【課題】被検査物の移動部位が前記測定光の光軸方向に移動した位置情報を検出するに際し、精度を劣化させず、装置の簡素化と低価格化を図ることが可能な光断層画像撮像装置を提供する。
【解決手段】被検査物によって反射あるいは散乱された測定光による戻り光と、参照ミラーによって反射された参照光とを用い、前記被検査物の断層画像を撮像する光断層画像撮像装置であって、
参照ミラーの反射位置を制御する反射位置制御手段と、
照明用の光学系によって照明された被検査物の移動部位を、シャインプルーフの原理に基づいてエリアセンサに結像させて観察する移動部位観察用の光学系を備え、該移動部位が前記測定光の光軸方向に移動した際の位置情報を検出する移動部位の位置検出手段と、
移動部位の位置検出手段によって検出された位置情報を元に、前記反射位置制御手段を駆動して参照光の光路長を制御する手段と、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】レンズの外形中心に対する光学面中心の偏芯情報が迅速かつ高精度で取得できるレンズ偏芯測定方法と、光学面中心の偏芯による影響を低減でき、所望の光学性能を達成できるレンズ組立方法を提供する
【解決手段】レンズ偏芯測定方法は、干渉計を用いてレンズの干渉縞情報を取得し、該情報に基づいてレンズの光学面中心を求めるステップと、レンズの外形中心を検出するステップと、得られた外形中心を基準として、光学面中心の偏芯情報（例えば、偏心量および偏心方向）を算出するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】ゾーンフォーカスにより深さ方向に画像を分割取得するに際し、複数のフォーカス位置への合焦時間の短縮化を図ることが可能となる光断層画像撮像装置を提供する。
【解決手段】所定の撮像深さ範囲内を複数のフォーカスゾーンに分け、複数のフォーカス位置を設定するフォーカス位置設定手段と、
前記所定の撮像深さ範囲内で、該撮像深さ方向の基準位置を少なくとも２つ以上設定する基準位置設定手段と、
前記フォーカス位置設定手段によるフォーカス位置情報と、前記基準位置設定手段により予め設定された２つ以上の基準位置での合焦時の合焦条件を元にして、前記複数のフォーカス位置で順次合焦が行われるように制御するフォーカス制御手段と、
を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】光切断方法を用いながらも、多重反射光の影響を抑制して表面形状を測定できるようにする。
【解決手段】まず測定対象物の表面で反射したレーザ光を受光して当該測定対象物の表面形状を、撮像光軸方向に所定ステップ量で移動する撮像部により撮像し、撮像部の各ステップ位置における測定対象物表面の形状線像を含む光切断画像を取得する。そして、各ステップ位置における光切断画像から形状線像が合焦している光切断画像を特定し、特定した光切断画像を利用して測定対象物表面の形状線像及び多重反射によるノイズ光像を判別する。その判別結果に基づいて、光切断画像から当該判別されたノイズ光像を除去する画像処理を行う。 （もっと読む）

【課題】 黒つぶれや白つぶれを考慮する必要がなく、且つ予め対象物のデータを備える必要なく、ドライバの顔向きを良好に検出することができる顔向き検出装置及び方法を提供すること。
【解決手段】 レーザー光源３１と、可動ミラー３２と、カメラ２と、レーザー光源３１の照射と、反射角度を制御するレーザー投光制御部５１と、撮像画像とレーザー投光制御部５１で制御した横線状の光の投影角度に基づいて、投影された横線状の光の３次元座標を算出して、ドライバの顔向きを検出するレーザー検出処理部５３、３次元座標変換部５４及びドライバ顔向き算出部５５を備えた。 （もっと読む）

波長選択器５が広帯域光源４の波長を選択する。光導波器ＢＳ１、ＢＳ２が、波長選択器からの光を測定経路に沿ってサンプル表面の領域に向けて誘導すると共に基準経路に沿って基準表面に向けて誘導し、サンプル表面の領域によって反射された光及び基準表面によって反射された光が干渉してインターフェログラムを生成するようにしている。コントローラ２０が、波長選択器を制御して、波長選択器によって選択される波長を変更する。記録器６３が、連続した画像を記録し、各画像は、波長選択器によって選択された波長のそれぞれ１つによって生成されたインターフェログラムを表す。データプロセッサ１８、１８０が、記録された画像を処理して、サンプル表面の少なくとも一部の表面プロファイル及び表面高マップのうちの少なくとも一方を作成する。基準経路を制御して、振動、熱的効果及び乱流のような環境影響を補償することができる。データプロセッサは、グラフィックス処理装置を用いて、ピクセルデータを並列に処理することを可能にすることができる。
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【課題】構成が簡潔で、静止した鋼板でも容易に且つ正確に形状を計測し、計測された鋼板の形状に基づいて当該鋼板の形状を矯正することが可能な形状矯正装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源を偏光し、偏光されたレーザ光を静止した鋼板上に走査して、静止した鋼板上の所定の検出点群のデータを抽出し、その抽出された鋼板上の検出点群の点密度を均一化する間引き処理を行い、間引き処理された鋼板上の検出点群データから回帰曲面を解析し、解析された回帰曲面から鋼板の形状を計測することにより、静止した鋼板の形状を容易且つ正確に計測することができ、レーザ光源が１つでよいことから構成が簡潔になる。この回帰曲面から鋼板の歪みを求め、その歪みを矯正するようにプレス機を自動制御して、鋼板の形状を連続的、自動的に矯正することができる。 （もっと読む）

【課題】構成が簡潔で、静止した鋼板でも容易に且つ正確に形状を計測することが可能な鋼板の形状計測方法及び形状計測装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源を偏光し、偏光されたレーザ光を静止した鋼板上に走査して、静止した鋼板上の所定の検出点群のデータを抽出し、その抽出された鋼板上の検出点群の点密度を均一化する間引き処理を行い、間引き処理された鋼板上の検出点群データから回帰曲面を解析し、解析された回帰曲面から鋼板の形状を計測することにより、静止した鋼板の形状を容易且つ正確に計測することができ、レーザ光源が１つでよいことから構成が簡潔になる。また、レーザ光照射装置と鋼板との距離情報に基づいて、データの間引く量を設定することにより、鋼板上の検出点群の点密度を容易且つ正確に均一化することができる。 （もっと読む）

【課題】被検査物の所定の部位における測定感度及び横分解能が高く、簡単な構成の光断層画像撮像装置および光断層画像の撮像方法を提供する。
【解決手段】光源からの光を測定光と参照光とに分割し、前記測定光を被検査物に導くと共に前記参照光を参照ミラーに導き、前記測定光による戻り光と、前記参照ミラーによって反射された参照光とを用い、
前記被検査物の断層画像を撮像するフーリエドメイン方式による光断層画像撮像装置であって、
前記参照光の光路長を調整する光路長調整手段と、
前記被検査物に前記測定光を集光させる集光手段の位置を調整する位置調整手段と、
前記被検査物の撮像を予定する部位に関し予め取得された情報に基づいて、前記光路長調整手段と前記位置調整手段とを制御する制御手段と、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】層構造を有する被計測物体内の中間層を基板とした構造情報を視覚的に判断する。
【解決手段】処理部２２は、光構造情報検出部２２０、光立体構造像構築部２２１、中間層抽出手段としての中間層抽出部２２２、層平坦化手段としての平坦化処理部２２３、構造像変換手段としての光立体構造像変換部２２４、領域情報抽出手段及び水平断面画像生成手段としての水平断層画像生成部２２５、画像合成手段としての画像合成部２２６、表示制御手段としての表示制御部２２７及びＩ／Ｆ部２２８を備えて構成される。 （もっと読む）

被験物体からの試験光と参照光とを合成して、検出器上に干渉パターンを形成する光学系を含む広帯域走査干渉計システムから構成される装置。本装置は、共通の光源から検出器への試験光と参照光との間の光路差（ＯＰＤ）を走査するように構成されたステージと、一連のＯＰＤ増分の各々に対する干渉パターンを記録する検出器を含む検出系であって、各ＯＰＤ増分の周波数がフレームレートを定義する、検出系とを含む。光学系は、走査時のＯＰＤの変化を示す少なくとも２つの監視干渉信号を生成するように構成され、検出系は、監視干渉信号を記録するように構成される。本装置は、フレームレートより高い周波数において、ＯＰＤ増分への摂動に対する感度でＯＰＤ増分に関する情報を決定するように構成されたプロセッサを含む。
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【課題】光路長差のスキャン範囲の幅を縮小して測定の効率化を図るのに適した構成の低コヒーレンス干渉計を提供する。
【解決手段】本発明を例示する低コヒーレンス干渉計の一態様は、測定対象となる距離範囲を低コヒーレンス干渉法で測定するための光周波数幅を有し、かつその光周波数方向にかけて強度変調された広帯域変調光を生成する光源部（１、２１）と、前記光源部が生成した広帯域変調光を分岐して測定対象物（１２）と参照物（１５）との双方へ導くと共に、前記測定対象物からの測定光と前記参照物からの参照光とを干渉させて干渉信号を生成する光学系（９、１８）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 被検物の表面の高さや形状を高精度に測定する。
【解決手段】 第１の微小開口を通過した照明光を被検物に向けて照射させ、被検物からの反射光を得る共焦点光学系と、第２の微小開口を通過する反射光を検出する光検出部と、反射光における波面収差を検出する収差検出部と、被検物に対する共焦点光学系の焦点位置を光軸方向に変位させる変位部と、変位部により共焦点光学系の位置焦点を複数変位させたときに得られる反射光の強度と波面収差とに基づいて、被検物の表面形状を計測する計測部と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

深さ方向に間隔を空けられた異なる対象領域を目視顕微鏡法および光干渉断層法によって検査可能にする画像化システムが提供される。軸方向視野および方位分解能は、画像化システムによってどの対象領域を検査するかに依存して変更される。提案される画像化システムは、人間の目の完全な検査に特に適用可能である。
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【課題】
従来のレーザーを用いた距離測定方法は、出射したレーザー光が被測定物で反射して戻って来る迄の時間を計って測距するものである。そのため測距精度はレーザー光の波長には遠く及ばない。また、レーザー光の特徴である可干渉性を利用した測定方法では、距離の変化量は波長程度の誤差で測定できるが、距離は分らない。
【解決手段】
本発明はレーザーの特徴である可干渉性を利用し、測距精度を波長程度、あるいは位相を考慮する事により波長以下にまで高めるものであり、その方法は発振波長の異なる２つ以上のレーザー光を用い、それぞれを参照光と測定光に分け、参照光と測距物から反射して来た測定光を干渉させ、参照光或いは測定光の伝播距離を変化させる事により光路差を変えていくとそれぞれのレーザー光はそれぞれの周期で干渉による明暗をつくるので重ね合わせた明暗の間隔を測ることによって測距物までの距離を知るものである。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成であって、広範囲なプローブ個体ばらつきに対応でき、しかも測定のための調整が容易である光断層画像測定装置を提供する。
【解決手段】複数のプローブ１０を取り替えて使用するとき、各プローブ１０毎の長さのばらつきによる測定光Ｌ１および反射光Ｌ３の光路長にばらつきが生じた場合であっても、本実施の形態によれば測定対象Ｓからの断層信号が複数生じるため、光路体ＯＰＳの光路長を一体で微調整するだけでいずれかの断層画像を迅速に且つ容易に捉えることができる。 （もっと読む）

【課題】撮像装置に要するコストを抑制しつつ基板上の部品の高さを把握する。
【解決手段】基板検査システムにおいて、ミラー角度制御部は、被検査面の垂線に対する角度の絶対値が互いに異なる撮像角度から見た基板２の映像をラインセンサが走査できるよう撮像角度を切り替える。ミラー角度制御部は、ラインセンサから基板２への光路長が変化しないよう撮像角度を切り替える。ミラー角度制御部は、基板２からの光をラインセンサに向けて反射するハーフミラー４２の角度を、ラインセンサから基板２への光路長が変化しないよう変更して撮像角度を切り替える。このときミラー角度制御部は、基板２の表面に対して垂直な垂直撮像角度と、基板２の表面に対して傾斜した傾斜撮像角度とを切り替える。 （もっと読む）

【課題】プロファイルラインの指定と関心領域の指定との相互間の位置関係を容易に把握できるようにする。
【解決手段】画像表示領域１０８での試料の平面画像の表示に対してなされる、試料のプロファイルを表すプロファイル画像における当該プロファイルの表示範囲の指定を、演算部１０３が取得する。プロファイル描画部１０５は、当該表示範囲のプロファイル画像をプロファイル表示領域１０９に表示させる。演算部１０３は、画像表示領域１０８での平面画像の表示に対してなされる関心領域の指定を取得し、プロファイル描画部１０５でのプロファイル画像での表示において、当該関心領域に対応する範囲を判別する。プロファイル描画部１０５は、プロファイル表示領域１０９でのプロファイル画像における、当該関心領域の範囲内の画像と当該範囲外の画像とを、異なる態様にして表示させる。 （もっと読む）

【課題】駆動機構による光センサの移動速度の変化に拘わらず変位データを取得し、その後に一定距離間隔の変位データだけ抽出する構成とすることで、測定時間の短縮を図る。
【解決手段】移動機構手段４２により基板１０に対する光センサ３１の位置を速度が変化しながら移動させる。その移動中に、光センサは光学的に基板１０の表面の高さ方向の変位を検出する。Ａ／Ｄ変換手段３２ｂ及び変位算出手段３２ａは、光センサからの変位をクロックでデジタルの変位データに変換して出力する。データ取得部５０は移動機構手段が移動するときの移動量を基に、移動量の所定間隔毎に、前記変位算出手段３２ａからの前記変位データを抽出する。画像生成手段６０は所定間隔毎の変位データを基に、基板の表面上の形状を示す画像データを生成する構成とした。 （もっと読む）

【課題】形成プロセス中及び／又は形成プロセス後において板ガラスの形状を判定する。
【解決手段】内部バルクを画成する板ガラス２４の形状を判定するシステム２６は、レーザビーム４０を所定の角度で所定の投影ベクトルに沿って板ガラス２４に向かわせるよう構成されたレーザ３８と、画像取込装置３０と、板ガラス２４のバルクの選択された部分内におけるエネルギー重心の位置を計算するよう構成されたプロセッサ３２とを備る。レーザビーム４０は、ビーム４０が伝搬する板ガラス２４の内部に蛍光発光を生じさせて蛍光光エネルギーを発せさせるのに十分な選択された波長を有する。画像取込装置３０は、蛍光光エネルギーを受け取り、この蛍光光エネルギーをセンサ５４上に結像させるよう構成されている。センサ５４は、その上に結像された蛍光光エネルギーの位置に基づく位置信号を生成する。 （もっと読む）