【課題】透明に近い細胞などの生体材料を非染色状態で試料とし、コントラストの低い試料を可視化する顕微鏡などの観察装置に最適な三次元画像取得装置およびその方法とこれを利用した加工装置の提供。
【解決手段】試料空間内の計測点に集光する光束を照射し、透過光量を計測する。透過光信号と参照信号から微弱な光吸収量を測定する。三次元走査しながら光吸収量を立体画素とする三次元マップを得る。この三次元マップに、計測点付近の光強度分布像をコンボリューション・カーネルとするデコンボリューション処理を行ない、非染色状態で透明に近い試料の三次元画像を得る。 （もっと読む）

【課題】投光装置の実部品点数を削減し、小型化を実現できる形状計測装置を得る。
【解決手段】ビームの照射パターン信号を生成して伝送制御部４を介して投光装置３に伝送すると共に、伝送制御部を介して伝送される照射パターンに対応して撮像装置２より撮像された画像に基づいて対象物１の形状を計測する形状計測部５とを備えた形状計測装置において、投光装置３は、光源８、コリメート光学系９、平行ビームを走査する偏向走査装置１１、平行ビームの整形及び偏向制御を行うビーム制御光学系１０、ビーム制御光学系の反射光を受光する２つの受光素子１２ａ，１２ｂを有し、ビーム制御光学系１０は、平行ビームを整形しスリット光に伸張するレンズ部１４、前記レンズの両端に設けられて、前記平行ビームを前記受光素子に導くミラー部１５を有し、伝送制御部４は、２つの受光素子の受光信号に基づいて偏向走査装置の走査時間を制御する。 （もっと読む）

【課題】 被検物の三次元画像の取得及び三次元計測の時間の短縮化を図ることができる共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】 被検物１１に照射される照明光束を射出する光源１２から被検物１１に至る光路上に、対物レンズ１３を経た照明光束が集光する複数の集光点２４，２５，３９，４０，４１を対物レンズ１３の光軸上に形成するための集光点形成部材２０を配置する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面の反射率の大きさや計測環境の照明の明るさ等にかかわらず、光切断線の撮像画像において光切断線を確実に抽出することができ、露出についてロバストな自動制御に対応することができる三次元形状計測方法を提供すること。
【解決手段】光切断法による三次元形状計測方法において、二次元画像の画像データに基づき輝度ヒストグラムを作成し、この輝度ヒストグラムにおける、光切断線の部分に対応する第一のピークＰｅ１および背景部分に対応する第二のピークＰｅ２を検出し、これらのピークＰｅ１、Ｐｅ２についてのピーク間輝度値差（Ｂｐ１−Ｂｐ２）を算出し、ピーク間輝度値差が、予め設定された最小ピーク間輝度値差Ｂｒ１以上であり、かつ、高輝度側となる第一のピークＰｅ１における輝度値（第一ピーク輝度値Ｂｐ１）が、予め設定された最大ピーク輝度値Ｂｒ２以下となるように、光切断線の撮像に際しての露出の調整を行う。 （もっと読む）

【課題】非球面光学素子の表面形状を簡易かつ低コストで短時間のうちに測定し得る光波干渉測定装置を提供する。
【解決手段】透過/反射分離面１３ａにおいて二分された光原１１からの光束は、それぞれ対応する球面基準レンズ１５、２５によって、被検非球面レンズ１７と参照非球面レンズ２７の表面形状に応じた波面情報を担持した状態で再び合波され、参照非球面レンズ２７に対する被検非球面レンズ１７の波面誤差が干渉縞情報とされて干渉計ＣＣＤカメラ３１の撮像面上に形成される。また、ビームスプリッタ１３と高ＮＡ球面基準レンズ２５との間に、入射した第２の平行光束の波面形状を補正（参照非球面レンズ２７の波面情報を補正）するデフォーマブルミラー４２を備えており、この補正値は制御演算部５１によって制御される。 （もっと読む）

【課題】本発明の精密フェーズシフト発生装置は、石英材料の低い膨張率や、高い機械品質要素の特徴を利用して、巧妙且つ正確な構造デザインを通じて、精密圧力発生器の作用に基づき、それぞれエタロン自体及びフレキシブルヒンジマイクロ変移プラットホームの変移スキャニングを実現し、物の長さに対する精密測定を実現する。
【解決手段】本発明の精密フェーズシフト発生装置は、「圧力スキャニング」原理に基づいてデザインされた「キャビティ長さ可変式」のエタロンとフレキシブルヒンジマイクロ変移プラットホームとの一体化装置であり、また、「キャビティ長さ可変式」エタロンのデザインによって、精密変移センサーの自己修正難題が解決されており、精密フェーズシフト発生装置のフェーズシフト測定の正確度を保証することができる。また、本発明は、精密フェーズシフト発生装置によって構成された精密の長さ測定システム及び測定方法をも提供している。 （もっと読む）

本発明は光学式三次元測定および色測定のための装置および方法に関し、この装置は、多色共焦点測定方式、三角測量測定方式または他の測定方式による光学式三次元測定のための第１のモードと、色測定のための第２のモードとの間で調整可能であり、第１のモードにおいて広帯域の照明光線が測定対象物表面の第１の平面に集束し、第２のモードにおいて広帯域の照明光線が、測定対象物の表面から一定の間隔ｄをおいて第１の平面の外部にある第２の平面に集束する。 （もっと読む）

【課題】３次元測定器と回転台または回転台と対象物のいずれかの位置関係を変更した場合でも、変更前に得た３次元データと変更後に得た３次元データとを可能な範囲で自動的に位置合わせして繋ぎ合わせること。
【解決手段】新たに測定した３次元データＤＴ４を測定済みの３次元データＤＴ１〜３と繋がるように座標変換して位置合わせすることによって３次元データＤＴ４についての位置合わせのための変換情報Ｍを取得し、変換情報Ｍに基づいて得られる３次元データＤＴ４と３次元データＤＴ１〜３との位置合わせの誤差がしきい値ＴＨ以下であるか否かを判断し、位置合わせの誤差がしきい値ＴＨであるときに、３次元データＤＴ４に対して回転台３を回転させることのみによって測定して得られる３次元データＤＴ５〜６に対し、回転台３の回転角度θについての情報と変換情報Ｍとを用いて３次元データＤＴ１〜３との位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】３次元計測装置などによって得られた３次元データについて、ユーザがその信頼性の範囲を調整しながら３次元データをリアルタイムで確認することを可能とし、最適な３次元データを容易に得られるようにすること。
【解決手段】被測定物に測定光を投射し被測定物上で反射した測定光を受光することによって得られる被測定物の表面上の各点の３次元位置座標を示す３次元データを処理する３次元処理装置ＳＳＴにおける３次元データの表示制御方法において、各点の３次元データに対応して、それぞれの３次元データＤＺの信頼性の指標となる信頼性データＤＰを取得し、信頼性の範囲を指定するためのしきい値ｔｈをユーザによって調整可能としておき、ユーザによって調整されたしきい値ｔｈで示される範囲内の信頼性に対応する３次元データＤＺ１を、それ以外の３次元データＤＺ２とユーザによる識別が可能な状態で、表示装置３ｂの表示面ＨＧに表示する。 （もっと読む）

【課題】対物レンズを切り替えても精度良くセクショニングが可能で標本の画像取得後に所望のセクショニング分解能の正確な共焦点画像を得る。
【解決手段】光源５の光を走査する走査手段１６と、走査手段１６を経た光を標本３に集光する対物レンズ１３と、観察光の光路を分割する分割手段１９と、対物レンズ１３の焦点と略共役な位置で分割手段１９で分割された一方の光路上に配置された開口径を変更可能な第１ピンホール手段２０と、該手段２０と開口径が異なり対物レンズ１３の焦点と略共役な位置で分割手段１９で分割された他方の光路上に配置された第２ピンホール手段２２と、これらのピンホール手段２０，２２を通過したセクショニング分解能の異なる２つの光束から得た２つの共焦点画像のデータに基づき前記共焦点画像とセクショニング分解能の異なる共焦点画像を作成する演算手段３７を有する共焦点顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】 被検物体の表面のテキスチャによる影響を抑え、高精度な測定を行うこと。
【解決手段】 所定のパターンを有するパターン光を、被検物体に対して第１の方向から投光する投光手段と、２次元光電変換素子を備え、被検物体から反射したパターン光の像を、第１の方向と異なる方向から２次元光電変換素子により撮像する撮像手段と、被検物体の表面の凹凸に起因するテキスチャを推定する推定手段と、撮像手段により生成した画像を、推定手段により推定したテキスチャに基づいて補正する補正手段と、補正手段による補正後の補正画像に基づいて、被検物体の３次元形状を演算する演算手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】安価で高精度且つ高速に高さ情報を測定可能な走査型レーザ顕微鏡を提供することを課題とする。
【解決手段】光偏向器９により被検物３上をライン状に走査して得られる１ライン分の高さプロファイルを、その走査方向に所定量だけずらしながら複数取得する。演算処理部１９は、取得した複数の高さプロファイルを繋ぎ合わせて１つのプロファイルを求める。 （もっと読む）

【課題】光学系の収差の影響を排除して薄膜の膜厚の測定精度を向上させる。
【解決手段】光検出器７は、試料１である薄膜にスポット光を照射したときにおける該薄膜からの反射光の輝度を、対物レンズ２を介して検出する。リファレンスメモリ１６には、対物レンズ２からの光軸方向の距離と該距離の位置より対物レンズ２へ向かう光の光検出器７により検出される輝度との関係を示す基準データが格納される。顕微鏡制御部１１は、該薄膜の対物レンズ２からの距離を光軸方向に変化させて、該距離と光検出器７で検出される輝度との関係を示す測定データを取得する。膜位置検出部１７は、基準データ及び測定データに基づいて、該薄膜からの反射光の輝度が極大の高さとなるときの対物レンズ２からの距離を特定する。フィッティング計測部１８は、膜位置検出部１７により特定された距離に基づいて、該薄膜の膜厚を取得する。 （もっと読む）

【課題】高精度なバリまたは欠損の自動認識を可能にする。
【解決手段】ワークに対する複数の計測位置からワークを計測することで計測データを取得し、この計測データをコンピュータに入力するデータ入力ステップＳ１と、計測データに基づいて、ワークの存在する空間領域を、境界表面が互いに直交する直方体からなる複数のボクセルに分割し、各ボクセル位置を記憶する環境モデルを構築する環境モデル構築ステップＳ３と、計測データはワーク表面における複数の被計測点の座標値を含むとして、これら各座標値に対応するボクセルの内部に代表点とその誤差分布を設定し記憶するマッチングステップＳ４と、ワークの３Ｄ−ＣＡＤモデルを読込んでワークの形状モデルを得るワークモデル取得ステップＳ９と、ボクセル位置、代表点、誤差分布で表現される照合用３次元形状と、ワークの形状モデルとを照合して両者の形状差異を評価する照合ステップＳ１０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ広ダイナミックレンジで被測定物の表面形状を測定することができる干渉測定装置を提供する。
【解決手段】干渉測定装置１は、光源１１，１２、レンズ２１〜２５、アパーチャ３１、光合波器４１、光分波器４２、ハーフミラー４３、撮像部５１、解析部５２、受光部６１、変位検出部６２、ピエゾアクチュエータ７１、駆動部７２、ミラー７３、ステージ８１、駆動部８２および制御部９０を備える。制御部９０は、変位検出部６２による光路長差検出結果に基づいて、光路長差が複数の目標値に順次になるように、駆動部７２，８２を介してピエゾアクチュエータ７１およびステージ８１による光路長差調整動作を制御する。制御部９０は、ステージ８１による移動動作の際にも、光路長差が各目標値になるようにピエゾアクチュエータ７１による移動動作をフィードバック制御する。 （もっと読む）

【課題】被検眼の眼底における網膜の断層像を撮像するに際し、モーションアーチファクトを低減させ、解像度の向上を図ることが可能となる光干渉断層撮像装置を提供する。
【解決手段】
光干渉断層撮像装置であって、
参照光路が、少なくとも、第１の参照光路と、該第１の参照光路より光路長が短い第２の参照光路とを有し、
前記第１の参照光路を用いて、光干渉により取得される被検査物の第１の検査位置における第１の断層情報と、前記第２の参照光路を用いて前記光干渉により取得される前記第１の検査位置よりも前記被検査物の深さ方向に関して浅い位置の第２の検査位置における第２の断層情報とを取得し、
前記第１の断層情報から形成される前記第１の検査位置における断層画像の位置ずれを、前記第２の断層情報を用いて補正可能に構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】0.9〜1.2μｍの中心波長の光を発光する、高出力化可能な光半導体素子を得る。
【解決手段】 光半導体素子１を、InP基板10と、InP基板10の上に積層された第一導電型クラッド層１１と、第一導電型クラッド層１１の上に積層された量子井戸活性層１３であって、InGaAsPあるいはAlGaInAsからなる量子井戸層１３ａと、量子井戸層１３ａを挟むように積層されているInPあるいはGaInPからなる障壁層１３ｂとを備えた量子井戸活性層１３と、量子井戸活性層１３の上に積層された第二導電型クラッド層１５とを備える構成とする。 （もっと読む）

超高分解能走査光学測定装置が開示され、該走査光学測定装置は、光源と、光源から照射された光を集束させる第１レンズと、第１レンズの次に配される第１ピンホールと、第１ピンホールを通過した光を発散させる第２レンズと、第２レンズを通過した光を走査するための走査ユニットと、第２レンズと走査ユニットとの間に配された第１ビームスプリッタと、走査ユニットから出てきた光を第１経路上に配させるものであり、被検体をスキャニングするためのスキャニング・ユニットと、スキャニング・ユニットを通過した光を被検体に集束するための対物レンズと、被検体が置かれるスライドと、光源から照射された後、被検体を通過した光を反射させる光学探針と、スキャニング・ユニットと対物レンズとの間に配された第２ビームスプリッタと、被検体と光学探針とから反射され、第１ビームスプリッタを経由した光を検出するための第１光検出器と、第１ビームスプリッタと第１光検出器との間に配された第２ピンホールと、被検体と光学探針とから反射され、第２ビームスプリッタを経由した光を検出するための第２光検出器とを含む。
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【課題】測定者の意図した測定が行われなかった場合であっても容易に測定条件の再設定を行う。
【解決手段】被測定物に投影光を投射する投光手段と、前記投影光による前記被測定物の投影光画像を取得する撮像手段であって、該撮像手段の撮像面を区分する部分領域毎の撮像による部分的な前記投影光画像を順に読み出す部分読み出しが可能に構成されるとともに、前記撮像面全面での撮像による前記投影光画像を読み出す全面読み出しが可能に構成された撮像手段と、前記撮像手段から部分読み出しされた複数の部分投影光画像に基づいて、前記被測定物の距離画像を算出する算出手段と、当該距離画像と前記撮像手段から全面読み出しされた全体投影光画像とに基づいて、前記被測定物の再測定部位を指定する指定手段と、前記指定された再測定部位に対応する測定条件を設定する設定手段とを備える３次元形状測定装置とする。 （もっと読む）

【課題】光学的コヒーレンストモグラフィにおいて機械的運動に影響されることなく、短時間で高品位の解像度の二次元画像を得る。
【解決手段】本発明は、ために、光源およびリニアビーム形成システムが採用された光学的コヒーレンストモグラフィに関する。かかる目的のために、光学的リニアビーム形成システム（２０）は、周波数領域の光学的コヒーレンストモグラフィを実施するよう、半円筒形レンズ（２１）と、凸レンズ（２２）と、スリット（２３）とを備える。光源からの平行な光ビームは、半円筒形レンズ（２１）の表面に入射し、この凸レンズ（２２）の前方には半円筒形レンズ（２１）の焦点ラインが位置している。凸レンズ（２２）は平行な光成分が収束する短焦点と、発散する光成分が収束する長焦点とを有し、短焦点と長焦点との間にスロット（２３）が位置する。 （もっと読む）