【課題】入力信号が時間的に非対称の場合でも計数結果を精度良く補正する。
【解決手段】カウンタ１３は２値化信号のランレングスを数える。計数結果補正部１４は、ランレングスの度数分布を、信号の立ち上がりから立ち下がりまでの第１のランレングスと立ち下がりから立ち上がりまでの第２のランレングスについて作成し、第１のランレングスの代表値Ｔ_Hの０倍以上１倍未満の長さである第１のランレングスの数の総和、第２のランレングスの代表値Ｔ_Lの０倍以上１倍未満の長さである第２のランレングスの数の総和、｛Ｔ_H＋（ｎ−０．５）×（Ｔ_H＋Ｔ_L）｝以上｛Ｔ_H＋（ｎ＋０．５）×（Ｔ_H＋Ｔ_L）｝未満の長さである第１のランレングスの数の総和、｛Ｔ_L＋（ｎ−０．５）×（Ｔ_H＋Ｔ_L）｝以上｛Ｔ_L＋（ｎ＋０．５）×（Ｔ_H＋Ｔ_L）｝未満の長さである第２のランレングスの数の総和を求め計数結果を補正する。 （もっと読む）

【課題】被測定物までの絶対距離を良好に算出できる絶対距離測定方法を提供する。
【解決手段】絶対距離測定方法は、被測定物が静止した状態で、共振器長を変化させて、レーザ光の波長を変更する波長変更工程Ｓ１Ａ，Ｓ１Ｄ，Ｓ１Ｇと、レーザ光の発振周波数が複数の飽和吸収線の各周波数にそれぞれ合致した各時点での各干渉信号の位相を検出する位相検出工程Ｓ１Ｂ，Ｓ１Ｅ，Ｓ１Ｈと、複数の飽和吸収線の各周波数と各干渉信号の位相とに基づいて、被測定物までの第１の絶対距離を算出する第１絶対距離算出工程Ｓ１Ｊとを備える。 （もっと読む）

【課題】白色干渉法を用いて、μメートルオーダの高精度で測定対象物の位置を決定し、さらに測定対象物の振動周波数をｋＨｚオーダの高速で検出でき、かつナノメートルオーダの振動変位量を測定できる振動測定装置及び振動測定方法を提供する。
【解決手段】白色光を参照光と測定光に分割する光カプラと、参照光の進行方向を変える光学素子、参照光の進行方向を反転する反射素子、光学素子を往復移動させる直動ステージ及び光学素子の位置を取得するスケールヘッドからなる参照光路長スキャナ部と、測定光を発散又は収束させる集光レンズと集光レンズを移動させるレンズ移動機構からなるセンサ部と、反射して返った参照光と測定光を合成して干渉信号を出力する光検出器と、所定時間取得した干渉信号の強度を高速フーリエ変換処理で解析して、測定対象物の振動周波数及び振動変位量を求める処理装置とからなる振動測定装置の構成とした。 （もっと読む）

【課題】入力信号が有効か否かの判定を簡単に実現する。
【解決手段】信号判定装置１０は、入力信号を２値化する２値化部１００と、２値化部１００の出力を入力とし、判定期間中の入力信号のランレングスを測定するランレングス測定部１０１と、ランレングス測定部１０１の測定結果から、判定期間中の入力信号に含まれるノイズの度数分布を幾何分布と仮定した分布を求め、求めた分布とランレングス測定部１０１の測定結果から得られるランレングスの分布とを比較することにより、入力信号が有効か否かを判定する判定手段（確率算出部１０３、ノイズ度数算出部１０４、有効性判定部１０５）とを備える。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線が照射される位置の安定性を容易に評価することができる変位検出回路を提供する。
【解決手段】ヘテロダイン干渉計と、該ヘテロダイン干渉計の基準信号と測定信号のそれぞれの光ビート回数をカウントするデジタルカウンタと、前記基準信号と前記測定信号との差分をとる減算器と、前記基準信号の波形の位相をシフトさせる位相シフト回路と、該位相シフト回路で位相シフトされた位相シフト信号の波形から特定の１つの信号波形を選択するスイッチ回路と、前記基準信号と前記測定信号との位相差を検出するゲートと、該ゲートの出力からヘテロダイン周波数の信号を取り除くローパスフィルタと、を構成とする。 （もっと読む）

【課題】ファブリペロー干渉計を利用して位置を取得する装置及び方法の提供。
【解決手段】位置を取得する装置は、共焦点ファブリペロー干渉計２００を有する。 （もっと読む）

【課題】物体の振動振幅を精度良く求める。
【解決手段】振動振幅計測装置は、物体１２にレーザ光を放射する半導体レーザ１と、発振波長が増加する期間と発振波長が減少する期間とが交互に存在するように半導体レーザ１を動作させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１から放射されたレーザ光と物体１２からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出するフォトダイオード２および電流−電圧変換増幅部５と、電流−電圧変換増幅部５の出力信号に含まれる干渉波形を数える計数部７と、計数結果に基づいて物体１２の振動の最大速度を算出する振動最大速度算出部８と、計数結果に基づいて物体１２の振動周波数を算出する振動周波数算出部９と、振動最大速度と振動周波数とから物体１２の振動振幅を算出する振動振幅算出部１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】ある期間に観測される干渉波形の数を基に物理量を算出するバッチ処理方式と個々の干渉波形の周期を基に物理量を算出する逐次処理方式とを適宜切り替え可能にする。
【解決手段】物理量センサは、物理量の算出をバッチ処理方式で行う第１の演算部９と、物理量の算出を逐次処理方式で行う第２の演算部１０と、信号抽出部８が計測した個々の干渉波形の周期から干渉波形の単位時間当たりの数を算出し、この数の変化の周波数をｆｓｉｇ、半導体レーザ１の発振波長変調の搬送波の周波数をｆｃａｒとしたとき、ｆｓｉｇ＞ｆｃａｒ／Ａ（Ａは１より大きい所定の定数）が成立する場合、第２の演算部１０の算出結果を採用すべきと判定し、ｆｓｉｇ＞ｆｃａｒ／Ａが成立しない場合、第１の演算部９の算出結果を採用すべきと判定する切替部１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】計数誤差を補正する。
【解決手段】振動周波数計測装置は、半導体レーザ１を発振させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１の出力を電気信号に変換するフォトダイオード２の出力に含まれる干渉波形を数える計数装置７と、計数装置７の計数結果から物体１０の物理量を求める演算装置８とを有する。計数装置７は、一定の計数期間における干渉波形の半周期の数を数え、干渉波形の半周期を測定し、この測定結果から計数期間中の干渉波形の半周期の度数分布を作成し、この度数分布から干渉波形の半周期の分布の代表値を算出し、代表値の０．５倍未満である半周期の数の総和Ｎｓと、代表値の２ｎ倍以上（２ｎ＋２）倍未満である半周期の数の総和Ｎｗ_nとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗ_nに基づいて計数結果を補正する。 （もっと読む）

【課題】計数誤差を補正する。
【解決手段】張力・速度計測装置は、半導体レーザ１を発振させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１の出力を電気信号に変換するフォトダイオード２の出力に含まれる干渉波形を数える計数装置７とを有する。計数装置７は、計数期間中の干渉波形の周期を測定し、この測定結果から計数期間中の干渉波形の周期の度数分布を作成し、この度数分布から、階級値と度数との積が最大となる階級値を干渉波形の周期の代表値Ｔ０とし、代表値Ｔ０の０．５倍未満である階級の度数の総和Ｎｓと、代表値Ｔ０の（ｎ＋０．５）倍以上（ｎ＋１．５）倍未満である階級の度数の総和Ｎｗ_nとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗ_nに基づいて計数結果を補正する （もっと読む）

【課題】 干渉計と波長補償器の出力をデジタル信号に変換するときの量子化誤差に起因する計測誤差を低減した位置計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 移動体の位置を計測する干渉計と、前記干渉計の計測光の光路における気体の状態に起因する前記計測光の波長変動を補償する波長補償器と、前記干渉計と前記波長補償器の出力に応じた位置計測値を出力する制御器と、を備える位置計測装置であって、前記制御器は前記干渉計および前記波長補償器の出力をデジタル信号に変換するアナログ／デジタル変換器を含み、前記波長補償器の出力をデジタル信号に変換するときの分解能が、前記干渉計の出力をデジタル信号に変換するときの分解能よりも高い。 （もっと読む）

【課題】回転体の回転に伴って生じる都合５軸方向の運動誤差を高精度で測定することのできる５自由度誤差測定装置を提供する。
【解決手段】回転体２の外周面に回転体２の回転軸の方向に一定の間隔を置いて設けられた複数の周溝から形成された回折格子面３を設け、回転体２の径方向に相当するセンサ座標系第１軸と回転体２の軸方向に相当するセンサ座標系第２軸に沿った回折格子面の相対移動変位を検出する２軸干渉センサユニットＳ１，Ｓ２，Ｓ３を回転体２の外周面から径方向外側に間隙をおき、かつ、相互に重合しないようにして回転体２の周方向の相異なる少なくとも３つの位置に固定配備し、３つの２軸干渉センサユニットＳ１，Ｓ２，Ｓ３のセンサ座標系第１軸の干渉信号とセンサ座標系第２軸の干渉信号に基いて都合５軸方向の運動誤差Δｘ，Δｙ，Δｚ，Δｕ，Δｖを同時に求める。 （もっと読む）

【課題】被測定物が移動をする場合であっても適切に被測定物の変位を測定することができるレーザ干渉計の提供。
【解決手段】レーザ干渉計１は、所定の周波数を有する変調信号にてレーザ光を変調することでレーザ光の中心波長を安定化して射出するレーザ光源２と、参照鏡４と、測定鏡５と、参照鏡４、及び測定鏡５にて反射される光の干渉光に基づいて、測定鏡５の変位を検出する変位検出装置６とを備える。変位検出装置６は、干渉光における干渉縞の波数を取得する干渉縞取得手段６１と、レーザ光の波長を取得する波長取得手段６２と、干渉縞の波数と、干渉縞の波数を取得したときのレーザ光の波長とに基づいて、測定鏡５の変位を算出する変位算出手段６５とを備える。 （もっと読む）

【課題】物体の変位や速度を高い分解能で計測し、計測に要する時間を短縮する。
【解決手段】物理量センサは、物体１０にレーザ光を放射する半導体レーザ１と、発振波長が増加する第１の発振期間と発振波長が減少する第２の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するように半導体レーザ１を動作させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１から放射されたレーザ光と物体１０からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出するフォトダイオード２および電流−電圧変換増幅部５と、電流−電圧変換増幅部５の出力信号に含まれる干渉波形の周期を干渉波形が入力される度に計測する信号抽出部７と、信号抽出部７が計測した個々の周期に基づいて物体１０の変位と速度のうち少なくとも一方を算出する演算部８とを備える。 （もっと読む）

【課題】物体の変位や速度を高い分解能で計測し、計測に要する時間を短縮する。
【解決手段】物理量センサは、半導体レーザ１と、発振波長が増加する第１の発振期間と発振波長が減少する第２の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するようにレーザ１を動作させるレーザドライバ４と、レーザ１から放射されたレーザ光と物体１０からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出するフォトダイオード２および電流−電圧変換増幅部５と、電流−電圧変換増幅部５の出力に含まれる干渉波形の周期を計測する信号抽出部７と、信号抽出部７が計測した個々の周期の基準周期に対する変化量に基づいて物体１０の変位と速度のうち少なくとも一方を算出すると共に、周期の変化特性に応じて基準周期を補正する演算部８とを備える。 （もっと読む）

【課題】物理量の誤算出の可能性を低減する。
【解決手段】物理量センサは、物体１０にレーザ光を放射する半導体レーザ１と、発振波長が増加する第１の発振期間と発振波長が減少する第２の発振期間とが交互に存在するように半導体レーザ１を動作させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１から放射されたレーザ光と物体１０からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出するフォトダイオード２および電流−電圧変換増幅部５と、電流−電圧変換増幅部５の出力信号に含まれる干渉波形の数を数える信号抽出部７と、干渉波形の数から物体１０との距離及び物体１０の速度を算出する演算部８と、半導体レーザ１の発振波長変調の搬送波の振幅または周波数を調整することが可能な調整部１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】環境温度が変化した場合でも、物体の遠近を精度良く判定する。
【解決手段】反射型光電スイッチは、半導体レーザ１と、レーザ１から放射されたレーザ光と戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出するフォトダイオード２および電流−電圧変換増幅部５と、干渉波形から物体１２までの距離が距離しきい値より遠いか近いかを判定する周期分別部７および判定部８と、干渉波形の周期の度数分布を作成し、反射壁面１１との距離に対応する干渉波形の周期の規定値をＴｂとしたとき、度数分布から規定値Ｔｂ以下の所定の範囲にある周期の度数の総和Ｎａと規定値Ｔｂ以上の所定の範囲にある周期の度数の総和Ｎｂを求め、ＮａとＮｂが等しくなるようにレーザ１の発振波長変調の搬送波の振幅または周波数を調整する調整部１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】製造コストを抑制し且つ変調による影響を解消したレーザ干渉測長装置及びレーザ干渉測長方法を提供する。
【解決手段】レーザ干渉測長装置は、レーザ光に基づき測長を行う。レーザ干渉測長装置は、変調周波数ｆｍの変調信号Ｓｇ４にて変調されたレーザ光Ｌ１を生成するレーザ光生成部１０と、レーザ光生成部１０からのレーザ光Ｌ１を移動鏡３０に照射して測長情報を含んだレーザ光Ｌ４を得ると共にレーザ光Ｌ４を受光部２０ｂで受光して測長情報を含んだ第１、第２電気信号φＡ、φＢを生成する干渉計測部２０と、変調周波数ｆｍの変調信号Ｓｇ２に基づいて生成されたサンプリング周波数ｆｓのタイミング信号Ｓｇ８に同期するように第１、第２電気信号φＡ，φＢをサンプリングするサンプリング部４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】自己結合型のレーザ計測器を利用して、簡単かつ安価な構成で精度の良い反射型光電スイッチを実現する。
【解決手段】反射型光電スイッチは、半導体レーザ１と、半導体レーザ１から放射されたレーザ光と物体１０からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手段（フォトダイオード２、電流−電圧変換増幅部５）と、物体１０が基準距離の位置にあるときの干渉波形の周期を基準周期としたときに、干渉波形の周期の度数を基準周期に基づく値で分別する周期分別部７と、周期分別部７の測定結果から物体１０が基準距離よりも近距離にあるか遠距離にあるかを判定する判定部８とを有する。 （もっと読む）

【課題】自己結合型のレーザ計測器を利用して、簡単かつ安価な構成で精度の良い反射型光電スイッチを実現する。
【解決手段】反射型光電スイッチは、半導体レーザ１と、半導体レーザ１から放射されたレーザ光と物体１０からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手段（フォトダイオード２、電流−電圧変換増幅部５）と、干渉波形の情報から、物体１０までの距離が基準距離より遠いか近いかを判定する距離判定処理手段（フィルタ部６、計数部７、判定部８）とを備える。 （もっと読む）