋと、その流量特性関数とは独立した、複数の試料流体に対して共通のパラメータであり、マスフローメータごとの器差を補正するための器差補正パラメータαとを設定する設定部４ｃと、前記流量特性関数Ｋと前記器差補正パラメータαとに基づいて、前記試料流体Ｇの流量を算出する流量算出部４ｄとを具備するように構成した。 （もっと読む）

【課題】従来よりも部品点数を削減しかつセンサ管の端部を確実にシールすることができる流量センサユニットを提供する。
【解決手段】発熱抵抗線３３ａ、３３ｂが巻回され、一端から他端に向ってガスが流動するセンサ管３１を有し、センサケース６に収容されるセンサ部材３と、センサケース６が装着されるケース溝２３ケース溝で仕切られ、締結用貫通穴２１１が形成された第１表面２１及び締結用貫通穴２２１が形成された第２表面２２を有するベース部材２とを備え、ケース溝２３の底面にセンサ管３１の一端部を受取るセンサ管用貫通穴２３１とセンサ管３１の他端部に固着されたリング状フランジ部材３４が圧入されるフランジ用貫通穴２３２が設けられるとともに、センサ管用貫通穴２３１、フランジ用貫通穴２３２の端部にシール部材４ａ、４ｂが装着される。 （もっと読む）

【課題】従来よりも部品点数を削減した流量センサユニットを提供する。
【解決手段】ガスが流動し、直列に接続される発熱抵抗線６３ａ、６３ｂが巻回されたセンサ管６１を有し、センサケース７内に収容されるセンサ部材６と、センサ管６１の上流側端部を受取る上ブロック３とセンサ管６１の下流側端部を受取る下ブロック４を有しかつ上ブロック３及び下ブロック４はこれらが重なる方向とそれと垂直な方向に複数の接触面を有する複合ベース部材２とを備え、複合ベース部材２は、平坦な取付け面に密着固定される仕上げ面を有するとともに、上ブロック３と下ブロック４とが分離した状態でセンサ管６１の上流側端部と下流側端部が挿入・固着されかつ仕上げ面と反対側の面から取付け面に固着される。 （もっと読む）

【課題】
発熱抵抗体を含む複数の抵抗体を有する流量センサの熱容量を小さくして、低消費電力化が可能な熱式ガス流量計を提供する。
【解決手段】
第１発熱抵抗体１００と測温抵抗体２００と第２発熱抵抗体３００とを、巻線装着体１１に巻き回した１本の連続した導体線上に構成し、第１発熱抵抗体１００の巻き始め１２と、第２発熱抵抗体３００の巻き終わり１５と、第１発熱抵抗体１００と測温抵抗体２００との区分点１３と、測温抵抗体２００と第２発熱抵抗体３００との区分点１４に引出し導体を接続した。 （もっと読む）

【課題】質量流量計の測定精度を向上させる。
【解決手段】試料ガスＧが流れる流路に設けられた感熱抵抗体４１ａ、４１ｂを有するセンサ部４１１、４１２からの出力信号を取得し、前記試料ガスＧの流量Ｑ_ｒａｗを算出する流量算出部４２と、前記流路２における一次側圧力Ｐ_ｉｎを測定する圧力測定部４３と、前記圧力測定部４３により得られた一次側圧力Ｐ_ｉｎ、及び前記試料ガスＧの定圧比熱Ｃ_Ｐにより決まるガス係数αを用いて、前記流量算出部４２により得られた測定流量Ｑ_ｒａｗを補正する流量補正部４４と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】低真空領域における分流比の圧力依存性を考慮した質量流量計１及びこの質量流量計１を用いたマスフローコントローラＺを提供する。
【解決手段】試料ガスＧが流れるメイン流路２と、前記メイン流路２から分岐して前記試料ガスＧを分流させるものであり、前記試料ガスＧの流量を検出する流量検出機構４が設けられる測定路３Ａを有するセンサ流路３と、前記メイン流路２における前記センサ流路３の分岐点ＢＰと合流点ＭＰの間に設けられ、複数の内部流路５１を有する層流素子５と、を具備し、前記測定路３Ａの流路形状及び前記内部流路５１の流路形状が略同一である。 （もっと読む）

【課題】流体温度が急速に変化する場合や、流体温度が高い場合においても精度良く流量を検出できる熱式流量計を提供することにある。
【解決手段】
プローブＰＲは、第１の主発熱抵抗体ＭＨ１と、第１の主発熱抵抗体ＭＨ１と異なった温度に設定された第２の主発熱抵抗体ＭＨ２と、二つの主発熱抵抗体ＭＨ１，ＭＨ２の支持体を加熱する副発熱抵抗体ＳＨとを備える。センサ制御回路ＳＣＵのＣＰＵは、二つの主発熱抵抗体を用いて流体温度を求め、二つの主発熱抵抗体の少なくとも一方を用いて流体の流量を求める。 （もっと読む）

【課題】 空気流量計１のセンサボディ３の内部（バイパス流路２２）を流れる空気流量の検出精度を確保することを課題とする。
【解決手段】 空気流量計１のセンサボディ３の内部（バイパス流路２２）に配置される空気流量センサ４の円筒ボビン１１の外周面、発熱抵抗体およびセンサリード線１２、１３の表面上、特に発熱抵抗体およびセンサリード線１２、１３を保護する保護膜の表面上に熱触媒薄膜１６を薄膜形成している。これによって、吸入空気と一緒に空気流量計１のセンサボディ３の内部（バイパス流路２２）に流入したダストが、空気流量センサ４の熱触媒薄膜１６の表面上に付着した場合であっても、熱触媒薄膜１６の作用によってダストが付着し難く、脱落し易くなる。したがって、空気流量センサ４の空気流量検出素子を構成する発熱抵抗体等の汚損劣化を抑えることができる。 （もっと読む）

フローセンサは、管などの流体素子、熱源、上流温度センサ、および下流温度センサを含む。流体素子は、流路の中間点よりも互いに近く配置された流入末端および流出末端を有する流路を形成する。熱源ならびに上流および下流温度センサは、流路中の液体と熱的に連絡するように配置されている。
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【課題】流体の流量を精度良く検出できる領域を拡大することができる流量センサを提供する。
【解決手段】センサ管１４と、抵抗体Ｒ１〜Ｒ４よりなる抵抗体群４２と、基準抵抗Ｒ５、Ｒ６よりなる基準抵抗群４４と、定電流源２４と、電位差を求める第１の差動回路４６と、電位差に基づいて流量を求める流量決定部６０Ａとを有する流量センサにおいて、流体を流さないダミーセンサ管６６と、温度に応じて抵抗値が変化するダミー抵抗体Ｒ１’〜Ｒ４’を長さ方向に沿って取り付けたダミー抵抗体群６８と、ダミー基準抵抗群７０と、一定の電流を流すダミー用定電流源７２と、抵抗体群とダミー抵抗体群とを選択的に直列に接続するスイッチ手段５０と、電位差を求める流量域拡大用差動回路７４と、電位差に基づいて前記流体通路に流れる流体の流量を求める第３の流量決定部６０Ｃとを備える。 （もっと読む）

【課題】
ターミナルと発熱抵抗体及び温度補償抵抗体を接合する際に一定の接合面積を確保し、接合面積が小さく、さらに変化が小さい安定した接合を保つことにより溶接電流を下げ、ターミナルと発熱抵抗体及び温度補償抵抗体への熱影響を小さくし、材料組成の変化の範囲を狭める。また、厚さ方向の取り付け位置精度を確保し、安定した出力特性を得る。
【解決手段】
内部に発熱抵抗体と温度補償抵抗体とを有する副流路と、前記発熱抵抗体および前記温度補償抵抗体とターミナルと電子回路とを備えた発熱抵抗式空気流量測定装置において、前記ターミナル本体は板状であり、前記発熱抵抗体と前記温度補償抵抗体に電気的な接続がされており、前記ターミナルの接続部表面は平面であり、前記ターミナルの接続部表面は接続部近傍の幅より狭く、接続面の高さは前記ターミナルの接続部近傍と同じである。 （もっと読む）

【課題】
ロッドとセンサエレメントが一体化された構造においては、センサエレメントの熱が基板（ロッド）を介してセンサプローブ内へ流れ込み、相当な電力の浪費が避けられない。また、前記現象に起因して、被測定ガスの流量や温度変化に対して感度が鈍くなり、必要な応答速度得ることは不可能である。
【解決手段】
センシングプローブの中心軸上に絶縁材料で、かつ表面に導通用の導体パターンが形成された支柱（ロッド）と、前記ロッド表面の導体を介して、被測定ガスの流れる配管に配置されるセンサエレメントとハーネス端子を接続することを特徴とするセンシングプローブを使用し、ガス流量計を計量する。 （もっと読む）

【課題】空気流量測定精度を悪化させることなく、浮遊粒子の付着を抑制できる空気流量測定装置を提供する。
【解決手段】バイパス流路６を流れる空気の流れは、メイン流路を流れる空気の流れと略直交する向きに曲げられており、センシング部４はバイパス流路６内に立設した一対の支持部材７に、一対のリード部材４４を介して支持される発熱抵抗体４１と感温抵抗体４２の各抵抗体を有し、発熱抵抗体４１と感温抵抗体４２との温度差が、所定の制御温度となるように通電電流を制御して、発熱抵抗体４１の空気流れによる放熱量を基に、バイパス流路６を流れる空気流量を測定するように構成され、バイパス流路６を流れる空気流量を測定するための発熱抵抗体４１が、バイパス流路６の空気の流れ方向に直交する向きより所定の傾き角θｘを有して配置され、バイパス流路６を流れる空気の曲がり流線の外側流線の下流側に傾けて構成した。 （もっと読む）

【課題】温度範囲の広い排気ガス中において常に正確なガス温度やガス質量流量を測定することができる熱式ガス質量流量計を提供する。
【解決手段】熱式ガス質量流量計は加熱したホットワイヤ５からの放熱量に基づいてガス流量を測定する。前記ホットワイヤ５を加熱するために印加させる電源１と、前記ホットワイヤ５への駆動電圧をＯＮ・ＯＦＦするＭＯＳ−ＦＥＴ３と、前記ホットワイヤ５に流れる電流を検知するための電流検出用抵抗６と、駆動電圧が印加されていないときに微小の定電流を流す定電流回路２と、制御装置９を備えている。前記制御装置９は、前記駆動電圧が印加されているときの温度と微小の定電流が流されているときの温度とからガス温度を算出するとともに、前記ホットワイヤ５の温度がガス温度より所定の温度差だけ高くなるように前記ＭＯＳ−ＦＥＴ３をＯＮ・ＯＦＦ制御してガス流量を計測する。 （もっと読む）

【課題】流体の流量を制御する熱式質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】熱式質量流量コントローラは、流体を受けるように構成されている導管と、流体が導管内を通過する際に、流体の圧力を測定するように構成されている圧力センサと、流体の周囲温度を測定するように構成されている温度センサと、流体の流速を表す出力を発生するように構成されている熱センサとを含む。熱式質量流量コントローラは、更に、熱センサからの出力、圧力センサによって測定した圧力、および温度センサによって測定した周囲温度を監視し、熱吸引によって起こる熱センサの出力のずれを補償するように、導管内における流体の流量を規制するように構成されている制御システムを含む。 （もっと読む）

【課題】 従来品の欠点を解消し、容易に高感度が実現でき且つ傾斜誤差の生じない流量センサーを提供すること。
【解決手段】 一組の平行部分を有する１本の流路と、当該流路の前記平行部分の一部に設けられて流体を所定の温度に加熱する測温抵抗体とを備え、流路中を流れる流体流量の変化によって生ずる流路の温度分布の変化から流体流量を検出する流量センサーにおいて、前記平行部分の片側には上流側に第１の上流側測温抵抗体と、下流側に第１の下流側測温抵抗体が並んで設けられ、前記平行部分のもう一方側には上流側に第２の上流側測温抵抗体と下流側に第２の下流側測温抵抗体が並んでそれぞれ設けられていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 焼結機の排気ガス流量には、湿分と焼結ダストが多量に含まれているため、その長期的測定をすることは容易でないという問題があるため、焼結機の排気ガス流量を長期的に安定測定することが可能な流量測定システムを提供することを目的とする。
【解決手段】 焼結機の排気ガス管に配設され、時系列の排気ガス流量データおよび温度データを出力する熱式流量計５１と、排気ガス流量および温度データに基づいて所定の演算を行う演算部５２と、排気ガス流量および温度データを記憶する記憶部５４と、演算部５２へ数値を入力する数値入力部５５と、演算部５２と外部装置５６との間でデータを入出力する入出力部５３とを備える。熱式流量計５１は、排気ガス管の内部においてシース型温度センサと加熱コイル付きシース型温度センサとを焼結機のグレートバーの間隔よりも離して配設される。 （もっと読む）