レーザ干渉計位置決めシステムは、第１の位相計と第２の位相計とを備える第１のボードを含む。第１の位相計はアナログ基準電気信号とクロック信号とに基づいてディジタル基準位相信号を出力する。ディジタル基準位相信号はシステム内のレーザヘッドに関する唯一のディジタル基準信号である。第２の位相計は測定電気信号とクロック信号とに基づいてディジタル測定位相信号を出力する。第１のボードはバックプレーン内に挿入される。バックプレーンは、ディジタル基準位相信号とディジタル測定位相信号とを第２のボードに運ぶバスを含む。第２のボードはディジタル基準位相信号を、多数の第１のボードから受信したディジタル測定位相信号から減算する。
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【課題】 分解能および測定精度を向上することができる変位測定方法およびそれを用いた変位測定装置を提供する。
【解決手段】 画像センサと結像光学系を用いた変位測定装置において、前記画像センサのセンサ部の温度及び／又は前記結合光学系のレンズを支持する部分の温度をもとに画像処理演算結果を補正するように構成した。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、発光素子の経年劣化に影響を与えることなく発光量を補正する人体検知装置を提供する。
【解決手段】 本発明では、被検出体からの反射光を受光レンズで集光させて受光する一次元位置検出素子と、前記一次元位置検出素子から検出される長手方向の両端より検出する電流比で被検出体までの距離を演算する距離演算手段とを備えた人体検知装置において、前記一次元位置検出素子の両端より検出する総電流量を測定する総電流量検出手段と、前記発光素子の周囲温度を検出する温度検出手段と前記発光素子の駆動電流量を可変する駆動電流設定手段とを有するとともに、前記駆動電流設定手段は、前記距離演算手段と前記総電流量検出手段と前記温度検出手段の出力を参照し、前記発光素子の駆動電流量を可変する。 （もっと読む）

光学部材を備えた可動ステージの構造を複雑にすることなく、その光学部材の温度を制御できるステージ装置である。レチクル（Ｒ）を保持するレチクルステージ本体（２２）をＹ軸リニアモータ（７６Ａ，７８Ａ，７６Ｂ，７８Ｂ）を用いてレチクルベース（１６）上でＹ方向に駆動する。レチクルステージ本体（２２）の端部の光学部材支持部（２４Ｂ２）上の光学系（３２）を介して、レチクルベース（１６）上に固定された固定鏡（ＭＸ）に計測用レーザビームを照射して、レチクルステージ本体（２２）のＸ方向の位置を計測する。光学系（３２）の温度を安定化するために、光学部材支持部（２４Ｂ２）の底面に空気層（３５）を介してロッド部材（２７）を固定し、ロッド部材（２７）内に温度制御された冷媒を供給する。
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例えばレーザに基づく座標測定装置、レーザトラッカ、又はその他の座標測定装置であり得る座標測定装置を補償する装置及び方法が提供される。一つの例示的な方法では、そのような補償は、埋め込まれたトラッカターゲットによるペイロードパラメータの自己補償を包含する。別の例示的な実施形態では、そのような補償は、埋め込まれた温度センサによるペイロード、アジマスポスト、軸、又はＲ0パラメータの自己補償を包含する。
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【課題】 透明な層間絶縁膜上の微細パターンおよび同一層の欠陥を感度良く検出する一方、下層のパターンおよび同一層の欠陥をデフォーカスした状態で検出し、本来検査したい工程の欠陥のみを検出可能とすること。
【解決手段】 本来同一形状となるべきパターンが複数規則的に配置された被検査物の検査装置において、解像度０．１８μｍ以下、より好ましくは０．１３μｍ以下となる照明波長と対物レンズ開口数の関係を備えた撮像光学系と、撮像光学系の結像位置に配置された光電変換器と 撮像光学系とは別に設けられた光路からなり入射角度８５度以上、より好ましくは８８度以上で照明する自動焦点光学系と、自動焦点光学系の検出信号に基づき撮像光学系の焦点位置を調節する手段と、光電変換器の電気信号を処理する手段とを、具備した構成をとる。 （もっと読む）