【課題】 簡素な構成で露光装置のスループットを向上可能な位置計測方法及び位置計測装置を提供する。高集積度のデバイスを効率及び歩留まりよく製造可能な露光方法及び露光装置、デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 複数のフォーカス位置で、各フォーカス位置毎にＲＡマークＲＭの中心線パターンＲＭｃの像を撮像して得られた複数のマーク信号に基づいて、ＲＡマークＲＭの位置を計測するのに最適なフォーカス状態を特定する。複数のマーク信号の中から、特定された最適なフォーカス状態下もしくはその近傍のフォーカス状態下に相当するマーク信号を抽出し、該抽出されたマーク信号に基づいてＲＡマークＲＭの位置計測を行う （もっと読む）

【課題】
WD を大きくしたときも照明光の NA 値を対物レンズの NA 値よりも大きくする必要がある。
輝度波形が突起部分の無い正常な波形が得ることによって、測定誤差が小さく、また再現性の良い測定が可能な測定または検査ができる装置を提供する。
【解決手段】
ステージと基板の間に拡散板を入れることによって擬似的に照明光の NA 値を大きくする。これによって 、WD を大きくしたときも照明光の NA 値を対物レンズの NA 値よりも大きくなるため、ステージ厚の大きい場合でも、NA 値の大きな線幅測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ユーザーが制御可能な形でビデオツールを利用することができる、ツール拡張のためのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】ビデオツールは、ビデオツールを適用した際に、ユーザーが求めるビデオツール「カスタマイズ」制御のレベルに対して、最小限のカーソル位置設定および「マウスクリック」で釣り合いを取る。複数回のマウスクリックによるツール構築方法は、ドラッグ・アンド・ドローやワンクリックツールの代替手段として提供される。マルチ・クリック・プラスツールにより詳細な情報が提供され、カスタマイズされたツールを素早く作成する的確な方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 反射率が異なる部分を有する対象物について時間をかけずに測定することを可能とする。
【解決手段】 結像レンズの一方を光軸方向へ動かすことによって結像倍率を合わせ、撮像装置の一方を回転させることによって撮像領域４１ｒと撮像領域４２ｒとの向きを合わせる。更に、撮像領域４１ｒと撮像領域４２ｒとの中心ずれｘ，ｙの分だけ撮像領域４１ｒ又は撮像領域４２ｒの先頭画素ｐｘ１をシフトさせて撮像領域４１ｒの中心と撮像領域４２ｒの中心とを合わせる。 （もっと読む）

【課題】位置検出素子の受光面の縦横の有効長以上の移動距離、領域における移動を検出できる二次元位置検出装置を提供する。
【解決手段】 固定部材に対して相対的に二次元方向に平行移動する移動部材と、前記固定部材および移動部材の一方に固定された光源および他方に固定された、前記光源から発せられた光を受光して受光位置を検出する二次元位置検出素子と、前記光源と二次元位置検出素子との間に配置された、前記光源から発せられた光を前記二次元位置検出素子の受光面に集光させる縮小投影光学系を備えた。 （もっと読む）

【課題】楔形ファイバの先端部形状測定において、正確に形状測定することが難しいという問題があった。
【解決手段】楔形ファイバの先端部を飼料台に載置するとともに、上記楔形ファイバの先端部をレンズにより結像させて寸法を測定する寸法測定法において、上記レンズを通して楔形ファイバの先端部を観察した際に、その先端部に映し出された楔形ファイバの光源反射像の幅とその幅に対応する既知の先端部の曲率半径との関係から、楔形ファイバの先端部の曲率半径を測定するとともに、結像点を先端部から光ファイバの外径に合わせたときの外径の光源反射像から先端部の中心までの距離を測定し、既知の光ファイバ外径から先端部中心までの距離と比較して、中心位置ずれ量を算出すること。 （もっと読む）

【課題】 効率良く、被検物の形状を検査できる形状検査装置を提供する。
【解決手段】 被検物１１を撮像する撮像部１４と、被検物１１の図面データ（例えば、グラフィック画像３５）を記憶する情報処理装置２１のハードディスクＨＤＤと、ハードディスクＨＤＤにより記憶された被検物１１の図面データを表示する画面表示装置２２と、撮像部１４により撮像された被検物１１の画像内に図面データの少なくとも一部が存在するか否かを判定する一致度判定部２１ｆと、一致度判定部２１ｆにより被検物１１の画像内に図面データの少なくとも一部が存在すると判定された場合、画面表示装置２２に被検物１１の画像と図面データの少なくとも一部とを重ね合わせて表示させる表示制御部２１ｇ）とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】 パラメータの設定を簡単にでき、ユーザの負担を大幅に軽減できる３次元計測方法および３次元計測方法をコンピュータに実行させるプログラムを提供する。
【解決手段】 観察系の倍率、測定対象物体の最大測定範囲、測定精度と測定速度の度合いのそれぞれについて設定されたパラメータに基づいて液晶格子６０４の格子ピッチが求められ、該格子ピッチで生成された液晶格子６０４のパターンを用いて標本３からの変形格子パターン像をＴＶカメラ１３で撮像するとともに、液晶格子６０４を数段階シフトさせながら各位置毎の撮像画像を取得し、該取得した各位置毎の撮像画像から位相を求めるとともに、該位相と予め用意された前記倍率、最大測定範囲、測定精度と測定速度の度合いに対応する基本位相との差分を用いて高さを求め、この結果を表示部１７４に表示する。 （もっと読む）

【課題】
検査装置から出力された欠陥座標の誤差を補正し、欠陥レビュー装置における欠陥探索用の視野サイズ及びファインアライメント用の欠陥を容易に選定することができる方法及び装置を提供する。
【解決手段】
校正用基板の欠陥の位置座標を絶対座標と呼び、検査装置によって検出した校正用基板の欠陥の位置座標を検査座標と呼ぶ。絶対座標に対する検査座標の偏差が検査座標に含まれる誤差である。検査座標より、「傾向を持つ誤差」を除去すると、検査座標には、「傾向を持たない誤差」が残る。傾向を持たない誤差に基づいて、欠陥レビュー装置における欠陥探索用の視野サイズを設定する。更に、検査装置によって検出した校正用基板の欠陥サイズの検出値の傾向に基づいて、ファインアライメント用の欠陥を選定する。 （もっと読む）

【課題】キャリブレーション用具の抜き差し等の作業を必要とせず、かつレンズの画像を遮ることがなくキャリブレーションを行うこと。
【解決手段】レンズ１０の外周縁に押し付けてレンズ１０を保持する各押え用ピン７、８、９を設け、これら押え用ピン７、８、９の各頂部に例えば十字ライン等の目盛を表示する各目盛表示部１７、１８、１９を設けた。 （もっと読む）

【課題】マークの種類に拘わらず、そのマークの形状に適した信号処理範囲を定義する。
【解決手段】少なくとも１本の線状パターンを有するマークの位置を検出するマーク位置検出装置において、前記マークの画像を取り込む取込手段１８，１９，２１と、取り込まれた前記画像に対して信号処理範囲を定義する定義枠を設定する設定手段２２，２４，２５と、前記定義枠で設定された部分を信号処理することにより、前記マークの位置を検出する検出手段とを有し、前記設定手段は、前記線状パターンに対する前記定義枠を、前記線状パターン上の２つの部分に分離して設定可能であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定対象とされる被検面を備えた被検体を、測定結果に悪影響を及ぼすことのない適正な荷重により、測定系に対して静止状態となるように保持し得るようにする。
【解決手段】被検面４１の軸線Ｃが重力方向に対して略直角となるように配置された被検体４０に、該被検体４０を上下から押圧するとともに被検面４１に曲げを生じさせるような荷重を作用せしめる。荷重を作用せしめた際の被検面４１の変形量を、荷重の大きさを変えて少なくとも２回計測し、その計測結果に基づき被検面４１の変形量と荷重の大きさとの間に成立する対応関係を求める。この対応関係から、被検面４１の変形量が例えば製造誤差の許容範囲内に収まるような大きさの適正荷重を求め、求められた適正荷重により被検体４０を保持する。 （もっと読む）

【課題】画像測定機において、被検物の輪郭形状を測定する場合の測定時間を短縮させる。
【解決手段】画像測定機にステージ５上に載置された被検物６を撮像して撮像した画像を出力する撮像部４と、ステージ５上に載置された被検物６を撮像部４が撮像する撮像位置に対して相対移動させる移動装置と、制御ユニット２とを設け、制御ユニット２に、移動装置を制御して、予め設定された被検物の測定点の位置を撮像部４に相対移動させ、かつ撮像部４に撮像位置における被検物６の画像を撮像させて出力させる撮像制御部と、撮像部４が出力する画像内の複数の測定点の座標値を求める画像処理部と、被検物６の測定点の位置を撮像位置に移動させる際の複数の候補位置を求めて、複数の候補位置のうち、測定点が最も多く含まれる候補位置を次に移動する位置に決定する位置決定部とを設ける。 （もっと読む）

【課題】前方散乱光と後方散乱光のどちらか一方を他方に比べてより効率よく選ぶこと。
【解決手段】被検査体に対面する対物レンズと、この対物レンズを通じて被検査体に照明光の光束を照射する光源と、光源と対物レンズとの光路に置かれ、かつ照明光の光軸を中心として光透過領域と光不透過領域を点対称に設けた照明側空間フィルタと、対物レンズで集められた被検査体からの反射集光を受光するイメージセンサーと、対物レンズと前記イメージセンサーとの光路に置かれ、かつ回折・散乱光を含む反射光から前方散乱光または後方散乱光を選ぶ受光側空間フィルタを備え、受光側空間フィルタは、反射光の光軸を中心として光透過領域と光不透過領域を点対称に設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 マークの線幅を正確に測定することができるエッジ位置検出装置を提供する。
【解決手段】 仮の中心位置３４を基準にして左右方向に相互関数処理を行ない、中心位置を求める。画像濃度プロファイル波形からエッジ信号を抽出し画素位置をボトムとして特定する。画像濃度プロファイル波形の基準位置３７を基準に、非対称な位置にあるボトムとして抽出されたボトム３３のエッジ信号を画像濃度プロファイル波形から除去する。外乱ノイズ成分が除去された後のエッジ信号に基づいてボトム３１，３２の位置を検出し、マークの線幅を測定する。 （もっと読む）

【課題】 照明方法、照明形状及び試料の投影像の空間フィルタを、外観検査中に動的に変更することが可能な外観検査装置及びその試料の投影像の投影方法を提供する。
【解決手段】 外観検査装置の照明光学系１２、１３及び撮像光学系２１、２２を、対物レンズ３の瞳位置８との共役点にミラーアレイデバイス１５、２５を配置した反射光学系として構成し、ミラーアレイデバイス１５、２５を試料２上の対物レンズ３の視野位置に応じて制御する。 （もっと読む）