【課題】構造を過度に複雑化することなく、干渉計部の微小な移動を可能とする干渉対物レンズの技術を提供することを課題とする。
【解決手段】干渉対物レンズ１０は、複数のレンズを内部に収納し、光学装置本体に取付けられる固定筐体１１と、干渉計部１３の少なくとも一部を保持し、固定筐体１１に対して摺動する摺動枠１５と、固定筐体１１に螺合する第１のピッチの雌ねじ１４ａと、摺動枠１５に螺合する第１のピッチと異なる第２のピッチの雌ねじ１４ｂと、を有する調整環１４と、を含んでいる。固定筐体１１と調整環１４と摺動枠１５が差動ねじ機構として機能することにより、干渉計部１３を光軸ＡＸの方向に微小に移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】 被検面が傾いていても測定精度を悪化させることのない多波長干渉計を提供する。
【解決手段】 波長が互いに異なる少なくとも２つの光束を参照光と被検光とに分割し、分割された参照光の周波数と被検光の周波数とを異ならせ、被検光と参照光とを干渉させる干渉計において、干渉光を複数の光束に分割する分割部を有し、分割された複数の光束を各波長について検出する。 （もっと読む）

【課題】汎用性の高い校正原器を提供し、一つの校正原器で種々の形状計測装置の横座標の校正を可能にする。
【解決手段】形状計測装置の横座標を校正する際にワークの代わりに配置される校正原器２０に、入射角度に係わらず光を元来た方向に反射する再帰性光学素子２１を設け、この再帰性光学素子２１によって測定光Ｌｍを反射させる。校正原器２０は、再帰性光学素子２１によって反射するため、種々の曲率半径の測定光を元来た方向に反射することができ、これによって、種々の形状計測装置の横座標の校正に使用することができる。 （もっと読む）

【課題】表面形状測定機の測定視野以上の測定領域の測定をするに際して、複数の測定結果の繋ぎ合せを簡易に行うことを可能とし、オーバーラップ領域を低減して全体の測定時間を削減し、さらに一定の累積誤差の発生を低減することが可能な表面形状測定方法を提供すること。
【解決手段】面測定データの繋ぎ合せ時に回転方向の補正を行わず、面測定データの平行移動のみを行い面測定データを合成して合成面測定データを取得するようにする。 （もっと読む）

【課題】低コストでありながら操作性及び機能の優れた干渉対物レンズ装置、及び当該干渉対物レンズ装置を備えた光干渉測定装置を提供する。
【解決手段】光出射部１０から出力された光をワークＷに対して収束させる対物レンズ３１と、対物レンズ３１よりもワークＷ側に配される参照ミラー３２と、対物レンズ３１を透過してきた光を、参照ミラー３２を有する参照光路とワークＷを配置した測定光路とに分岐させると共に、参照ミラー３２からの反射光とワークＷからの反射光とを合成して干渉光として出力させる分岐合成部材３３と、参照ミラー３２からの反射光又はワークＷからの反射光の何れか一方の他方に対する光量を調節する光量調節手段（液晶パネル３４及び制御部７０）を備える。 （もっと読む）

【課題】コスト及び測定時間を抑えるとともに、非球面を含む様々な表面形状を効率良く測定することが可能な干渉計を提供する。
【解決手段】光源２、コリメートレンズ３、フォーカシングレンズ４、及び空間フィルタ５と、空間フィルタ５からの光束を平行光にする第１ビームエキスパンダーレンズ６及び第２ビームエキスパンダーレンズ８と、第２ビームエキスパンダーレンズ８から射出された平行光を収束させる収束レンズ９と、光束を分割し、参照レンズ１２と被検レンズ１３に導くとともに、参照レンズ１２と被検レンズ１３からの反射光を重ね合わせて射出する
ビームスプリッター１１と、ビームスプリッター１１から射出された光を受光するスクリーン１４と、スクリーン１４が受光した光をＣＣＤカメラ１８で撮像する撮像光学系１７と、ＣＣＤカメラ１８から得られた画像（干渉縞）を取り込み、表面形状を解析する形状解析部１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】回転対称な線織面で構成される被検面の形状等を短時間で測定することが可能な光波干渉測定装置を得る。
【解決手段】回転軸Ｒ_２回りに回転せしめられる被検レンズ９の被検面（コバ部表面９５、嵌合面９８、嵌合部底面９９）に対し、顕微干渉計１から測定光軸Ｌに沿って収束しながら進行する低可干渉性の測定光を照射し、被検面の回転位置毎に対応した各回転位置別干渉縞を第１撮像カメラ２４の１次元イメージセンサ２３により撮像する。この各回転位置別干渉縞の画像データに基づき被検面の形状が解析される。 （もっと読む）

【課題】回転対称な線織面または互いに離間した複数の平面からなる被検面の傾斜角度、形状および径の大きさ等を短時間で測定可能な被検面測定装置を得る。
【解決手段】円錐レンズ３１と回折光学素子３２とからなる光偏向素子３０を配置し、測定光を照射する。光偏向素子３０に入射した測定光の一部は、参照基準面３１ｂにおいて参照光として反射され、その余は光偏向素子３０により放射状に偏向されて被検面７１の各部に垂直に照射される。被検面７１の各部から再帰反射された測定光の一部は、光偏向素子３０を経由し被検光として参照基準面３１ｂに戻る。この被検光と参照光の光路長差が低干渉光源１１からの出力光の可干渉距離以下となるように迂回路部１３における迂回距離の調整がなされ、撮像カメラ２３により撮像された干渉縞画像に基づき、被検面７１の各部の傾斜角度、形状および径の大きさが測定解析される。 （もっと読む）

【課題】目標とする非球面波をより正確に発生する非球面波発生光学系。
【解決手段】非球面波を発生するための非球面波発生光学系は、第１非球面を有する第１アルバレツレンズと、第２非球面を有する第２アルバレツレンズと、前記第１アルバレツレンズと前記第２アルバレツレンズとの間に配置されたリレー光学系とを備え、前記第１非球面および前記第２非球面が前記リレー光学系に関して互いに共役な位置に配置され、前記非球面波発生光学系の光軸をｚ軸とするｘｙｚ座標系において、前記第１非球面の形状をｚ＝ｆ１（ｘ、ｙ）、前記第２非球面の形状をｚ＝ｆ２（ｘ、ｙ）とし、前記リレー光学系の倍率をβ、定数をＣとしたときに、前記第１非球面および前記第２非球面が、ｆ２（ｘ，ｙ）＝ｆ１（βｘ，βｙ）＋Ｃを満たすことができる形状を有する。 （もっと読む）

【課題】レーザ走査干渉を用いて円筒面の形状を簡単に、かつ、短時間で測定することができ、同時に円筒面の表面画像を得ることのできる、円筒面の形状計測方法を提供する。
【解決手段】テレセントリックｆθレンズ８の焦点面近傍に近接配置した参照平面９ａ及び被観察円筒面10ａからの反射光を前記テレセントリックｆθレンズ８により平行光束に変換し、結像レンズ11によって集光してテレセントリックｆθレンズ８の焦点面と共役の位置に設置したピンホール12ａを通過させ、ピンホール12ａを通過した反射光の光量を受光素子13で計測する。レーザ光源１からのレーザ光を連続点灯又はパルス点灯させるとともに、走査光を被観察円筒面10ａの母線に沿って走査させ、かつ、被観察円筒面10ａを有する被測定物10をその円筒軸10ｂを中心に回転させながら計測する。 （もっと読む）

【課題】非球面体の内部屈折率分布の影響を受けることなく、また、非球面体が測定光を透過しないものである場合でも、面ずれ量および面倒れ量を測定できるようにする。
【解決手段】第１干渉計１Ａと第２干渉計１Ｂとを用いた反射波面測定により、非球面レンズ９の第１レンズ面９１および第２レンズ面９２の形状データを求める。各形状データをツェルニケ多項式で近似し、そのときのツェルニケ多項式の係数Ｚ_１，Ｚ_２の値を求めるとともに、各形状データから第１被検面の頂点偏芯の値および第２被検面の頂点偏芯の値を求める。求められたこれらの値に基づき、第１測定光軸Ｌ_１に対する第１レンズ面９１のシフト量およびチルト量と第２測定光軸Ｌ_２に対する第２レンズ面９２のシフト量およびチルト量を求め、求められた各々のシフト量およびチルト量と、第１干渉計１Ａおよび第２干渉計１Ｂの相対位置関係とに基づき、面ずれ量および面倒れ量を算出する。 （もっと読む）

【課題】反射率の異なる箇所が存在する測定対象物を測定する場合でも、容易に測定を行える三次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】広帯域光を出力する光出射部１０と、広帯域光を参照ミラー３２を有する参照光路と測定対象物Ｗを配置した測定光路とに分岐させ、参照ミラー３２からの反射光と測定対象物Ｗからの反射光とを合成波として出力させる対物レンズ部３０と、参照光路又は測定光路のいずれか一方の光路長を変化させる駆動機構部５０と、干渉画像を撮像する撮像部４０と、を備えた光干渉測定装置１であって、対物レンズ部３０において、参照ミラー３２からの反射光と測定対象物Ｗからの反射光との位相差を制御し、光路差ゼロの位置において暗の干渉縞を発生させる位相差制御部材３４と、撮像された干渉画像に基づいて、光路差ゼロの位置において発生した暗の干渉縞のピーク位置を検出するピーク位置検出プログラム７３２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ高強度の球面波を得ることが可能な光学素子、照明光学系及び測定装置を提供する。
【解決手段】光を透過する基材１０と、基材１０の表面に形成された金属薄膜１１と、金属薄膜１１に形成されるとともに、基材１０の内部から基材１０の表面に向けて光を全反射条件で入射させたときに励起される表面プラズモンを球面波に変換して出射させる散乱部１２と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】干渉縞画像のコントラストを向上させることができるミロー型干渉対物レンズの提供。
【解決手段】ミロー型干渉対物レンズは、光源から出射される光を被検面に集光させるレンズと、レンズにて集光される光の一部を反射させるとともに、他を透過させるビームスプリッタと、レンズ、及びビームスプリッタの間に設けられる基板６と、基板６におけるレンズ側の面に設けられ、ビームスプリッタにて反射される光を反射させるミラー７とを備える。ミラー７は、ミラー７の上面に成膜される多層膜８と、多層膜８に成膜されるフッ化マグネシウム、酸化ケイ素、または酸化アルミニウムからなる被覆膜９とを備える。多層膜８は、ミラー７側から順にクロム膜８１と、誘電体膜８２とを交互に積層した少なくとも２層とされている。 （もっと読む）

【課題】干渉縞の間隔が細かい場合でも、位相ノイズの影響を受け難く、干渉縞の位相分布を正しく繋ぐことができる位相接続方法を提供する。
【解決手段】本発明の位相接続方法は、被検面で反射した光と基準面で反射した光との光路差を変化させて取得した少なくとも３つの回転軸対称な干渉縞から算出した干渉縞の位相分布を接続する位相接続方法であって、干渉縞における回転対称中心の位置を算出する中心算出ステップと、位相接続を行う干渉縞の対象領域と回転対称中心との距離を全ての対象領域においてそれぞれ算出する距離算出ステップと、回転対称中心との距離が小さい順に対象領域の順番を決定し、その順番で対象領域の位相値を接続する位相接続ステップとを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】非球面体の内部屈折率分布の影響を受けることなく、また、非球面体が測定光を透過しないものである場合でも、面ずれ量および面倒れ量を測定できるようにする。
【解決手段】第１干渉計１Ａと第２干渉計１Ｂとを用いた反射波面測定により、非球面レンズ９の第１レンズ面９１および第２レンズ面９２の形状データを求め、各形状データをツェルニケ多項式で近似する。そのときのツェルニケ多項式の係数Ｚ_１，Ｚ_２，Ｚ_６およびＺ_７の値に基づき、第１測定光軸Ｌ_１に対する第１レンズ面９１のシフト量およびチルト量および第２測定光軸Ｌ_２に対する第２レンズ面９２のシフト量およびチルト量を求める。求められた各々のシフト量およびチルト量と、第１干渉計１Ａおよび第２干渉計１Ｂの相対位置関係とに基づき、面ずれ量および面倒れ量を算出する。 （もっと読む）

【課題】フリンジスキャン干渉縞計測方法および干渉計において、簡素な構成を用いて、容易かつ高精度な形状測定を迅速に行うことができるようにする。
【解決手段】位相増分Δφずつシフトして、ｎ個の干渉縞画像を取得して被測定面の形状を算出するフリンジスキャン干渉縞計測方法であって、位相増分Δφを細分する位相量でシフトして候補画像を取得する候補画像取得工程（ステップＳ１）と、各候補画像の同一位置における輝度変化を取得する輝度変化取得工程（ステップＳ２）と、この輝度変化を用いて位相変化を算出する位相変化算出工程（ステップＳ３）と、位相量が、Δφ・（ｋ−１）（ただし、ｋ＝１，…，ｎ）の近傍の複数の候補画像を補間演算用画像として選択する補間演算用画像選択工程（ステップＳ４）と、この補間演算用画像を用いて補間演算を行うことにより、前記ｎ個の干渉縞画像を取得する干渉縞画像算出工程（ステップＳ５）とを備える。 （もっと読む）

【課題】データ範囲の有限性などに起因するリップル状の解析誤差を抑える。
【解決手段】フーリエ変換法を利用した解析処理を入力波形へ施すことにより、その入力波形に含まれる特定成分を算出する本解析手順（Ｓ１１）と、算出した特定成分を含む基礎データに対して平滑化処理を施すことにより、前記入力波形のモデルであるモデル波形を作成するモデル作成手順（Ｓ１４）と、前記モデル作成手順で作成したモデル波形へ前記解析手順と同じ解析処理を施すことにより、そのモデル波形に含まれる特定成分を算出するテスト解析手順（Ｓ１６）と、前記テスト解析手順が算出した特定成分と前記モデル波形に実際に含まれる特定成分との差異を、前記テスト解析手順の特定成分に関する解析誤差として算出する誤差算出手順（Ｓ１７）と、前記誤差算出手順で算出した解析誤差に基づき前記本解析手順で算出した特定成分を補正する補正手順（Ｓ２１）とを含む。 （もっと読む）

【課題】
高精度に干渉計測装置固有の誤差を計測することができる干渉計測装置を提供する。
【解決手段】
被検査レンズの波面を計測する干渉計測装置において、前記集光レンズの焦点位置に曲率中心が一致するように配置された前記凹球面ミラーを、光軸に関して０°回転した位置で前記被検査レンズの第１の波面を計測し、前記集光レンズの焦点位置に曲率中心が一致するように配置された前記凹球面ミラーを、前記光軸に関して１８０°回転した位置で前記被検査レンズの第２の波面を計測し、前記集光レンズの焦点位置からデフォーカスさせた位置に配置された反射基板により前記被検査レンズの第３の波面を計測し、前記入射光学系、前記干渉計測装置のシステムエラーを検出するように制御する制御手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検体の表面および裏面の各形状を、互いの相対的な位置関係を正確に把握しつつ高精度に測定する。
【解決手段】回転軸Ｒ_２回りに回転せしめられる被検レンズ９に対し、顕微干渉計１の相対姿勢を変えながら行う形状測定を、被検レンズ９が裏面側から支持された状態で行う表面部の測定と、被検レンズ９が表面側から支持された状態で行う裏面部の測定とに分けて行う。表面部の測定により求められたコバ部側面９７の第１の形状情報と、裏面部の測定により求められたコバ部側面９７の第２の形状情報とを互いに照合することにより、被検体表面と被検体裏面との相対位置関係を求める。 （もっと読む）