【課題】本発明は、検出コイルとテーパ状の複数のスケールの組合わせにより簡単な構成で高性能の直線検出を行うことを目的とする。
【解決手段】本発明によるリニアセンサは、長手状磁性部材(40)の上に貼り合わせた第１、第２、第３スケール(40A,40B,40C)と、前記各スケール(40A,40B,40C)に対応する第１〜第３突出歯部(32〜33)を有するＥ型の検出ステータ(30)と、を備え、前記第１、第３スケール(40Z,40C)の第１、第３スケール幅(B1,B3)は長手方向(A)に沿ってテーパ状に変化し、長手方向の位置を第１、第２検出コイル(2,2A)で検出する構成である。 （もっと読む）

【課題】従来のリニア位置センサは、複雑な構造が必要となり、信頼性が低くなっている。
【解決手段】本発明によるリニア位置センサでは、スケール方向３に沿う第１位置２６での第１スケール内ギャップ２４の幅と第２スケール内ギャップ２５の幅との組み合わせが、スケール方向３に沿う第２位置２７での第１スケール内ギャップ２４の幅と第２スケール内ギャップ２５の幅との組み合わせと異なるように第１〜第３スケール部材２１〜２３が配置されており、演算部３１が、第１検出コイル１５からの信号１５ａと第２検出コイル１６からの信号１６ａとに基づいて、スケール方向３に沿う検出ステータ１とスケール体２との相対的な位置を検出する構成である。 （もっと読む）

【課題】金属物の形状を判別して検知できる金属物の形状判定方法を提供する。
【解決手段】センサーコイル５，６を用いて、被検出物２中に混入した金属物を検知する。センサーコイル５，６から出力される検出信号を信号処理解析して、金属物の形状を判定する。解析のとき、被検出物２がセンサーコイル５，６に入力するタイミングから、センサーコイル５，６を通過して出ていくタイミングまでの信号を規格化して規格化信号にし、規格化信号の中に、３以上のピーク値があるとき、針であると判定する。規格化信号の中に、２個のピーク値のみがあるとき、鉄粉であると判定する。 （もっと読む）

１または複数の対象物たとえばタービンの回転ブレードの周期的位置を検知するためのシステムおよび方法。システムは受動渦電流検知ユニットを備え、受動渦電流検知ユニットは、１または複数の磁石と第１および第２のコイルがそれぞれ巻かれた第１および第２のコアとを有し、これらは共に第１および第２の磁界を発生させる。検知ユニットの位置は、対象物が第１および第２の磁界を周期的に連続して通過し、その結果、第１および第２のコイルが第１および第２の出力信号をそれぞれ生成するように定める。各コイルは別個に処理回路構成に接続され、処理回路構成は第１および第２の出力信号をそれぞれ受け取る。回路構成は、第１および第２の出力信号を電子的に組み合わせて、同相信号が電子的に互いに差し引き合い、回路構成の出力から、第１および第２の出力信号中に存在する任意の電磁妨害ノイズが取り除かれるようにする。
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提供されねばならないのは位置を判定するための可動電気機械用の安価な検出システムであって、検出信号が零通過を備えていなければならない。これは例えば、Ｕ形ヨーク（３）と磁気量を検出するためにヨーク（３）の内部／表面に配置されるセンサ（１０）とを有する検出装置（１）によって達成される。ヨーク（３）の一方の自由端に２つの逆向きの磁石または方向性磁石（６〜９）が配置されている。機械構成部品（２）の磁極歯（１１、１２、１３）の１つに対する磁石（６〜９）の位置に依存して、センサ（１０）によって検出可能な逆向きの磁束をヨーク（３）内で発生することができる。そのことから、複数の測定センサを利用する必要もなしに、例えばリニアモータを制御するために概ね正弦波状のセンサ信号を得ることができる。 （もっと読む）

装置は半導体ウェハのような物体を正確に制御された位置で処理する。物体（１９）は経路に沿って移動可能な作業テーブル（１２）上に支持される。作業プラットフォーム（１２）に取り付けられた懸架アクチュエータ部（１４）は、経路に沿って支持構造上の軟磁素子（３４）の表面に面する極を有する軟磁コア（２４）と、極を介してコア（２４）を通じて流れ、且つ、軟磁素子（３４）を介して戻る磁界を発生するために電流を加えるための巻線（２０）とを含む。センサ（１７）は、位置基準素子（１６）に対する懸架アクチュエータ部（１４）の測定された位置を感知する。制御回路は、外部制御回路（４０）と、内部制御回路（４２）とを含む。外部制御回路（４０）は、感知結果を受信し、アクチュエータ部（１４）の測定された位置を所定値に規制するために、力設定点情報を決定する。内部制御回路（４２）は、力設定点情報を受信し、力設定点情報に従って、アクチュエータ部（１４）と支持構造（１０）との間に力を実現するために、電流を制御する。
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【課題】 複数のコイルを有する磁気センサにおいて、測定精度を確保しつつ、測定の際に使用するコイルの配置間隔を容易に変えることができる磁気センサの提供。
【解決手段】この発明は、磁気検出部１、励磁電源２、選択回路３、差動増幅器４などを備えている。磁気検出部１は、励磁用コイル１１ｄと、検出用コイル１１ａ，１１ｂ，１１ｃ、１１ｅ，１１ｆ，１１ｇとを有する。選択回路３は、欠陥検出の際に、コイル１１ａ〜１１ｇの一端側を選択的に接地させるスイッチ３１ａ〜３１ｇを備えている。また、選択回路３は、欠陥検出の際に、検出用コイルのうちから所定の２つのコイルを選択し、この選択した２つのコイルの検出信号を差動増幅器４の入力側に導くとともに、その選択されない残余のコイルについては各コイルの両端をフローティング状態で短絡させるための切り替えスイッチ３２ａ〜３２ｆを備えている。 （もっと読む）