【課題】複数の被写体から主被写体を自動的に選択し、距離や速度等の被写体情報を表示する。
【解決手段】撮影システムは、撮影範囲内に設けられた複数の測距エリア１〜１６のそれぞれにおいて被写体距離を算出する距離算出手段１１４と、複数の測距エリアのそれぞれにおいて被写体速度を算出する速度算出手段１１６と、被写体距離、該被写体距離間の差、被写体速度、及び該被写体速度間の差のうち少なくとも１つを表す被写体情報を生成する情報生成手段１１４，１１６と、複数の測距エリアのうち、速度算出手段により算出された被写体速度が第１の範囲ＳＡ内である測距エリアを抽出する抽出手段１１７と、カメラにより生成された撮影映像と抽出手段により抽出された測距エリアに対応する被写体情報とを含む出力映像を生成する出力映像生成手段２０３とを有する。 （もっと読む）

【課題】 伸縮性を有する基板の伸縮状態を高精度に測定する。
【解決手段】 伸縮測定装置は、可撓性を有する基板を該基板の表面に沿って移送する移送部と、基板の移送方向に沿って所定間隔を隔てて基板に形成され基板の移送にともない該基板の移送経路上の第１及び第２検出領域内にそれぞれ移動された第１及び第２マークを検出する検出部と、第１及び第２検出領域間の移送経路に沿った基板の長さを基準長さに設定する基板長さ設定部と、第１及び第２マークの検出結果に基づいて基板の移送方向に関する伸縮情報を導出する導出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を電子顕微鏡等で詳細に観察する装置において、観察対象の欠陥を確実に電子顕微鏡等の視野内に入れることができ、かつ装置規模を小さくできる装置を提供する。
【解決手段】光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を観察する電子顕微鏡5において、欠陥を再検出する光学顕微鏡14を搭載し、この光学顕微鏡14で暗視野観察する際に瞳面に分布偏光素子及び空間フィルタを挿入する構成とする。 （もっと読む）

【課題】三次元位置測定の測定精度を向上させる。
【解決手段】対物レンズ２２によりサンプル１２が拡大され、撮像部１５によりサンプル１２が撮像される。また、偏向部材３３は、対物レンズ２２の瞳の位置近傍に配置され、対物レンズ２２を介してサンプル１２からの光の一部を偏向して撮像素子４１の撮像面Ｓ２に向かわせる。そして、調整機構３５は、偏向部材３３の位置を、少なくとも対物レンズ２２の光軸方向に調整する。また、撮像部１５により撮像された画像が解析され、偏向部材３３を介さずに撮像面Ｓ２に到達した観測光によるサンプル１２の像と、偏向部材３３により偏向されて撮像面Ｓ２に到達した観測光によるサンプル１２の像との位置関係から、サンプル１２の三次元的な位置が検出される。本発明は、例えば、一分子生理学あるいは生物物理学で用いられる三次元位置検出装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】対物レンズの光軸に沿って、被検物を移動させることなく、被検物の形状を測定できるようにする。
【解決手段】MLA１２は、対物レンズ１１の瞳面又は結像面に配置され、撮像素子１３は、MLA１２の背後に設置され、対物レンズ１１による被検物像を撮像する。レンズ駆動装置４２は、被検物の各測定点までの距離情報に応じた量だけ、対物レンズ１１を光軸方向に移動させて、被検物に焦点が合うようにする。演算処理回路３４は、撮像素子１３の出力から複数の測定画像を生成し、MLA１２の２次元状に配列された複数のＭＬの各々に対応する撮像素子１３の撮像領域を構成する画素のうち、対物レンズ１１の主光線と交わる位置にある画素から得られる基準画像を、測定画像の補正情報として用いて、被検物の３次元の形状を測定する。本発明は、被検物の３次元の形状を計測する形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】 溶液の塗布装置及び方法において、撮像手段で撮像される液滴の面積を高精度で求めること。
【解決手段】 基板に溶液の液滴Ｙを吐出して塗布するノズル３４を備えた塗布ヘッド２２と、塗布ヘッド２２を駆動してノズル３４から溶液の液滴Ｙを吐出させる圧電素子３５と、塗布ヘッド２２のノズル３４から吐出された飛翔中の溶液の液滴Ｙを撮像する高速度カメラ４７と、高速度カメラ４７が撮像した溶液の液滴Ｙの画像に基づいて該液滴Ｙの面積を求める画像処理装置５５とを有してなる溶液の塗布装置において、高速度カメラ４７の撮像光学系中に液滴Ｙの吐出方向に沿う縦方向と、該縦方向に直交する横方向で倍率の異なる変倍レンズ４８を配置し、横方向の倍率を縦方向の倍率に比して大きくするもの。 （もっと読む）

【課題】白色干渉を用いた被測定物の表面高さの測定において、短時間で測定光束の焦点位置を調節可能な寸法測定装置を提供する。
【解決手段】寸法測定装置１は、白色光源２と、白色光源２から放射された光を、被測定物の表面高さに応じた光路長を有する測定光束と参照光束とに分割する光線分割素子３と、光線分割素子３から出射された参照光束の光路長を変化させる参照光走査光学系５と、測定光束内に配置された焦点可変レンズ４１と、測定光束の光路長と参照光束の光路長が略等しい場合に生じる干渉信号を検出し、その干渉信号に対応する信号を出力する検出器６と、参照光束の光路長と測定光束の光路長が等しいときに測定光束が反射される位置において測定光束が焦点を結ぶように、焦点可変レンズ４１の焦点距離を調節し、かつ干渉信号の最大値に対応する参照光束の光路長を求めることにより、被測定物の表面高さを求めるコントローラ７とを有する。 （もっと読む）

【課題】計測対象物の形状に応じたエッジ部分の指定及び計測方法の指定を要することなく、計測対象物を簡便に計測することができる画像計測装置及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】撮像素子で結像された画像を表示する表示手段３３２と、計測対象物における２点を示す画像の近傍にて始点及び終点の指定を受け付ける受付手段３３３と、始点及び終点の近傍に存在する直線状のエッジ部分を検出又は直線状でないエッジ部分の極小点及び／又は極大点を頂点エッジとして検出するエッジ検出手段３３４と、複数の頂点エッジを検出した場合、始点近傍の頂点エッジ等と終点近傍の頂点エッジ等との距離が最大又は最小となる頂点エッジを選択する選択手段３３５と、始点近傍の選択した頂点エッジ等と、終点近傍の選択した頂点エッジ等との距離に基づいて、計測対象物の２点間の距離の実測値を算出する算出手段３３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象物表面からの反射光のノイズ成分を除去して反射光のピーク輝度の検出を容易にし、測定精度の向上を図る。
【解決手段】対物レンズを介して検査対象物上に複数の光ビームを照射して複数の測定点を指定し、前記対物レンズと検査対象物との間隔を変化させながら、撮像手段で前記複数の測定点からの反射光を受光して前記各測定点に対応する複数の輝度を取得し、該複数の輝度から前記各測定点のピーク輝度を検出して前記検査対象物表面の凹凸形状を測定する表面形状測定方法であって、前記各測定点に対して光ビームの照射及び照射停止の明暗二つの状態を交互に与えて各状態における輝度を取得し、前記測定点毎に前記明暗二つの状態の輝度を減算処理して相対輝度を算出し、前記対物レンズと検査対象物との間隔を変化させながら前記測定点毎に得られた複数の前記相対輝度から各測定点のピーク輝度を検出するものである。 （もっと読む）

【課題】計測対象物が載置されるステージ上のホコリ、キズ等の異物による計測への影響を効率良く軽減して計測対象物を正確に計測することができる画像計測装置及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】撮像素子にて結像して得られた画像を表示する表示手段３３２と、画像データを取得する所定のタイミングの設定を受け付けるタイミング設定受付手段３３６と、ステージ上に計測対象物が載置されていない非載置状態で得られた前記画像の画像データに基づいて計測対象物以外の異物の位置情報を検出する第一の検出手段３３３と、非載置状態又はステージ上に計測対象物が載置された載置状態で、所定のタイミングにて取得した画像の画像データに基づいて異物の位置情報を検出する第二の検出手段３３４と、第一の検出手段３３３又は第二の検出手段３３４の選択を受け付ける選択受付手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】フォーカスの精度を良好に維持できる光学式測定装置を提供すること。
【解決手段】投影板にはサイズの異なる複数のパターンＰ１〜Ｐ３が形成され、小さなサイズのパターンＰ１〜Ｐ３ほど投影板を透過する光束の中心軸Ｌ近くに配置されている。そのため、低倍率の時には、光束の中心軸Ｌから離れた位置にある大きなサイズのパターンＰ３が用いられ、高倍率の時には、光束の中心軸Ｌに近接配置される小さなサイズのパターンＰ１が用いられることとなるので、ズーミングに伴うパターンＰ１〜Ｐ３のサイズの変化を抑制でき、フォーカスの精度を良好に維持できる。 （もっと読む）

本発明は、厚さまたは表面形状の測定方法に関するものであって、本発明に係る厚さまたは表面形状の測定方法は、白色光干渉計を用いた、基底層上に積層された薄膜層の厚さまたは表面形状の測定方法であって、互いに異なる厚さを有する複数のサンプル薄膜層を想定し、各サンプル薄膜層に対する干渉信号をシミュレーションすることにより、各厚さに対応するシミュレーション干渉信号を生成するステップと、前記薄膜層に白色光を照射して前記薄膜層に入射する光軸方向に対する実際の干渉信号を取得するステップと、前記実際の干渉信号から前記薄膜層の厚さとなり得る複数の予想厚さを求めるステップと、前記予想厚さに対応する厚さを有するシミュレーション干渉信号と前記実際の干渉信号とが実質的に一致するか否かを比較するステップと、前記実際の干渉信号と実質的に一致するシミュレーション干渉信号の厚さを前記薄膜層の厚さに決定するステップとを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】観察環境の変化にかかわらず、精度よく観察する。
【解決手段】観察対象を撮影する撮影部２と、該撮影部２により取得された画像から１以上の特徴量を抽出する特徴量抽出部４と、該特徴量抽出部４により抽出された特徴量に基づいて、撮影部２による観察対象の撮影条件を調節する撮影条件調節部６と、該撮影条件調節部６により撮影条件が調節された後に、撮影部２により取得された画像に基づいて、観察対象における位相差の分布を抽出する位相差分布抽出部３とを備える観察装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】空間的なコヒーレンスに起因するゴースト像の発生を抑える技術を提供する。
【解決手段】インテグレータとして機能するフライアイレンズ１０４の分割数Ｎを、ある閾値より大きくすることで、観察される視野の領域内で発生するゴースト像のコントラストをあるレベルよりも小さくなるようにする。こうすることで、紫外レーザ光を用いたフォトマスクの欠陥の検査におけるゴースト像の影響を排除する。 （もっと読む）

【課題】積層型３次元半導体装置の貫通電極の製造工程において、貫通穴底に形成した薄膜の厚さを非破壊で測定する。
【解決手段】本発明の一態様に係る膜厚測定装置１００は、第１波長の照明光と第２波長の照明光とを切替可能な光源部と、試料３０で反射した反射光を検出して、試料３０の所定の領域における画像を取得する光検出器１９と、光源部からの照明光を試料３０まで導くとともに、試料３０からの反射光を光検出器１９まで導く共焦点光学系と、薄膜の膜厚を算出するために、第１波長の光による第１画像と、第２波長の光による第２画像とに基づいて、第１波長及び第２波長に対する反射率の測定データをそれぞれ求める処理部２０とを備え、処理部２０は、波長と反射率との関係が前記薄膜の膜厚毎にそれぞれ示されている計算データを参照して、測定データから薄膜の膜厚を近似して算出する。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工の作業能率の向上及び加工精度の向上を図る。
【解決手段】複数のマイクロミラーにより、レーザ光源２から入射するレーザ光を反射させ、レーザ光の光束断面形状を規制して射出する光束規制手段３と、レーザ光により加工される被加工物１０と対向して設けられレーザ光を被加工物１０上に集光する対物レンズ４と、を備えたレーザ加工装置であって、光束規制手段３からレーザ光源２に向かう光路が分岐された光路上に設けられ光束規制手段３の複数のマイクロミラーに白色光を照射する白色光源６と、対物レンズ４から光束規制手段３に向かう光路が分岐された光路上に設けられ、複数の受光素子を備えて上記複数のマイクロミラーで反射された白色光の被加工物１０からの反射光を受光する撮像手段７と、対物レンズ４と被加工物１０との間の距離を変位させる変位手段９と、を備えて、微小高さの測定を可能にしたものである。 （もっと読む）

【課題】面位置計測装置の校正を行うための基準部材の表面形状を効率的に計測する。
【解決手段】投影光学系を用いてウエハＷ上に明暗パターンを露光する露光方法であって、Ｘスケール部３９ＸＡを用いて多点ＡＦ系９０の複数の検出基準点のＺ位置情報を計測する多点ＡＦ系９０の校正工程と、Ｘスケール部３９ＸＡをＸ方向に多点ＡＦ系９０の複数の計測点の間隔だけ移動しつつ、多点ＡＦ系９０によりＸスケール部３９ＸＡの表面の複数箇所のＺ位置情報を複数回計測する計測工程と、この計測工程で得られた複数のＺ位置情報を統計処理してＸスケール部３９ＸＡのＺ方向の形状情報を算出する算出工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】複数のカメラ９Ａ，９Ｂを用いて、複数の計測点２ａ，２ａを撮像する場合に、複数の計測点２ａ，２ａが、傾いて正規の位置からずれていても、カメラ９Ａ，９Ｂ全体を個別に移動させることなく、同時に撮像できるようにする。
【解決手段】基板２の計測点２ａ，２ａが傾いているために、Ｘ方向に沿って位置する２台のカメラ９Ａ，９Ｂで、左右の２つの計測点２ａ，２ｂを同時に撮像できないときには、カメラ９Ａ，９Ｂの対物レンズを、Ｙ方向に個別にずらすことにより、各カメラ９Ａ，９Ｂの視野内に、各計測点２ａ，２ａを収めて同時に撮像するようにしている。これによって、カメラ全体を移動させる場合に比べて、機構を簡素化してコストの低減を図る。 （もっと読む）

【課題】回折スペクトルの情報を失わずにオーバレイを測定するために、より小さいターゲットで使用することができる放射を提供する放射源を提供する。
【解決手段】放射が基板で反射した結果としての角度分解スペクトルを高開口数のレンズの瞳面で測定することによって、基板の特性を割り出す装置及び方法。特性は、角度及び波長に依存してよい。基板で反射する放射は、放射状に偏光する。 （もっと読む）

【課題】
従来のパターンマッチング方法は、登録されているｎ個の基準パターンについてマッチングを行うため、パターンマッチングの回数が飛躍的に増大し、パターンマッチングのスループットの効率が悪い。
【解決手段】
撮像したＴＶカメラの画像の所定部分のパターンと複数の基準パターンとを比較してパターンマッチングを行うパターンマッチング方法において、上記複数の基準パターンのそれぞれが重み付され、上記複数の基準パターンの一つの基準パターンが上記被測定物の所定部分のパターンと一致した場合、上記一致した基準パターンの重みを変更すると共に、上記被測定物の所定部分のパターンと上記複数の基準パターンとのパターンマッチングを行う場合、上記重み付された複数の基準パターンの内、重みの高い基準パターンから順次上記被測定物の所定部分のパターンとパターンマッチングをするように構成される。 （もっと読む）