【課題】移動体の位置情報の計測精度の低下を抑制できる位置計測装置を提供する。
【解決手段】エンコーダシステムを含む位置計測装置は、第１面及び第１面と反対側の第２面を有するグリッド板と、移動体に配置され、第１面と対向するエンコーダヘッドと、グリッド板の温度を調整する温度調整装置とを備えている。 （もっと読む）

【課題】回転軸の軸方向の変位（アキシャルモーション）の測定精度を向上させることができる回転軸の軸方向変位測定装置、スケール部および角度スケール部を提供すること。
【解決手段】アキシャルスケール吸収部５２は、主軸２の外周面の円周方向に連続して凹設された断面Ｖ字形状の溝であり、アキシャルスケール反射部５３は、主軸２の外周面の円周方向に連続して延設される円筒面である。そのアキシャルスケール吸収部５２とアキシャルスケール反射部５３とは交互に配設されている。よって、主軸２が軸心Ｔを中心として回転している状態において、アキシャルスケール吸収部５２でレーザー光線Ｌ１が吸収または拡散されて、アキシャルスケール反射部５３でレーザー光線Ｌ１が反射回折される。その反射回折されたレーザー光線Ｌ１を照射部３１で測定することで主軸２の軸心Ｔ方向の変位を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】レンズを光路から退避させる必要がなく、ダハミラーのダハ角および交点高さを求めるタクトタイムを短くすることのできるダハミラー測定装置を提供する。
【解決手段】ダハミラーのダハ面に向けて測定光束を射出するレーザポインタ３４を備え、そのダハ面で反射されるレーザ光を受光することにより、そのダハ角度及び交点高さを測定するダハミラー測定装置であって、前記ダハ面で反射したレーザ光を２つに分割するビームスプリッタ４０と、このビームスプリッタ４０で分割された一方の分割測定光束を集光させる集光レンズ５０と、この集光レンズ５０で集光された分割測定光束を受光するＣＣＤカメラ６０と、 他方の分割レーザ光を受光するＣＣＤカメラ７０とを設け、ＣＣＤカメラ６０の受光面の受光位置と、ＣＣＤカメラ７０の受光面の受光位置とに基づいてダハミラーのダハ角度と交点高さを求める。 （もっと読む）

【課題】被検物の温度管理を行って高精度の形状測定が行える計測装置を提供すること。
【解決手段】被検物Ｍの形状を測定する計測装置であって、前記被検物の形状情報を採取する検出手段（形状センサ２０）と、前記検出手段が形状情報を採取する前記被検物の温度を計測する温度計測部（赤外線カメラ３０、温度測定回路４３）と、前記温度計測部からの情報に基づき前記検出手段から検出された情報を基に出力する内容を変える制御手段（ＣＰＵ４０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
経時変化や温度、湿度などの環境変化に対する物品の形状変化を試験片に荷重を加えることなく測定することで、試験片の環境による変形のみを正確に測定することのできる形状変化の測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】
温度及び／又は湿度の変化する環境下にある物品の形状変化をデジタル画像撮影により検出すると共に、センサーにより環境条件も検出し、該環境条件および該形状変化を電気信号に変換し環境条件に対する形状変化を計測する形状変化測定方法及びそれに用いる形状変化測定装置。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の雰囲気温度を反映させて高精度に形状測定ができるようにする。
【解決手段】光の強度が周期的に変化する縞状の光パターンを検査対象物１００の表面上に照射する光パターン照射装置２と、光パターンが照射された検査対象物１００の画像を撮影する撮影カメラ３と、検査対象物１００と光パターンとの相対位置関係を変化させる変位装置４と、検査対象物１００の雰囲気温度を制御可能な温度制御装置５と、撮影カメラ３及び温度制御装置５からの情報に基づいて検査対象物１００の各部位の高さ情報を算出する形状計測手段２１とを備え、形状計測手段２１は、温度制御装置５により検査対象物１００の雰囲気温度が予め決められた温度となった状態で、撮影カメラ３により検査対象物１００の画像を撮影させ、その少なくとも３つの画像上の光の強度分布に基づいて位相シフト法により検査対象物１００の各部位の高さ情報を算出する。 （もっと読む）

【課題】ズーム及びフォーカス機能を有するステレオカメラを用いた3次元計測装置において、ズーム及びフォーカスが変化した場合でも精度のよい3次元計測を行うこと。
【解決手段】ズーム及びフォーカスが可変な撮像手段を1つ以上含む複数の撮像手段と、ズーミング及びフォーカシングの制御手段と、複数の撮像手段が出力した撮像画像をステレオ画像処理し３次元情報を計測するステレオ画像処理手段と、ステレオ画像処理を行うために必要なカメラ情報を格納するカメラ情報格納手段と、を有する3次元計測装置によって構成される。 カメラ情報格納手段は各撮像手段のズームの状態及びフォーカスの状態に依存して変化するカメラ情報については、その状態に応じた複数のカメラ情報を持ち、ステレオ画像処理手段が各撮像手段のズームの状態及びフォーカスの状態を取得して、カメラ情報格納部から対応するカメラ情報を取得し、ステレオ画像処理に用いる。 （もっと読む）

【課題】人物による目視に頼ることなく、十分な精度で、タイヤの表面に設けられた凹凸状部の表す形状を測定する。さらに、取得した凹凸形状を表すデータに基づき、測定対象タイヤが予め設定された規定仕様のタイヤであるか否かを判定する。
【解決手段】測定対象の凹凸状部の温度と、この凹凸状部の周辺領域のタイヤ表面温度と、をそれぞれ異なる温度に設定し、この凹凸状部および周辺領域を少なくとも含むタイヤ測定領域を、赤外線カメラによって撮影して、凹凸状部の表す形状を表すデータとして、タイヤ測定領域の温度分布形状データを取得する。 （もっと読む）

【課題】空調装置で生じた空気振動の、位置計測用のレーザ干渉計のレーザ光軸での位相と、波長センサによる波長検出位置での位相とのずれに起因する補正誤差を低減する。
【解決手段】位置計測システムは、レーザ光の干渉を利用して測定対象の位置を計測するレーザ干渉計と、レーザ光の波長の変化を検出する波長検出器とを有する。そして、位相補正器は、空調装置の空気振動源から波長検出器までの空気振動が伝わる第１経路と、空気振動源からレーザ干渉計の光路までの空気振動が伝わる第２経路との長さの差に基づいて決定された、波長検出器と光路における空気振動の位相差に基づいて、波長検出器で検出される波長変化を補正する。位置計測器は、補正された波長変化に基づいてレーザ干渉計による計測値を補正する。ここで、位置計測システムは、上記第２経路の長さよりも、第１経路の長さの方が短く構成されている。 （もっと読む）

【課題】 アニール対象物のレーザビーム入射位置の溶融部分の深さを、非接触で計測する技術を提供する。
【解決手段】 アニール用レーザ光源が、ステージに保持されたアニール対象物にアニール用パルスレーザビームを入射させる。アニール対象物の表面のうち、アニール用パルスレーザビームが入射した領域に、測定用光源から測定用レーザビームが入射される。反射光検出器が、測定用レーザビームの反射光の強度を検出する。制御装置が、反射光検出器で検出された反射光の強度の時間変化に基づいて、アニール対象物が、アニール用パルスレーザビームの入射によって一時的に溶融した部分の溶融深さを算出する。 （もっと読む）

【課題】寸法測定装置において測定過程に発生するステージ温度上昇の影響を補正し、対象基板のマーク位置を高精度にかつ迅速に測定すること。
【解決手段】被測定基板の面内歪みまたはディストーションを解析するために基板に形成したマーク位置を測定する場合、基板上において温度補正を行うための代表点を予め設定し、代表点の位置情報と温度補正情報とを予め取得しておく。そして、基板のマーク位置を測定する際に発生する寸法測定装置のステージ温度上昇分を上記代表点の伸縮量から予測し、予測した温度上昇分を基に、基板のマーク位置の測定値の温度補正を行う。代表点は、温度変化に対して基板上の各マーク位置の伸縮特性を求め、その伸縮特性が特異な挙動を示す点から選択して決定する。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバーを減圧する際に生じる空気の断熱膨張による被測定物の温度低下を抑制し、測定タクトの向上を図る。
【解決手段】真空チャンバー１１３内で被測定物Ｗ₁ およびＴＳレンズ１０７を搭載しているステージ１０５、１０６に温調水を流動させる流路１１０、１１１を設ける。真空チャンバー１１３を真空ポンプ１１７によって減圧する工程で、流路１１０、１１１に温調水を供給し、ステージ１０５、１０６の温度を制御することで、被測定物Ｗ₁ およびＴＳレンズ１０７の温度低下を抑制する。これにより減圧状態での高精度な測定にもかかわらず高タクトで測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】干渉縞の濃淡に基づき対象物の形状を測定する光学干渉測定装置において、干渉縞の観測対象領域を自動的に設定する。
【解決手段】ベースプレートと、これの上に置いたブロックゲージの干渉縞画像を複数得る。複数の画像中、２個の画像において、同一位置の画素間の輝度値の差を得、他の２個の画像の組み合わせについても、同様に輝度値の差を得る。これらの差について画素ごとに総和を取り、その総和の値を輝度に対応させた画像を作る。ベースプレートとブロックゲージの境界部分８０は、干渉縞が生じないので総和が小さくなり、干渉縞が生じている部分８２は、画像間の輝度の差が大きいので総和は大きくなる。この画像に対し、適切な二値化処理を行い、ベースプレートとブロックゲージの境界部分８０を抽出する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハに付着した異物を検査する異物検査装置において、気圧および気温といった気象条件の変化によって感度変動が生じた場合、高感度を維持するために行う煩雑な焦点調整作業を不要とし、常に最高の感度を維持し、装置の稼働率の向上を実現する。
【解決手段】信号強度が最大となる最適なＺ座標を探索し、その時点の気圧（気圧基準値）と、気温（気温基準値）と、最適なＺ座標（Ｚ基準値）の３つを基準値とする。任意の時点での気圧と、気温を計測し、各々基準値との変動分をとって、予め求めておいた換算係数を掛けて、変動分をＺ座標に換算する。変動分のＺ座標換算値を、Ｚ基準値に足しこめば、変動を補正して最大感度を得ることができる。これにより、単に気圧と気温の変動を補正してＺ座標を安定化するという点にとどまらず、常に最大感度を得るようにＺ座標を補正し続ける。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は高精度なレーザ測長を可能にすると共にレーザヘッドのハウジングの保守点検時の分解、組み立てが容易なレーザ測長システムを実現するレーザヘッドの提供にある。
【解決手段】本発明のレーザ測長システムのレーザヘッドは、レーザ光を出射するレーザチューブを内部に有するハウジングを備え、ハウジングの内部にはレーザチューブから出射したレーザ光を分光して外部に導くファイバと、レーザチューブに電力を供給する電源ケーブルを夫々配設し、ハウジングを胴部部材と胴部部材に接合して一体の構造物に組み立てられる端部部材とからなる複数の部材に分割構成し、ハウジングを分割構成している複数の部材の接合面に気密材を介在させて相互に接合させて組み立て、レーザ光を外部に出射する照射部も気密材を介在させてハウジングを分割構成する部材の壁面に取り付け、照射部の開口部に透過材を気密材を介して取り付けて構成した。 （もっと読む）

流動食品用の個々の密封パッケージ（３）に接着するために開口装置（２）を準備するユニット（１，１’）が記載される。このユニット（１，１’）は、所定の移動路（Ｐ₃ ；Ｐ₄ ）に沿って開口装置（２）を送るコンベヤ手段（１０；８０）と、パッケージ（３）に取付けられる開口装置（２）の箇所（５）に接着剤層（４５）を塗布する付与手段（４１；８１）と、接着剤受止め箇所（５）に対する接着剤層（４５）の位置を開口装置（２）において認識するための、また、認識した接着剤層（４５）の形状に関連した信号を発生する監視手段（７０，７０’）とを含む。
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【課題】光の副走査方向の走査位置と主走査方向のリニアリティを高精度に測定することを可能とした光学特性測定装置を提供する。
【解決手段】複数の受光部（２１−１〜ｎ：ｎは、任意の整数）は、固定部材（２０）の主走査方向に配列されており、固定部材（２０）を、主走査方向（２８−１）、副走査方向（２８−２）、デフォーカス方向（２８−３）の何れかの方向に位置調整を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 対象物（１２）の基材（１６）上に塗布された絶縁塗膜（１４）の厚みと熱伝導率を決定するための装置（１０）を提供する。
【解決手段】 この装置には、表面が絶縁塗膜（１４）を含む対象物（１２）の表面に、複数の光学パルス（２４）を高速照射する光源（２０）が含まれる。このシステムには、対象物（１２）の中の光学パルスの伝播を示すデータ（２６）を集めるために設定された記録システム（２８）がさらに含まれる。この装置には、記録システム（２８）に結合され、記録システム（２８）からデータ（３６）を受け取るように設定され、絶縁塗膜（１４）の厚みと熱伝導率を決定するように設定された、プロセッサ（３４）がさらに含まれる。 （もっと読む）

【課題】 ＳＰＭにおいてアスペクト比の高い凹凸を有する試料の温度特性および表面形状を精度よく測定し、正確な温度特性や観察像を得ることができるプローブを提供する。
【解決手段】 本発明は、カンチレバー２２の先端に温度を測定するための温度測定用素子を形成した温度測定用プローブ１であって、温度測定用素子がカンチレバー２２に形成された第１の金属構造体２９および第２の金属構造体３０で構成され、第１の金属構造体２９の先端部と第２の金属構造体３０の先端部が重なる形で接続されることで形成されており、且つその接続部直上に先端部が先鋭化されるとともに基部が棒状に形成され、試料上を走査される探針２１が形成されていることとした。 （もっと読む）

【課題】プレス品の大小形状や形状の複雑さ等に関係なく、被加工素材に割れやくびれ等のプレス不良を成形加工中に検出する。
【解決手段】プレス型の成形部にて被加工素材を成形加工する際に生じるアコースティック・エミッションに基づいて放出される弾性波を検出して電気的信号に変換し、前記弾性波の大きさを電圧値の経時変化として表したＡＥ波形を得て、前記ＡＥ波形の積分値であるＡＥエネルギー値を算出するステップ１と、前記ＡＥエネルギー値と予め設定された基準値とを比較演算した結果に基づいて、ＡＥエネルギー異常の有無を判定するステップ２と、前記ステップ２において、ＡＥエネルギー異常有りと判定された場合に、被加工素材の端部の変位を検出して前記成形部への素材流入量を計測するステップ３と、前記素材流入量と予め設定された基準値とを比較演算した結果に基づいて、プレス不良の有無を判定するステップ４とを備える。 （もっと読む）