【課題】外部環境に晒した状態での使用にも耐え得る耐環境性に優れたロードセルを提供する。
【解決手段】起歪部８を有する金属弾性体５を備えてなり、起歪部８を外気に露出させた状態で使用されるロードセル３において、金属弾性体５の全面または少なくとも起歪部８を含む周辺部に対してＤＬＣ膜１２Ａを成膜したり、起歪部８に貼り付けられるストレインゲージ６を含む電子部品が装着された金属弾性体５に対して直接、あるいはその電子部品を保護する樹脂層上にＤＬＣ膜１２Ｂを成膜したり、起歪部８に、外形表面の全部または一部にＤＬＣ膜２０Ａ；２０Ｂを成膜してなるストレインゲージ６Ａ´，６Ｃ´；６Ｂ´，６Ｄ´を貼り付けたり、起歪部８に貼り付けられるストレインゲージ６Ａおよびそのストレインゲージ６Ａの周辺部を、ＤＬＣ膜を成膜してなる樹脂製シートからなる保護カバー２２にて被覆したりする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、自動化ラインでの実装部とケースにおけるコネクタ端子との半田付けを正確に行うことができる歪検出装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の歪検出装置は、絶縁基板２１における実装部２５を収納するとともに樹脂を充填しかつ実装部２５における処理回路２４と電気的に接続されるコネクタ端子５４を設けたケース４７の内側面に上下方向に孔４８を有する筒部４９を設け、かつこの筒部４９の孔４８に樹脂を充填するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、過大な荷重が加わった場合における起歪体からの絶縁層の剥離を確実に防止することができ、これにより、出力信号を安定化させることができる歪検出装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明の歪検出装置は、起歪体１１の外表面に設けられた穴１３を球形状に構成するとともに、この球形状の穴１３における前記起歪体１１の外表面の近傍部分に幅狭部１３ａを設けたものである。 （もっと読む）

【課題】電極と絶縁層との熱膨張率の違いにより、焼成時に絶縁層にクラックが発生するということのない、製造時の歩留まりの向上した重量センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】複数の貫通孔１０を有し荷重により歪を生じる金属板（ステンレス板）からなる起歪体１２と、この起歪体１２の貫通孔１０の間に配置され歪量に応じて抵抗値が変化する４つの抵抗素子１４と、抵抗素子１４の両端部に接続した電極１６と、配線パターン１７を介して電極１６と結線された信号処理回路１８とを備え、抵抗素子１４および電極１６および配線パターン１７は起歪体１２上に配置した絶縁ガラスからなる絶縁層２０上に絶縁層２０とともに同時焼成して形成され、焼成前の電極１６および配線パターンは粒径が２．０μｍ〜１０．０μｍのＡｇ粒子を含有し、焼成前の絶縁層には１．０重量％〜３．０重量％の無機フィラーを添加した構成である。 （もっと読む）

【課題】出力信号の感度が大きい歪検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】起歪体１１を水平方向に設置するとともに、この起歪体１１の上側に上側歪抵抗素子１２を設け、さらに起歪体１１の下側にも下側歪抵抗素子１３を設け、この下側歪抵抗素子１３と前記上側歪抵抗素子１２とを回路パターン１７で接続することによりブリッジ回路を構成したものであり、上側歪抵抗素子と下側歪抵抗素子との抵抗値の変化の差が大きくなるため、ブリッジ回路による出力信号の感度が大きくなる。 （もっと読む）

【課題】力学量センサの製造における初期投資やランニングコストを低減する。
【解決手段】
受圧管２のダイヤフラム１０の表面に、めっき技術により絶縁膜２０を形成する。さらに、絶縁膜２０の上面に、めっき技術により金属薄膜３０を形成する。そして、金属薄膜３０を部分的に除去することにより、ひずみゲージ３５を加工する。 （もっと読む）

【課題】荷重を高精度に検出可能とする。
【解決手段】中心側に配置される芯部１１と、芯部１１の外周側に空隙１５をあけて配置される外周枠部１２と、芯部１１と外周枠部１２との間を架橋する上下一対の起歪部１３，１４とを備え、芯部１１あるいは外周枠部１２の一方を支持固定部とすると共に他方を荷重負荷部とし、上下一対の起歪部１３，１４は周方向に等間隔をあけて３組設けていると共に、外周枠部１２には各組の起歪部１３，１４の上下間に対応する位置で外側面から内側面へと貫通する貫通孔１２ｃを穿設し、起歪部１３，１４には１組毎に各４枚の歪ゲージＳＧ１〜ＳＧ４を貼り付けると共に、歪ゲージＳＧ１〜ＳＧ４を用いてホイートストンブリッジ回路ＷＨ１〜ＷＨ３を形成し、各ホイートストンブリッジ回路ＷＨ１〜ＷＨ３からの出力を並列和算している。
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【課題】セラミックダイヤフラムに厚膜抵抗を配したの応力センサにおいて、ゲージ率ないしＫファクタを増大し後置接続された電子回路によっても良好に処理が可能な信号が生成されるように改善を行う。
【解決手段】セラミックダイアフラム（支持体）と厚膜抵抗および厚膜導体路の間に誘電層を設ける。これにより、厚膜抵抗と誘電層との間に両材料の混合層が形成され、感圧抵抗としてのＫファクタが著しく高められる。またダイアフラムの薄膜化を過度に行う必要がなくなり製造が容易になる。 （もっと読む）

【課題】高い精度と信頼性を確保し、耐食性に優れた歪検出器および歪検出器の製造方法を提供すること。
【解決手段】流体の圧力を測定する流体圧力センサ１は、起歪体であるダイアフラム部１２、絶縁膜であるシリコン酸化膜２１および結晶性シリコンの歪ゲージ２０を備えており、ダイアフラム部１２には機械強度と耐食性に優れたオーステナイト系の析出硬化型Ｆｅ−Ｎｉ耐熱鋼が用いられる。シリコン酸化膜２１はその内部応力を−１５０〜１３０ＭＰａに調整されて形成される。これにより、流体圧力センサ１は、高い精度と信頼性を確保し、かつ腐食性の高い流体の圧力をも計測できる。 （もっと読む）