【課題】測定対象の特性を簡易に測定可能な測定システムを提供する。
【解決手段】蛍光を発する蛍光体２と、蛍光体２から発せられた後に測定対象である膜１００の特性に依存する変調を波長選択的に与えられた蛍光を受光する光学系１０と、変調を与えられた蛍光の減衰特性を測定する減衰特性測定部３０１と、減衰特性に基づいて、測定対象である膜１００の特性を特定する特定部３０２と、を備える測定システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】２次元データの３次元復元を好適に行う画像処理装置、画像処理方法、および、プログラムを提供する。
【解決手段】デジタルカメラ１は、通常の可視光画像を撮影するための可視光カメラ部２１に加え、遠赤外線画像を撮影するための遠赤外線カメラ部２４を備える。可視光画像を小領域に分解し、各領域の特徴量を推定する。また、遠赤外線画像に基づき、人物や動物がいる領域を特定する。これらの情報に基づき、各領域の３次元情報を求め、３次元情報を持つ画像データを生成する。 （もっと読む）

本発明は、土木構造物のための可撓性ストリップ（１）に関し、この可撓性ストリップは、縦軸に沿って縦方向に延びることができ、構造物が変形および／または温度に関して位置を特定し測定値を得ることを可能にする少なくとも１つの光ファイバ（２０）を備え、前記光ファイバ（２０）が、実質的に縦軸に沿って配置されるとともに、実質的に縦軸に沿って少なくとも部分的に強化された連続強化繊維（３０）の熱可塑性ポリマーマトリックスによって取り囲まれ、実質的に縦軸に沿って延びる連続強化繊維の質量ＷＣＦが、光ファイバの質量ＷＯＦの１０倍以上である。本発明はまた、計測デバイスおよび関連する方法に関する。
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【課題】検知位置精度が高く、自己の姿勢も検知可能な技術であって、簡易に実現可能な技術を提供することを目的とする。
【解決手段】移動フィールド２０を移動する移動体１０には、エリアセンサカメラ１２が搭載されている。この移動フィールド２０内の適当な位置に、少なくとも２つ以上の色彩変化発光体３０が固定装備されており、かつその位置関係は既知である。
色彩変化発光体３０は、各発光体毎に個別の色彩変化パターンで発光している。この色彩変化パターンで、各色彩変化発光体３０ａ、３０ｂ、が識別される。エリアセンサカメラ１２が２以上の色彩変化発光体３０をキャプチャすることによって、それらの画像中の位置を知ることができる。それらの位置関係から、移動体の位置・向きを算出することができる。色彩変化パターンで各色彩変化発光体３０ａ、３０ｂを識別するので、形状に歪みが生じたり等しても、その識別を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ダンパーの開口率を安価な設備で測定する空調装置。
【解決手段】吹き出しグリル１１の風上側にダンパー１２を備えた吹き出し口装置１と、吹き出しグリル１１の風上側に設けられた反射鏡１５と、ダンパー１２の風上側に配置された光学測定ユニット２と、光学測定ユニット２に設けられ、ダンパーの開口１２ｅ１の最大開口幅の１／２以上の幅を有する平行光線４を、反射鏡１５に垂直に投射する投光器２７と、光学測定ユニット２に設けられ、平行光線４が開口１２ｅ１を通過して反射鏡１５により反射された反射光４ａの強度を測定する光検知器２５と、平行光線４が吹き出し口装置１の開口１２１ｅ１を通過する位置に光学測定ユニット２を移動する移動手段５とを有し、反射光４ａの強度に基づきダンパー１２の開口率を算出する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造であっても、レーザ変位計の温度変化による測定値の変動を精度良く校正することが可能な露光装置、該露光装置の校正方法及び校正用部材を提供する。
【解決手段】マスクパターンを形成してあるマスク４を保持するマスク保持部と、露光対象となる基板を保持する基板保持部とを有し、光源９から照射された光により、マスクパターンを基板表面に露光する。マスク４の下面と基板の上面との間の距離を測定する一又は複数のレーザ変位計を備えており、レーザ変位計の温度校正の基準となる基準板を含む校正用部材２０を備えた校正器具３０を、光源９の照射領域とは離隔して設置する。 （もっと読む）

【目的】いわゆる金属を使用しない腐食に強い起歪体を形成し、もって外装材により起歪体を保護する必要がなく、コンクリートに起歪体を直接接触させられ、かつコンクリートのひずみを起歪体周囲の付着力により直接起歪体に伝達できるため、計測値につきばらつきのない高品質で破損や故障の少ない長期間の計測が可能なひずみ検出装置を提供し、さらに、長大構造物に対しても劣化の可能性が少なく、かつ精度よくコンクリート構造物の内部温度が計測できる内部温度検出装置をすることを目的とする
【構成】ＦＢＧセンサが設けられた光ファイバを、光ファイバと略同等の線膨張係数、弾性係数を有するガラス繊維部材で被覆して起歪体を形成し、起歪体をあらかじめ内部設置した状態で、コンクリートを打設して構造物を構築し、コンクリート構造物の構築後生ずる歪みを検出可能とした、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】赤外光を用いた場合であっても、測定用マークの位置を高精度に測定することができる技術を提供する。
【解決手段】赤外光を測定マークに照射し、測定用マークの像を撮像素子の撮像面に形成する光学系を用いて、測定用マークの位置を測定する測定方法であって、前記光学系によって赤外光を前記測定用マークに予め定められた時間照射した後、赤外光の照射を遮断した状態において、前記光学系の光学素子から放射される赤外光による画像を撮像する第１の撮像ステップと、赤外光を照射した状態において、前記光学系の光学素子及び前記測定用マークで反射された赤外光にる画像を撮像する第２の撮像ステップと、前記第２の撮像ステップで撮像した第２の画像から前記第１の撮像ステップで撮像した第１の画像を差し引いた第３の画像を生成する生成ステップと、第３の画像に基づいて、前記測定用マークの位置を算出する算出ステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】コンピュータ上で深さ方向の温度分布を対象物体を回転しながら確認することができる温度画像の三次元化装置を提供する。
【解決手段】既知の座標を有する複数の豆電球２２を基準点とする基準物２１と、対象物１及び基準物２１からの発熱に基づいて対象物１の三次元情報を取得する三次元情報取得手段２７と、実座標と温度画像座標とのキャリブレーションを行なう座標キャリブレーション手段３１と、実座標から温度画像情報の温度画像座標への変換式を決定する変換式決定手段３２と、決定された変換式に基づいて対象物１の三次元情報に係る全ての実座標を温度画像座標に変換する座標変換手段３３と、変換された三次元情報の温度画像座標に基づいて三次元情報の温度情報を抽出する温度情報抽出手段３４と、温度画像情報中の特定の温度画像座標と三次元情報中の特定の実座標とを対応付ける座標対応付手段３５と、を備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】回転体である被測定物の熱変位により変位した位置を簡易な構成で且つ正確に検出し得る被測定物位置検出装置及びその被測定物位置検出装置を備える切削機械を提供する。
【解決手段】位置検出手段１８がチャック１２に連結したフランジ６６に対向し、チャック１２の熱変位により変位した位置を検出する。即ち、簡易な構成で且つ正確にチャック１２の上記位置を検出し得る。また、位置検出装置１８がチャックの熱変位に対応する位置を正確に検出するので、バイト２５又は２６を精度良く切削位置へ移動し得る。更に、チャック１２の位置データなどを、回転するチャック１２とは別部材である位置検出装置１８を介して出力させることができるので、例えばブラシホルダーなどを不要にできる。 （もっと読む）

【課題】人の位置が定まらない環境下において、比較的安価に人の温度を非接触で測定することができる。
【解決手段】人体温度測定装置１は、撮影部１１、画像解析部２１、赤外線量測定部３１、可動部４１、方向制御手段５１、距離測定部６１、および、温度補正手段７１を有する。画像解析部２１は、撮影部１１により撮影された画像を解析し、その画像に写った人の顔を認識する。赤外線量測定部３１は、所定の測定範囲からの赤外線量を測定する。可動部４１および方向制御手段５１は、赤外線量測定部３１および距離測定部６１が人の顔を向くように、その方向を変化させる。距離測定部６１は、赤外線量測定部３１と人の顔との距離を測定する。温度補正手段７１は、赤外線量測定部３１が人の顔に向かって測定した赤外線量を距離測定部６１が測定した距離に基づいて補正して、人の顔の温度を取得する。 （もっと読む）

【課題】後方ブリルアン散乱光の受光帯域幅の低帯域化を実現し、ブリルアン散乱光測定を非常に廉価で簡易に行えるようにする。
【解決手段】基準光ファイバ線路９からの試験光の後方ブリルアン散乱光と被測定光ファイバ線路３からのパルス変調された試験光の後方ブリルアン散乱光を合波してビート信号を検波・処理することにより、各線路３，９からの散乱光の周波数差を測定し、被測定光ファイバ線路３からの散乱光を測定するのに必要な周波数帯域を、光源の周波数と散乱光の周波数差であるブリルアン周波数シフトの大きさから、測定被測定光ファイバ線路３内における散乱光の周波数スペクトル分布を測定する場合に、基準光ファイバ線路９に任意の歪みを加えてブリルアン周波数シフトの基準値を設定し、当該基準値に基づいて被測定光ファイバ線路３の散乱光の周波数スペクトルを測定する。 （もっと読む）

【課題】多様なパターンで温度及び形状が変化する被測定物の三次元の熱変形特性を正確に測定できること。
【解決手段】同期信号Ｓtrgを時系列で発生させ，その同期信号Ｓtrgに同期して，サーモカメラ２０及び複数の可視カメラ２１から撮像時点が同じ前記熱画像及び複数の前記可視画像のデータの組合せをサンプリングし，撮像時点ごとの可視画像のデータに基づくステレオ画像処理を通じて，撮像時点ごとの三次元形状のデータを算出し，撮像時点が異なる複数の可視画像のデータに基づくデジタル画像相関法でのパターン追跡処理を通じて，前記撮像時点ごとの観測部位の像の前記可視画像上での変位量を算出し，それら算出結果に基づいて，観測部位の撮像時点ごとの三次元座標系での位置及び温度のデータが対応付けられたデータを記録する。 （もっと読む）

【課題】露光光の強度が大きいか又は露光時間が長い場合にも高い重ね合わせ精度を得る。
【解決手段】露光用の照明光ＩＬでレチクルＲのパターンを照明し、照明光ＩＬでそのパターン及び投影光学系ＰＬを介してウエハＷを露光する露光方法において、空間像計測系３４でレチクルＲのパターンの像の位置を計測し、そのパターンの像の位置の変動量をレチクルステージＲＳＴの温度情報から予測し、この予測結果に基づいてそのパターンの像とウエハＷとの位置合わせ情報を補正する。 （もっと読む）

【課題】露光装置のチャンバーの内部と外部との間に温度差が存在する場合においても、より正確に投影光学系の投影倍率を補正する。
【解決手段】露光装置は、チャンバーの内部で原版のパターンを投影光学系によって基板に投影し該基板を露光する。露光装置は、前記原版の変形量を求めるための計測を行う計測部と、前記チャンバーの内部の温度における前記原版の形状を基準とする前記原版の変形量と前記原版が露光光を受ける時間との関係を示す情報と、前記チャンバーに搬入され露光に使用される前の状態において前記計測部が計測を行うことによって得られた計測値に基づいて決定される前記原版の露光前の変形量と、前記原版が露光光を受ける時間とに基づいて、前記原版の予測変形量を演算し、前記予測変形量を補正するように前記投影光学系の投影倍率を補正する制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板と接着剤の屈折率差の大小に依存することなく、接着剤の膜厚を算出することを可能とする。
【解決手段】膜厚測定装置１は、基台１１上に設けられるとともに被検物４を載置させるための加熱器１２と、被検物４の加熱温度を制御するための加熱制御部１４と、被検物４の上方に配置されていて加熱された被検物４の膨張による高さ方向の変化量を測定するためのレーザー変位計１３と、被検物４の接着剤３の線膨張係数を入力するための入力部１５と、レーザー変位計１３により測定した被検物４の高さ方向の変化量、加熱温度、入力部１５で入力した接着剤３の線膨張係数に基づいて接着剤３の膜厚を算出する演算部１６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ステージ装置の位置制御をより精密に行うことが可能な露光装置及び露光方法を提供すること。
【解決手段】マスクを用いて基板に露光処理を行う露光装置であって、前記マスクを移動可能に保持するステージ装置と、前記ステージ装置に光を照射し、前記光の反射光を用いて前記ステージ装置の位置に関する情報を検出する光干渉装置と、前記光の光路周辺の空間の光屈折率を検出し、検出結果を用いて前記情報の補正を行う補正装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】曲率半径測定方法および装置において、被測定物の温度が曲率半径測定の測定基準温度と異なる場合でも迅速に曲率半径を測定することができるようにする。
【解決手段】被検レンズ２のレンズ面２ａの球心位置および面頂位置の間の距離を測定することにより、レンズ面２ａの曲率半径を測定する曲率半径測定方法であって、少なくともレンズ面２ａの球心位置の測定時における被検レンズ２の温度を測定する温度測定工程と、この温度測定工程で測定された被検レンズ２の温度、および被検レンズ２の線膨張係数を用いて、レンズ面２ａの球心位置と面頂位置の間の距離を曲率半径測定の測定基準温度での距離に換算して、レンズ面２ａの曲率半径を算出する曲率半径算出工程とを備える方法を用いる。このため、曲率半径測定装置５０は、被検レンズ２の温度を測定するサーモグラフィ６を備える。 （もっと読む）

【課題】大型部品の光沢且つ曲面に対する寸法計測が可能な非接触寸法計測方法および装置を提供することにある。
【解決手段】大気中に配置された計測対象物１に対して、計測対象物の計測部位を冷却する冷却装置５と、計測対象物１の形状を計測する２次元レーザ変位センサ２を備える。ＭＰＵ８は、冷却装置５により冷却された計測部位の表面温度を放射温度計６により計測し、計測部位の温度が、計測環境の露点温度以下且つ近傍となると、計測結果処理装置９に対する計測トリガを与え、計測結果処理装置９は、非接触センサ２による計測結果を処理する。 （もっと読む）

【課題】配管に温度変化がある場合にも、適切に歪を検知することができる歪検知用システム及びこれを用いた歪検知方法を提供する。
【解決手段】配管Ｍに、当該配管の温度及び歪による温度・歪値を計測するための歪検出用光ファイバケーブル１と、上記温度に相当する温度補正値を計測するための温度補償用光ファイバケーブル３とを固設し、かつ歪検出用光ファイバケーブル及びこの一端部にパルス光を入射させるとともに、他端部に連続光を入射させる光源並びにブリルアン散乱光を検出する検出器を有するＰＰＰ−ＢＯＴＤＡ原理に基づいた歪検出用センサと、温度補償用光ファイバケーブル及びこの一端部にパルス光を入射させるとともに、他端部に連続光を入射させる光源並びにブリルアン散乱光を検出する検出器を有するＰＰＰ−ＢＯＴＤＡ原理に基づいた温度補償用センサとを設けた。 （もっと読む）