【課題】ひずみを受感する素子と温度補償素子との接合部の段差に対する応力集中による疲労破断が発生しにくいひずみゲージおよびその製造方法を提供することである。
【解決手段】ひずみを受感する素子１１、１２、１３、１４と、温度補償素子１７、１８と、を一体に形成して成るひずみゲージ１０であって、前記温度補償素子１７、１８が、表面にメッキまたは蒸着を施して成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基準信号の整数倍次の高調波に起因して位相検波処理で生じるドリフトを抑制できる基板観察装置を提供する。
【解決手段】基板観察装置３１は、方形波の基準信号を出力する基準信号源６１と、基準信号源からの方形波を正弦波に変換するための第１のフィルタ回路６３と、第１のフィルタ回路を経た正弦波を基板に対して出力する励磁部４１と、基板からの検出信号を受ける検出部４３と、基準信号と基板からの検出信号とを掛け合わせる位相検波回路７７と、位相研磨回路の後段に接続された第２のフィルタ回路７９と、検出部４３と位相検波回路７７との間に設けられ、検出信号から、基準信号の整数倍次の高調波を除去する第３のフィルタ回路７３とを備える。第３のフィルタ回路７３は、基準信号の３次の高調波を除去してよい。 （もっと読む）

【課題】 磁性移動体１がそのストローク方向に対して垂直な方向に位置ズレした場合であっても、磁気センサ２の出力ズレの影響を抑制することを課題とする。
【解決手段】 磁性固定体には、磁気センサ２の中心部を通る対称軸線を中心にして対称的な形状となるように、コの字状の断面を有する第１、第２分割ブロック６、７が配置されている。そして、磁性移動体１の第１端面と磁気センサ２との間には第１エアギャップ（Ｇ１）が形成され、また、磁性移動体１の第２端面と第１、第２分割ブロック６、７の各対向部１３、１４との間には第２エアギャップ（Ｇ２）が形成されている。これによって、仮に磁性移動体１がそのストローク方向に対して垂直な方向に位置ズレした場合であっても、第１エアギャップ（Ｇ１）と第２エアギャップ（Ｇ２）とが互いにギャップ長の増減を補い合うため、磁気センサ２の出力ズレの影響を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】単結晶シリコン基板からなる力学量測定装置の大きなひずみによる破壊を防止する。
【解決手段】ひずみ検出部を有する半導体単結晶基板からなるセンサチップの裏面にひずみ測定用の実装板を設ける。
【効果】被測定物に大きなひずみが発生した場合でも、実装板により半導体単結晶基板に生じるひずみを制御することが可能であるため、半導体単結晶基板が破壊することが無く、信頼性の高い力学量測定装置が提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 位置検出を精度良く行うことができる位置検出装置の提供。
【解決手段】 磁気抵抗素子が２対設けられた検出ヘッド２に対して、磁気スケール１が接触しながらは図示左右方向に移動すると、一方の磁気抵抗素子対からはＡ相出力が、他方の磁気抵抗素子対からはＢ相出力が出力される。各比較器５ａ，５ｂは、Ａ相およびＢ相出力と基準電圧発生器７からの基準電圧値Ｖｒとに基づいて矩形波Ｙ１，Ｙ２を出力する。矩形波処理回路８は各矩形波Ｙ１，Ｙ２に応じたパルス信号をマイクロコンピュータ９に出力し、マイクロコンピュータ９はそれらのパルス信号をカウントすることにより磁気シート１の移動距離を検出する。基準電圧発生器７は位相検出器６から出力される移動方向情報に基づいて、右方向移動時の基準電圧値または左方向移動時の基準電圧値を各比較器５ａ，５ｂに出力する。 （もっと読む）

【課題】 背景磁場の変動に影響されず、かつ遠方の車両を誤検知することが防止できる車両検知装置を提供する。
【解決手段】 道路下に道路の長手方向に間隔をおいて配置した複数の磁気センサ１と、これら磁気センサの出力が示す道路長手方向の磁気分布の波形的特徴から所望の車線について車両が通過したことを検知する演算装置２とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 複数の接続端子に対するひずみゲージの接続状態を測定器側から検知し、当該ひずみゲージの種類を簡易、確実且つ迅速に判別する。
【解決手段】 ひずみ測定装置３１において、マイコン４０が各スイッチＳＷ１〜ＳＷ９をオン／オフ制御して、接続端子Ａ〜Ｂ間に定電流源Ｉからの定電流を流し、電圧Ｖ_ａｂを求めてデータＸとする。次いで、接続端子Ａ〜Ｃ間についても定電流を流し、電圧Ｖ_ａｃを求めてデータＹとする。これら電圧値のデータＸ〜データＹ、定電流に基づき、接続端子Ａ〜Ｃ間に接続されているのが一般のひずみゲージであるのか、測温抵抗体付きのひずみゲージ１であるのかを判別する。 （もっと読む）

【課題】 方向により感度差が発生しないセンサ回路を提供すること
【解決手段】 比較の基準となる固定容量COを設け、前記固定容量COと物理量に応じて容量が変化する一対の可変容量C1, C2とを比較して、その差を出力するものとしている。 （もっと読む）