【課題】 プローブの伸び、及び周辺空気の温度、湿度の影響を抑えた高精度な形状測定を行うことのできる形状測定用の接触式プローブおよび形状測定装置を提供する。
【解決手段】 プローブシャフト２と先端球１６を備えた接触式プローブ１において、
前記プローブシャフト２内の測長光路の少なくとも一部に透明体を設けることにより、少なくともこの部分だけ空気に暴露された光路を減らすことができる。その結果、外気の屈折率変化による測定誤差を抑え、精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】測定物の母線と検出点とのずれ量である心ずれ量を算出して補正することにより、基準となる測定物の直径値とは異なる直径値を有する測定物であっても正確な直径値を算出する。
【解決手段】測定物の中心と回転の中心を一致させて、測定物を検出器に対して相対的に回転させ、測定物の真円度を測定する真円度測定装置において、直径値既知の基準測定物と前記検出器を前記基準測定物の母線と平行に相対的に移動して前記基準測定物の対向する２つの検出点でそれぞれ測定を行い、その測定差を検出する手段と、前記測定差に基づいて、前記基準測定物の母線と前記検出点とのずれ量である心ずれ量を算出する手段と、前記算出した心ずれ量に基づいて、任意の測定物の測定値を補正する手段と、を備えたことを特徴とする真円度測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】基準面側の荷重が変化した場合にも、基準面側のエアベアリングとガイドとの間の隙間を適正な所定値に保つことができるガイド機構およびそのガイド機構を有する３次元測定機を提供する。
【解決手段】第１の側に基準面を有するガイドと、前記基準面に沿ってスライド可能に前記ガイドに設けられる被案内部材と、前記ガイドの前記基準面との間に第１の隙間を有するように前記基準面を押圧し、前記被案内部材に設けられる基準側案内部材と、前記基準面と反対側の前記ガイドの第２の側面との間に第２の隙間を有するように前記第２の側面を与圧し、前記被案内部材に設けられる与圧案内部材と、を有し、前記第１の隙間が所定値になるように、前記予圧との位置が前記被案内部材に対して上下動するように設けられる前記押圧との相対関係が調整可能であることを特徴とするガイド機構である。 （もっと読む）

【課題】測定物の上面も側面も１０〜１００ナノメートルの超高精度で走査測定できる三次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】上面スタイラス１ａは、エアスライド１ｃによりＸＹ方向には振れずに測定物の上面を走査測定でき、第１のミラー１ｂとレンズ２ｄｅによりＺ座標も精度良く測定でき、側面スタイラス２ｉａは、ＸＹ方向にのみ変位可能でＺ方向には振れないので測定物の側面を走査測定でき、側面スタイラス２ｉａのＺ座標測定は前記第１のミラー１ｂのＺ座標測定値を利用して、より高精度に側面スタイラスのＸＹ変位を傾斜角度測定部２ｊで測定することができる。 （もっと読む）

【課題】プローブの構成に関係なく、先端にかかる負荷を高感度に検出することができる形状測定センサを提供する。
【解決手段】被検物の表面形状を測定するための形状測定センサは、自身の軸方向に摺動可能に支持され、軸方法に摺動することにより被検物の表面形状に追従するプローブ１１と、プローブに向かって流体を供給しつつ、プローブを軸方向に摺動可能に支持する静圧軸受１２と、流体の動態の変化を監視することにより、プローブの先端部にかかる負荷を検出する加速度センサ１６とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回転自在の測定用テーブル上において、良好な測定精度を維持しつつ、測定位置における被測定物の高さを簡易な操作により調整可能とする。
【解決手段】ワークＷの高さを調整する高さ調整装置１０が、測定用テーブル２上に昇降自在に設けられた昇降体８２と、昇降体を支持するとともに、測定用テーブル表面に対して傾斜した傾斜面８１ａを有し、当該傾斜面の昇降体に対する相対移動により昇降体を昇降させるテーパブロックとを備え、昇降体は、前記被測定物を支持する球状部材１０２と、傾斜面に回転自在に当接するローラ１０３とを有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】
一度の計測操作によって、ねじ溝の内径のほか、ピッチ誤差やねじ溝の円筒度などを短時間で測定することのできる装置を得ようとする。
【解決手段】
被検査物たる雌ねじ部材を水平方向の軸線の回りを回転させる駆動部材と、測定子を支持して前記軸線に沿って移動可能な第１案内部材と、軸線と直交する方向へ移動可能な第２案内部材との２対の案内部材とを有し、前記第２案内部材に前記軸線と直交する方向へ付勢する付勢手段と、その付勢手段に抗して移動させる逆行手段とを付設するとともに、前記第１案内部材と第２案内部材とにそれらが移動する距離を計測可能な計測手段を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】静圧気体軸受を利用してリング体の振れを簡単で精度よく測定できるようにする。
【解決手段】
フランジを有する中空シャフトの内径からシャフト外周に開口する放射状の孔を設け、測定物であるリング体を該シャフトに挿入して内径からシャフト外周に開口する放射状の孔から加圧空気を噴射してリング体を非接触状態で把持し、求心力を得るためにシャフト下部の気体の流れの為の溝を設け、リング体重量によっては求心の為に浮上させる中空シャフトの内径に連通する給気孔をフランジに設け、かつリング体によっては求心力が最大になるようにシャフト中央部に適切に大気開放溝を設け、精度の高い振れ測定を可能にする。 （もっと読む）

【課題】プローブ軸及びプローブ枠の精密加工に要する加工コストを軽減することができること、微小な測定力を精密に調整しつつ、高精度の測定を実現することのできる、接触式形状測定器用プローブヘッドを提供すること。
【解決手段】測定用触針３が取り付けられるプローブ軸１と、このプローブ軸１を進退自在に支持するプローブ枠２とを備えた接触式形状測定器用プローブヘッドにおいて、プローブ枠２には、プローブ軸１をプローブ枠２との間で隙間を設けて支持する支持用空気静圧パッド４ａ、４ｂと、支持用空気静圧パッド４ａ、４ｂ以外にプローブ枠２に設けられ、空気の粘性抵抗により発生する圧力差を利用して、プローブ軸１に測定力を発生させる測定力発生用空気静圧パッド５ａ、５ｂとが設けられている。 （もっと読む）

【課題】接触子の形状が理想的な球ではない場合であっても、測定点を正確に算出可能な形状測定装置、その形状測定方法並びに形状測定プログラムを提供する。
【解決手段】前記接触子の前記被測定物への複数箇所での接触時における前記接触子の基準点の位置座標を擬似測定点として取得する擬似測定点取得部２１２と、前記擬似測定点から前記擬似測定点に沿った面又は線を推定し、該面又は線に対する各擬似測定点からの法線ベクトルを算出する法線ベクトル生成部２１３と、前記接触子の表面形状を特定する接触子モデルの基準点を前記擬似測定点に一致させると共に測定時の前記接触子と前記接触子モデルとの姿勢を一致させて前記接触子モデルを配置する接触子モデル配置部と２１４、前記各法線ベクトルが前記各配置された接触子モデルの表面と交わる点を測定点として算出する測定点算出部２１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 接触式プローブによる形状測定において、測定物表面にゴミなどがあっても安定して走査可能なプローブを提供する。
【解決手段】 ハウジングに固定してプローブシャフトに力を加える事が可能な力発生手段を設け、ハウジングとプローブシャフトの間の変位や速度によってプローブシャフトに作用させる力を変化させる事で安定した走査を可能にする。すなわち、正常にトレースが行われている時は、弱いばね要素としての力をプローブシャフトに作用させ、ごみ等により跳ね上げられた時は、ばね要素の剛性を強める事で素早くプローブを測定面に戻すようにする。 （もっと読む）

【課題】 接触力を変えながら小さな接触力で被測定物の表面形状を測定できる形状測定器を提供する
【解決手段】 測定プローブ３２を傾斜θを持たせて支持する。測定プローブ３２の後退する力は、傾斜θによって生じているため、自重ｍに比べて遙かに小さいｍｇsigθとなる。一方、エアシリンダ４０で押出力Ｆcで付勢する。このため、ワークＷへの測定プローブ３２の接触力は、測定子自重傾斜成分ｍｇsigθと、エアシリンダ４０の押出力Ｆcとの差分（Ｆ＝Ｆc−ｍｇsigθ）になるので、接触力を非常に小さくすることが可能である。更に、エアシリンダ４０で押出力Ｆcを変えることで、接触力を変えることができる。 （もっと読む）

【課題】 測定子の移動精度を容易に確保でき、高精度な３次元形状の測定を可能としながら、コストの低減が可能な円すい面形状測定装置を提供する。
【解決手段】 円すい面形状を有する被測定物Ｗを、その円すい面の中心軸が回転中心に一致するように支持するターンテーブル１と、被測定物Ｗの表面に接触または近接して被測定物表面の変位を測定可能な測定子２を設ける。ターンテーブル１に支持された被測定物Ｗの円すい面の母線と平行に上記測定子２を移動させる測定子移動機構３を設ける。測定子移動機構３は、ターンテーブル１に対する径方向移動体９と、この径方向移動体に傾斜角度変更自在に支持された傾動体１０とを備え、この傾動体１０にエアースライド装置５を介して測定子２を支持する。ターンテーブル１は、静圧空気軸受３１で支持する。 （もっと読む）