【課題】多層構造において層間ギャップを含む層を評価するための装置を提供する。
【解決手段】軸を横切って略整列した複数の縁部を呈する多層構造において、層間ギャップを含む層を評価するための装置１０は、少なくとも１つのパラメータを検知するように構成された検知ユニット１２、検知ユニットと結合されて、検知ユニットを軸に略沿って移動させるように構成された位置決めユニット１４、ならびに位置決めユニット１４および検知ユニット１２の少なくとも１つと結合された制御ユニット１６を含む。制御ユニット１６は、検知ユニット１２に電気信号を供給する。制御ユニットは１６、検知ユニットが複数の縁部を過ぎて移動するとき、少なくとも１つのパラメータの変化を監視する。制御ユニット１６は、少なくとも１つのパラメータの変化を使用して評価を行う。 （もっと読む）

【課題】隣接トラック間でのクロストークを防止して高精度な誘導検出型ロータリエンコーダを提供する。
【解決手段】誘導検出型ロータリエンコーダ１１は、ロータ１５のステータ１３との対向面に内側から順に回転軸に対して同軸的に形成されて第１の受信巻線３２ａ及び第２の受信巻線３２ｂとそれぞれ磁束結合する第１の磁束結合巻線４１ａ及び第２の磁束結合巻線４１ｂを備える。第１の磁束結合巻線４１ａ及び第２の磁束結合巻線４１ｂは、それぞれ１回転で周期的変化を生成する第１のトラック及び第２のトラックを形成する。第２の磁束結合巻線４１ｂは、第１の配線４１０ｂ、第２の配線４２０ｂを有する。第１の配線４１０ｂは、歯車状に構成され、スピンドル７に近づく方向に窪む凹部４１１ｂと、スピンドル７から離れる方向に突出する凸部４１２ｂとを交互に構成する。第２の配線４２０ｂは、第１の配線４１０ｂの凹部４１１ｂを結ぶように形成されている。 （もっと読む）

【課題】送信巻線に流れる送信信号の強度を大きくしつつミスアライメントの影響を受けにくくすることにより、誘導型変位検出装置の高精度化を図る。
【解決手段】誘導型変位検出装置はロータリ型であり、送信巻線１０５はステータに配置されている。送信巻線１０５は、端子Ｔ１からリング状に延びて送信折返し部２５に至るリング部２７及び送信折返し部２５からリング部２７と異なる半径でリング状に延びて端子Ｔ２に至るリング部２９を含む。送信巻線１０５は、上下方向に互いに間隔が設けられた上層導体１５と下層導体１７を備える。 （もっと読む）

【課題】ロータブッシュを適切な姿勢に保持することができ、回転伝達誤差を低減することができるデジタル式変位測定器を提供する。
【解決手段】ロータブッシュ４４がステータ４２と反対方向へ移動することを規制するロータブッシュ規制手段５０を備え、ロータブッシュ規制手段５０は、本体に固定された固定部材５１と、ロータブッシュ４４と固定部材５１との間に設けられたロータブッシュ姿勢維持部材５２と、を有し、ロータブッシュ姿勢維持部材５２は、ロータブッシュ４４と当接される二つの第１当接部５２２と、固定部材５１と当接される二つの第２当接部５２３と、を有し、二つの第１当接部５２２は、スピンドル２の軸に対して互いに対称の位置に設けられ、二つの第２当接部５２３は、スピンドル２の軸に対して互いに対称の位置に設けられ、二つの第１当接部５２２を結ぶ直線と二つの第２当接部５２３を結ぶ直線とは、互いに略垂直であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】周知な超小型バネ荷重型ＬＶＤＴは、プローブと検出器を対で用いるため、多数の実装部品の検査に好適せず、比較的低価格帯の電子部品を用いて高周波励磁用電力で駆動しても正確な動作が期待できない。
【解決手段】本発明は、基板上に実装された複数の電子部品の検出部に用いられ、母線方向に延び、前記磁性体が移動する距離範囲内をカバーする長さと高周波の印加により筐体に発生するうず電流の電流通路が遮断できる幅を有する少なくとも１つのスリットが形成される筐体内を移動可能で一端が外部に延出し、他端に磁性体が設けられた可動軸と、磁性体と対向する位置に高周波励磁用電力が印加され電界を発する一次コイルと、電界中の前記磁性体の移動により発生する誘導電流を取り込む２分割された二次コイルとを備え、基板検査システムに用いられるリニアスケールプローブである。 （もっと読む）

【課題】小型であり製造が簡便である絶対位置測定装置を提供する。
【解決手段】本体２００に螺合され回転によって軸方向進退自在のスピンドル３００と、スピンドル３００の回転に応じて２つの互いに周期が異なる位相信号を発信する位相信号発信手段４００と、を備える。スピンドル３００には、軸線に沿ってキー溝３３０が設けられている。位相信号発信手段４００は、スピンドル３００と一体回転する第１ロータ板５２０を備える第１ロータリーエンコーダ５００と、スピンドル３００と一体回転するとともに外側面にネジ５３１を有する第１回転円筒５３０と、第１回転円筒５３０のネジ５３１に噛み合う歯を有する歯車６１１およびこの歯車６１１と一体回転する第２ロータ板６１２を有する第２ロータリーエンコーダ６００と、備える。スピンドル３００の回転に対して第１ロータ板５２０の回転周期と第２ロータ板６１２の回転周期とは異なっている。 （もっと読む）

【課題】小型であり、製造が簡便である絶対位置測定装置を提供する。
【解決手段】本体と、スピンドル３００と、ロータリーエンコーダ５００と、リニアエンコーダ６００と、演算処理手段７２０と、を備える。ロータリーエンコーダ５００は、スピンドル３００と一体回転するロータ板５２０を備える。回転円筒５３０は、スピンドル３００と一体回転するとともに雄ネジ５３１を有する。ナット部材６１０は、回り止めされた状態で回転円筒５３０の雄ネジ５３１に螺合している。リニアエンコーダ６００は、ナット部材６１０とともにスライド移動するスライダ６２０およびスライダ位置を検出する検出スケール６３０を有する。ロータリーエンコーダ５００はロータ板５２０の一回転以内の回転角をアブソリュート検出し、リニアエンコーダ６００はスライダ６２０の位置をアブソリュート検出する。 （もっと読む）

【課題】 操作性が高く、かつ、検出精度、検出分解能が高い測定器を提供する。
【解決手段】 スピンドル３００の回転に応じてスピンドル３００の異なる回転角に対して異なる値の位相信号を発信する位相信号発信手段４００と、位相信号を演算処理してスピンドルの絶対位置を求める演算処理部５００と、を備える。位相信号発信手段は、位相信号を所定のピッチで発信する。スピンドル３００の異なる回転角に対して位相信号は異なる値であるので、位相信号からスピンドル３００の回転角が一義的に決定される。インクリメンタル式と違って、位相信号の読み飛ばし等が問題とはならないので、スピンドル３００の高速回転を許容して測定器の操作性を向上させることができる。さらに、位相信号の読み飛ばしが問題とはならないので、スピンドル３００の回転に対する位相信号の変化を細密化できる。 （もっと読む）

【課題】小型化しても高精度測定が可能なアブソリュートロータリエンコーダを提供する。
【解決手段】ロータ３には、トラック４１、４３が同心円状に配置されている。トラック４１は外側に配置され、受信巻線１７及び送信巻線群Ｇ２と磁束結合可能にされている。これに対して、トラック４３は内側に配置され、受信巻線１９及び送信巻線群Ｇ２と磁束結合可能にされている。トラック４１、４３は、それぞれ、軸９を中心とする連続した一つのリング状の磁束結合巻線５１、５３である。磁束結合巻線５１、５３を構成するブロック６１の数は、トラック４１が１０個で、トラック４３が９個である。 （もっと読む）

【課題】 道路上などの水膜の膜厚を測定する簡易な測定装置を提供する。
【解決手段】 固定電極１３上の水膜１５の膜厚を測定する水膜膜厚測定装置において、固定電極１３に対向し上下動する移動電極１１と、水膜１５を載せた固定電極１３と移動電極１１との間の電気抵抗を測定する電気抵抗測定部３とにより、移動電極１１の位置に応じて変化する電気抵抗に基づいて水膜膜厚を測定する。移動電極１１が空気中から下方に移動する間の電気抵抗測定部３の出力に基づいて、移動電極１１が固定電極１３に接触した位置Ｐ２と、移動電極１１を再度下降させ水膜１５に接触した位置Ｐ１をメモリ７に格納し、（Ｐ２−Ｐ１）を水膜膜厚ｄとする。これにより、表面張力により付着した移動電極上の水膜と固定電極厚は測定誤差から相殺され、水膜膜厚ｄの測定精度が向上する。 （もっと読む）