【課題】圧力測定対象接液面側ダイヤフラムシール圧力検出部と大気圧側ダイヤフラムシール圧力検出部の温度を均一化して圧力測定誤差を小さくする。
【解決手段】ダイヤフラムシール形圧力伝送器は、大気圧側ダイヤフラムシール圧力検出部２ａ及び圧力測定対象接液面側ダイヤフラムシール圧力検出部２ｂを高熱伝導性部材からなる１つのブロック９に取り付けて一体にする。 （もっと読む）

【課題】低コストで利便性の高い異物進入防止機構が組み込まれた圧力測定装置を実現すること。
【解決手段】圧力測定部に連通するように設けられた大気開放口を有し、この大気開放口には異物進入防止機構としてフィルタが挿入固定される圧力測定装置において、
前記フィルタの端部は六角形部として形成されてその内部には軸方向に沿ってその端部が前記六角形部の端面近傍に到達するように止まり穴が形成され、前記六角形部の端面から前記止まり穴に連通するように複数の貫通孔が形成されたことを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】隔膜気圧計における標準圧室の真空を含む標準気圧の経時変化の問題を根本的に解決するために、隔膜気圧計の標準圧室の気圧が経時変化などで変動しても、標準圧室の標準気圧を計測し、この標準気圧が校正できる隔膜気圧計を提供する。
【解決手段】標準圧室を有する隔膜気圧計において、標準圧室内に熱型気圧センサを備え、その標準圧室内の気圧を常時または必要に応じて計測して、この計測した気圧を標準気圧として利用するようにした。熱伝導型センサとしてシリコン基板を利用し、絶対温度センサを備える。標準圧室の気圧を所望の気圧付近に調整することもできるようにする。 （もっと読む）

【課題】検出精度が低下することを抑制することができる力学量センサを提供する。
【解決手段】物理量に応じたセンサ信号を出力するセンシング部２１が形成されたセンサチップ２０と、センシング部２１を露出させつつセンサチップ２０を片持ち支持する支持部材４０と、を有する力学量センサにおいて、センサチップ２０の平面形状を矩形状において隣接する二つの角の除去により構成される角部２３ａを有する形状とし、センサチップ２０のうち角部２３ａ側の端部を支持部材４０に封止する。 （もっと読む）

【課題】簡便な方法で高感度の圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力センサ１は、半導体基板２を加工してダイヤフラム構造を形成した圧力センサであって、半導体基板２が貫通した貫通部４を１箇所以上ダイヤフラム部３に形成し、半導体基板２が貫通していない薄板部にピエゾ抵抗素子Ｒ１〜Ｒ４によるブリッジ回路を形成し、無機または有機材料５ａ〜５ｃにより貫通部４を密閉している。 （もっと読む）

【課題】センサチップを圧力媒体から保護するゲル部材に結露した結露水の滞留を防止して検出精度の低下を抑制し得る圧力センサを提供する。
【解決手段】有底筒状に形成されるケース２０の周壁２２は、下壁２３の突出長さＸ１が上壁２４の突出長さＸ２よりも短く形成されるとともに、下壁２３は、底壁２１に近づくほど上壁２４に近づくように傾斜して形成される。そして、ゲル部材６０の第２ゲル６２は、下壁２３の突出端部２３ａに達するまでケース２０内に充填される。 （もっと読む）

【課題】支持手段による副共振が感圧素子の主共振へ影響することを抑制できる圧力センサーの構造を実現することを目的としている。
【解決手段】容器の開口部２２を封止し、可撓部２４ｂと当該可撓部２４ｂの外側の周縁部２４ｃとを有し、前記可撓部２４ｂが力を受けて前記容器の内側または外側に変位する受圧手段と、前記周縁部２４ｃに一端を固定し、他端を前記一端から前記可撓部の変位方向と平行に延出した複数の支持手段３２と、第１の基部４０ａと第２の基部４０ｂとを有し、前記第１の基部４０ａと前記第２の基部４０ｂとを結ぶ方向が前記可撓部２４ｂの変位方向と平行となるように前記第１の基部４０ａと前記第２の基部４０ｂが配置され、前記第１の基部４０ａが前記可撓部２４ｂの内側の中央部２４ａに固定された感圧素子４０と、前記第２の基部４０ｂと、前記支持手段３２の前記他端とを接続する固定部３４と、を備え、前記支持手段３２に前記感圧素子４０よりもＱ値が低い緩衝部５０を配置したことを特徴とする圧力センサー。 （もっと読む）

【課題】高精度な圧力検出を可能としつつ、圧電振動素子の面方向に対して手垂直な方向の衝撃に対する耐性が高い圧力センサーを提供する。
【解決手段】受圧方向へ変位する中央部３０と、中央部３０の外周に位置して変位することを抑えられた周縁部３４とを有するダイアフラム２８と、前記中央部の変位方向に沿って検出軸を定めた感圧部としての振動腕４０と振動腕４０を挟持する一対の基部（第１の基部４２と第２の基部４４）とを有し、第１の基部４２を中央部３０における一方の面に固定される感圧素子３８と、ダイアフラム２８の外周側に配置され、感圧素子３８配置側に位置する主面に段差部２７を備えるリング部２２と、感圧素子３８における第２の基部４４をダイアフラム２８における周縁部３４、または段差部２７に接続する支持板本体５０と、支持板本体５０と平行に配置され、感圧素子３８の傾倒を防止するストッパー６０，６４とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】感圧素子の素子面に対し交差する方向から作用する振動・衝撃を抑制する圧力センサーを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の圧力センサー１０は、容器と、前記容器の開口部２２を封止し、受圧部の外側に周縁部を有すると共に力を受けて前記容器の内側または外側に変位する受圧手段と、前記周縁部２４ｃに一端３２ａを固定し、他端３２ｂを前記一端３２ａから前記受圧手段の変位方向と平行に延出した複数の支持手段３２と、前記受圧部に固定される第１の基部４０ａを有し、第２の基部４０ｂを前記第１の基部４０ａから前記受圧手段の変位方向と平行に配置した感圧素子４０と、前記感圧素子４０の前記第２の基部４０ｂを固定する第１の接続片３６と、前記第１の接続片３６の両端を前記第１の接続片３６のいずれか一方の主面側に延出させて前記支持手段３２の他端３２ｂと接続する第２の接続片３８を備えた固定板３４と、を備えたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】温度変化に伴う測定値の誤差を減少させる。
【解決手段】容器と、容器の一部を構成し、力を受けて容器の内側または外側に変位する受圧手段と、感圧部と感圧部の両端に接続された一対の基部と、基部同士を結ぶ線と平行な検出軸と、受圧手段の変位方向と検出軸が平行となるように配置され、受圧手段の変位により圧力を検出する感圧素子とを有する圧力センサーであって、感圧素子を間に挟み受圧手段の周縁部または容器の受圧手段側に接続された一対の緩衝部と、緩衝部の先端同士を連結する梁部からなる門型のフレームを有し、感圧素子は、基部の一方が受圧手段に、基部の一方の反対側の他方が梁部の長手方向の中央部に接続され、感圧素子の長さＬ_Ａ、感圧素子のヤング率Ｅ_Ａ、感圧素子の断面積Ｓ_Ａ、緩衝部の長さＬ_Ｂ、緩衝部のヤング率Ｅ_Ｂ、緩衝部の断面積Ｓ_Ｂとし


の関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】媒体の物理的な状態変数を検出するためのデバイスにおいて、プリパッケージを省略し低廉化を図る。
【解決手段】デバイスは、少なくとも一つの測定センサー１０を有し、この測定センサー１０は、電気的な導体７、８に接続され、それにより、信号を伝送するように構成され、ここで、前記測定センサー１０を含む、この導体７、８の少なくとも一つの部分は、鋳物複合体の中に埋め込まれている。この鋳物複合体は、少なくとも一つのキャスティング・コア、及びこのキャスティング・コア１５を包むキャスティング・ジャケットから具体化され、そして、準備措置が、前記測定センサー１０の接触表面に対する媒体が伝導するアクセスのための少なくとも一つのリセスのために、前記鋳物複合体の中で行われる。 （もっと読む）

【課題】大気圧を基準として圧力を測定する圧力センサーであって、圧力センサーを構成する感圧素子の結露を防止する圧力センサーを提供する。
【解決手段】ハウジング１２と、前記ハウジング１２の開口部２２を封止し、受圧面で力を受けて前記受圧面に対して垂直方向に撓み変位するダイアフラム４０と、前記ハウジング１２の内部において前記ハウジング１２側と前記ダイアフラム４０側の夫々に、両端が各々接続される感圧素子４２と、両端が開放され、前記ハウジング１２に形成された圧力導入口２８ｂに一端が接続されたチューブ３６と、前記チューブ３６に導入され、前記チューブ３６内の前記一端側と他端側とを空間的に分離することにより前記ハウジング１２を気密封止し、前記ハウジング１２内の気圧が前記ハウジング１２外の気圧と等しくなるように前記チューブ３６内を移動可能な液体３８と、を有し、前記ハウジング１２内には、乾燥ガスが充填されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧力導入口がフラックスで塞がるのを防ぐことができる、圧力センサ装置及び該装置を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】半導体圧力センサ素子１１と、半導体圧力センサ素子１１に流体を導く圧力導入口１８の開口部１８Ｂ及びはんだ付け可能な端子１９が設けられた取り付け面１２Ｂを有する実装基板１２とを備える圧力センサ装置であって、開口部１８Ｂと端子１９との間に段部４１が設けられていることを特徴とする、圧力センサ装置。該圧力センサ装置と、開口部１８Ｂに連通する圧力導入口２２が設けられた被取り付け面２１Ａを有し、該圧力センサ装置が端子１９で被取り付け面２１Ａにはんだ付けされた回路基板２１とを備え、開口部１８Ａ及び段部４１が、圧力導入口２２の投影範囲内に位置する、電子機器。 （もっと読む）

【課題】温度変化及び感圧素子の経年変化に伴う圧力測定値の誤差を減少させた圧力センサーを提供する。
【解決手段】力を受けて変位する可撓部（中央領域２４ａ）と前記可撓部の外周に接続された周縁部２４ｃとを有する受圧手段（ダイアフラム２４）と、感圧部と前記感圧部の両端に接続された一対の基部を有するとともに前記基部同士を結ぶ線に平行な検出軸を有し、前記検出軸の方向が前記可撓部の変位方向と平行に配置された第１感圧素子４０及び第２感圧素子４２と、を有する圧力センサー１０であって、前記第１感圧素子４０は、一方の基部（第１の基部４０ａ）が前記可撓部に固定されるとともに、他方の基部（第２の基部４０ｂ）が前記周縁部２４ｃに支持された第１支持部材４４に固定され、前記第２感圧素子４２は、一方の基部（第１の基部４２ａ）が前記周縁部２４ｃに固定されるとともに、他方の基部（第２の基部４２ｂ）が前記可撓部に支持された第２支持部材４６に固定されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】寸法が小型であるばかりでなく、実効的に大量に製造され得る高感度圧力センサを製造する方法を提供する。
【解決手段】センサ、及びセンサを製造する方法が開示され、この方法は一実施形態では、エッチングされた半導体基材ウェーハ（３００）を、シリコン積載絶縁体型ウェーハを含むエッチングされた第一のデバイス・ウェーハに接着し、次いでこの接着体をシリコン積載絶縁体型ウェーハを含む第二のデバイス・ウェーハに接着して通気孔付き懸吊構造を形成し、この構造の曲げが、埋め込まれた感知素子（１４０）によって感知されて差圧を測定する。一実施形態では、センサに埋め込まれた相互接続路（４００）によって、他のデバイスとの相互接続性を確保しつつデバイスの滑らかなパッケージ形状を容易にする。 （もっと読む）

【課題】圧力測定対象のガスが塩素系ガス等の腐食性ガスであっても機器の腐食を安価な構成で防止してガスリークを確実に防止できる簡易差圧測定器を提供する。
【解決手段】簡易差圧測定器は、前記収容管体１４の一方側の管端部１０内に測定対象気体を導入する第１の通路２０と、他方側の管端部１２に比較気体を導入する第２の通路２２と、前記非接触式液面検出手段１８によって検出した前記収容管体１４の他方側の管端部１２内の測定液１６の液面位置に基づき前記測定対象気体および比較気体間の差圧を測定する差圧測定手段２４とを設けたものである。 （もっと読む）

【課題】効果的に外装ケースの小型化を図ることができ、かつ圧力センサのレイアウト性を高めることが可能なセンサ付電子機器を提供する。また、外装ケースのシール性を確実に確保することができるセンサ付電子機器を提供する。
【解決手段】外装ケース２と、この外装ケース２内に設けられ、圧力を検出するセンサユニット４と、これら外装ケース２とセンサユニット４との間に設けられ、外装ケース２にセンサユニット４を取り付けるためのセンサ保持枠５とを備え、このセンサ保持枠５は、センサユニット４を収納し、かつセンサユニット４のセンサ本体２４の前面２４ａに圧力を取り込む圧力室３２が設けられているセンサ収納部２８と、外装ケース２の外側から圧力室３２へと圧力を導く圧力導入路３１とを有し、センサ収納部２８の中心軸Ｐ２と、圧力導入路３１の中心軸Ｐ１とがずれている。 （もっと読む）

【課題】大気圧センサの固着異常の有無を、従来の方法とは異なった方法で検出する。
【解決手段】車両周辺の大気圧はエンジンの作動状態に基づいて推定される。推定値である本推定値は、更新条件が満たされると更新されるのであり、段階的に変化させられる。そして、車両周辺の大気圧が低下する傾向にある場合において、異常検出開始条件が成立してから、本推定値が更新されるまでの間に、本推定値が大気圧センサによる検出値より小さい場合に、この間の大気圧センサの検出値の最大変化幅が固着異常判定しきい値以上の場合には大気圧センサは正常であるとされ(a)、変化量の絶対値が固着異常判定しきい値より小さい場合には固着異常であるとされる(b)。 （もっと読む）

【課題】波長変化の検出精度を向上させる波長検出装置、圧力検出装置、除振装置、および露光装置を提供する。
【解決手段】前記光源部から射出される光を複数の光に分離し、当該分離した複数の光のうち少なくとも２つの光を干渉させる光学部と、前記干渉によって得られた干渉光を受光する受光部と、前記受光部によって受光された干渉光の干渉強度を検出する検出部とを備え、前記光学部は、前記干渉させる２つの光のうちいずれか一方の光を測定対象となる媒質に透過させる測定媒質部を備える。 （もっと読む）

【課題】密封された被検査物の内部に同梱が可能な圧力センサーの提供。
【解決手段】厚み方向に変位可能に形成された可動部１１を備え、光透過性を有する第１の基板１０と、第１の基板１０との間で可動部１１の変位を許容する内部空間３０を形成し、第１の基板１０に気密に接合された光透過性を有する第２の基板２０と、可動部１１の第２の基板２０側の面１６に設けられた第１の反射膜１７と、第２の基板２０に第１の反射膜１７に対向するように設けられた第２の反射膜２３とを備え、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせることにより、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間の距離Ｇに応じた波長の光Ｌ１を外部へ出射可能に構成され、内部空間３０が、所定の圧力に保持され、内部空間３０と外部との圧力差により可動部１１が変位し、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間の距離Ｇが、圧力差に応じて変化する。 （もっと読む）