【課題】光学的手段で得た溶接鋼管の断面プロフィールから、専用治具による測定と互換性があり精度よく高速にピーキングを計算する方法を提供する。
【解決手段】溶接鋼管の溶接部に線状光又は走査した点状光を照射し、溶接部表面に照射された線状光又は点状光の像を撮像して、光学的手段により溶接鋼管の断面プロフィールを検出する断面形状検出方法において、ピーキング測定治具の脚と断面プロフィールとの接触点Ａ，Ｂ間の距離ＡＢが治具の脚幅Ｗに等しく、かつ、ＡＢの中点Ｃと止端点Ｐを結ぶ線分ＣＰがＡＢと直交するという拘束条件を満たすように、止端点Ｐから距離がともにＲ_kにある等距離点の対Ａ_k，Ｂ_kを探索し、それらの間の距離Ａ_kＢ_kを計算して、脚幅Ｗに近いところでの深さＣＰを計算する。 （もっと読む）

【課題】センサヘッド部の設置に際して、ワークに対して正確な位置調整を可能とする。
【解決手段】測定対象物からの反射光を受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力するための２次元受光素子と、２次元受光素子からの受光信号を増幅するための増幅器と、投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において増幅器で得られた増幅信号に基づき、測定対象物のプロファイル形状を演算可能なプロファイル演算手段と、プロファイル演算手段で演算された測定対象物のプロファイル形状を表示可能な表示部と、プロファイル形状を表示部で表示された状態で、所望の計測領域を指定するための計測領域指定手段と、領域指定手段で指定された計測領域に対して所望の演算を行うことが可能な計測処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】２次元状に受光素子が配置された光学式変位計において、ワークに応じて安定した受光量を得ることを可能とする。
【解決手段】測定対象物からの帯光の反射光を受光するための２次元受光素子と、増幅器で得られた増幅信号の、第１方向における受光信号波形のピークレベルの分布が所定の範囲内となるように、投光部３の発光量及び増幅器の増幅率を含む操作量の少なくともいずれかのパラメータをフィードバック制御するための受光レベル制御手段６１と、測定対象物の変位を測定する測定モードと、受光レベル制御手段６１の操作量を設定する設定モードとを切り替えるためのモード切替手段５３とを備え、設定モードにおいて、予め測定対象物に対して投光部３で帯光を照射し、第１の方向の各位置における増幅信号のピークの分布状態を測定し、受光レベル制御手段６１が、第１の方向における分布状態に応じて操作量を調整する。 （もっと読む）

【課題】３次元画像を高精度で撮像する３次元撮像装置等を提供する。
【解決手段】レーザ光を照射する半導体レーザ１２と、照射されたレーザ光を水平方向に走査させるポリゴンミラー１５と、水平方向に走査されたレーザ光を鉛直方向に反射して電子部品２に入射させる第２のミラー１６と、電子部品２で反射されたレーザ光を受光するＰＳＤ１８と、ＰＳＤ１８における受光状態に基づいて電子部品２の３次元画像データを生成する画像処理部２１と、を備えた３次元撮像装置において、第２のミラー１６の水平方向における向きを変更し、電子部品２で反射されたレーザ光がＰＳＤ１８に受光されるようにレーザ光の走査方向を変更するようにした。 （もっと読む）

【課題】迷光による校正への影響を軽減できる校正ゲージを提供する。
【解決手段】被測定物へ斜めに光を出射し、該記被測定物の測定点からの反射光を受光することにより変位を測定する変位測定装置１００の高さ方向の校正を行うための校正ゲージであって、コーティングされた平面を頂面６ａとし既知の高さｈを有する支柱６ｂで構成され、少なくとも頂面６ａの一角は鋭角な形状、かつ頂面６ａと支柱６ｂの側面とは直交する形状にされた測定ゲージ部６を備え、この測定ゲージ部６の頂面６ａの一角が光が出射してくる方向に向けて配置されて前記校正に用いられる構成とした。 （もっと読む）

本発明による装置及び方法を提供することが可能であり、少なくとも１つの第１電磁放射線を含む特定の放射線が少なくとも１つのサンプルに向けられ、且つ、少なくとも１つの第２電磁放射線が基準に向けられる。特定の断面幅を有する第１電磁放射線をサンプルの少なくとも一部分に印加し、少なくとも１つの第３電磁放射線を生成することが可能である。特定の断面幅に対する０．５の乗数と１００の乗数との間の所定の乗数に相当する距離について特定の軸に沿って、サンプルの少なくとも一部分内で第１電磁放射線を並進運動させることが可能である。第１電磁放射線に関連する第３電磁放射線と第２電磁放射線に関連する少なくとも１つの第４電磁放射線との間において干渉を検出することが可能である。更には、第１電磁放射線の非対称断面エリアを提供することが可能である。
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【課題】位置決め時間が短縮され、精度の高い位置決めができる位置決め装置を得る。
【解決手段】患者支持台３上の患者２の位置決めを行うために用いる位置決め装置であって、患者体表面形状を、計測光１１とカメラ１４を用いて２次元計測および３次元計測し、位置データとなる２次元画像データおよび３次元位置データを得る体表面形状計測手段、上記体表面形状計測手段であらかじめ得た体表面基準位置データと、計測時に上記体表面形状計測手段によって得る体表面計測位置データとを比較照合して差異を算出するデータ照合手段、上記データ照合手段の出力情報を入力し、上記差異が許容範囲内となる方向に上記患者支持台を移動させて患者を位置決めする位置調整手段を備え、患者の位置決めを実施できるように構成した。 （もっと読む）

【課題】表面に凹凸をもつ物体上に光を走査し、反射光を受光して表面上の位置や高さ検査を行う場合、三角測量法では原理的に必ず光を斜めから投射しなければならず測定できないところが多い。また共焦点法で走査を行うものでは対象物または測定側の高さを変えてくりかえし測定するため時間がかかるという問題がある。分光情報を用いる例では多数のホトダイオードデータを読むのに時間がかかり光による高速走査に適さないという問題点があった。
【解決手段】複数の波長を含む点光源と、点光源からの光を走査する光走査機と、色収差を持つレンズと、対象物からの反射光を分けるビームスプリッタと、反射光を透過するピンホールまたはスリットまたは光ファイバと、ピンホールまたはスリットまたは光ファイバからの光を分光する分光器と分光された光の位置を検出するＰＳＤまたは位置検出型光電子増倍管とを具備するものとした。 （もっと読む）

【課題】外部からの機械振動や音響振動が伝達されても、外部振動の影響を受けない形状測定装置及びレーザ顕微鏡を実現する。
【解決手段】本発明では、光源（１）から出射した光ビームを対物レンズ（８）を介して試料（９）に向けて投射し、試料表面を光ビームにより2次元走査する。一方、対物レンズをその光軸方向に移動させる対物レンズ駆動手段（１０）を有し、対物レンズを光軸方向に移動させながら試料表面を2次元走査する。この際、Ｚ軸方向の位置情報として、対物レンズ（８）と試料（９）の表面との間の間隔を測定し（１２）、測定された間隔をＺ軸方向の位置情報として用いる。信号処理回路（２０）において、試料表面からの反射光を受光する1次元イメージセンサからの輝度信号及び間隔測定手段（１２）からの位置情報を用いて試料の2次元画像情報及び試料表面の高さ情報を出力する。 （もっと読む）

【課題】形状測定対象物の三次元形状をより高い測定精度で測定することのできる三次元形状測定システム及び三次元形状測定方法を提供する。
【解決手段】換算部は、各サンプリングで得られた受光データについて、受光時間について正規化した受光データに換算する。照射タイミング導出部は、各サンプリングの受光期間の中心タイミングｔ１〜ｔ５と前記換算後の受光データとを対応付け、周知の補間演算処理を用いて曲線（１）を導出し、該曲線（１）の頂点Ｔに対応するタイミングＴpeakを注目画素ｇの受光量が最大となるタイミング（時間重心）として設定する。位置導出部は、前記時間重心Ｔpeakにおけるスリット光１１Ｅの照射方向と、該注目画素ｇに対するスリット光１１Ｅの入射方向との関係に基づき、注目画素ｇに光を反射した形状測定対象物の部位から三次元デジタイザまでの距離を三角測量の原理で算出する。 （もっと読む）

【課題】一つの情景中の全ての画素から実質的に同時に深度情報を得る、改善された測距カメラを提供する。
【解決手段】別に得られた背景画像に重畳された目的の被写体を含む混合画像を生成するための方法であって、目的の被写体を含む情景の、該情景中の被写体までの距離を示す第１画像を形成すること、上記第１画像により示された、上記被写体までの距離を決定すること、少なくとも一つの被写体までの距離を含む距離領域を規定すること、フィルタされた画像を形成するために上記距離領域の外側にある被写体を第１画像から除去すること、上記フィルタされた画像を上記背景画像の上に重畳すること、を含む。 （もっと読む）

【課題】 光切断法などによって測定対象物を計測する場合における、効率的な基準座標系に対するカメラ座標系のずれ量の取得方法を提供すること。
【解決手段】 法線方向がｚ軸を定義する第一平面部４３ａと、第一平面部４３ａが形成される平面との交線がｚ軸と直交するｘ軸を定義する第二平面部４３ｂと、ｚ軸に直交する平面であって第一平面部４３ａが形成される平面とは異なる平面上に交線４３ｇが形成される第三平面部４３ｃおよび第四平面部４３ｄとを有した基準ワーク４０に対してレーザー光を照射して、得られる点群データに基づいて、基準となる座標系（基準座標系）に対する前記形状測定器に定義される座標系（カメラ座標系）のずれ量を検出する。 （もっと読む）

【課題】一つの情景中の全ての画素から実質的に同時に深度情報を得る、改善された測距カメラを提供する。
【解決手段】情景中の被写体までの距離を示す画像を生成するための装置であって、第１変調関数を有し、情景に向かって放射波を向きづける変調された放射波源と、上記情景から反射され、第２変調関数により変調された放射波を検知し、上記検知され変調された放射波に応じて、上記情景の領域までの距離に対応する信号を発生する第１検知器と、上記情景から反射され、上記第２変調関数により変調されない放射波を検知するとともに、上記検知された放射波に応じて上記情景の領域から反射された光の強度に応じた信号を発生する、上記第１検知器とボアサイトされた第２検知器と、上記第１および第２検知器から信号を受信するとともに、上記装置からの被写体の距離を示す強度分布を有する、上記信号に基づいて画像を形成するプロセッサと、を含む。 （もっと読む）

【課題】成膜中の膜厚またはエッチング中のエッチング深さを測定する。
【解決手段】半導体ウエハ１の第１表面およびリファレンスミラー１３からのそれぞれの反射波１７ｃ、１７ｄによって第１干渉波を検出する。次いで、半導体ウエハ１の第１表面をエッチングすることによって、第１表面から第２表面へ変形する。次いで、半導体ウエハ１の第２表面およびリファレンスミラー１３からのそれぞれの反射波１７ｃ、１７ｄによって第２干渉波を検出する。次いで、第１干渉波と第２干渉波との位相差を電圧値に変換して、リファレンスミラー１３が固定された圧電素子１５にその電圧値を印加して、圧電素子１５を変位させると共にリファレンスミラー１３を移動する。 （もっと読む）

【課題】作業者に課す手間や測定時間を低減できる三次元形状測定システムを提供する。
【解決手段】判断対象範囲Ａに形状測定対象物Ｓの表面領域が含まれており、該範囲Ａから測定データが得られる。この場合、当該範囲ＡのＺ軸方向における外側には、形状測定対象物Ｓの一部位が存在し、未測定の表面領域が存在すると考えられることから、未測定領域有無判断部は、矢印Ｚ１の方向に測定範囲が移動するように焦点距離を変更した状態での測定が必要であると判断する。一方、判断対象範囲Ｂには形状測定対象物Ｓの表面領域が全く含まれておらず、該範囲Ｂから測定データが得られない。この場合、当該範囲ＢのＺ軸方向における外側には、形状測定対象物Ｓの部位が存在せず、未測定の表面領域が存在しないと考えられることから、未測定領域有無判断部２３は、矢印Ｚ２の方向に測定範囲が移動するように焦点距離を変更した状態での測定は必要でないと判断する。 （もっと読む）

【課題】一つの情景中の全ての画素から実質的に同時に深度情報を得る、改善された測距カメラを提供する。
【解決手段】情景中の被写体までの距離を示す画像を生成する装置であって、第１変調関数を有し、放射波を情景に向かわせる変調された放射波源と、検知変調器を含み、第２変調関数を有するとともに、検知アレイを有し、該アレイが複数の検知要素を含んでおり、情景内で複数の平行な間隔を有するセグメントから反射された放射を検知するとともに、上記検知された放射波に応じて、上記情景の領域までの距離に応答する信号を発生させる検知器と、間隔を有する複数のセグメントの少なくともいくつかを含むとともに上記装置から被写体までの距離を示す強度分布を有する画像を形成するプロセッサと、を含み、複数の間隔を有するセグメントの各々が上記装置に関して距離限界を有しており、該距離限界が上記検知変調器により決定され、複数の間隔を有するセグメントの少なくとも一つが少なくとも一つの他の間隔を有するセグメントの限界と異なる距離限界を有している。 （もっと読む）

【課題】タイヤ作製用の型部材について、タイヤ表面に対応する面以外の部分も含む全体の形状精度を検査する。
【解決手段】計測によって取得された型部材３次元測定データと、型部材の３次元設計データとを比較することで、作製された型部材の形状の３次元設計データからのずれ量を導出するものであり、型部材は、タイヤ一周分のトレッド面形状をタイヤ周方向に沿って複数の部分に分割した部分形状の１つに対応し、比較の際、取得した型部材３次元測定データに応じて、型部材３次元測定データにおける測定データ基準点を設定し、測定データ基準点と設計データ基準点とを一致させて、３次元測定データと３次元設計データとのずれ量を導出する。 （もっと読む）

【課題】
照射レーザ光のみをガルバノミラーによって走査し反射光をそのまま受光器で受光する装置の場合でも、レーザ光の強度制御において制御に遅れが発生せず、又は外乱光の影響を受けにくく、測定精度の高いレーザ光照射測定装置を提供することにある。
【解決手段】
受光器の受光面から反射する受光面反射光を集光する集光レンズと、集光レンズにより集光された受光面反射光の受光量を検出するフォトセンサと、フォトセンサによって検出された受光量に応じてレーザ光照射器から対象物に照射されるレーザ光の光量を補正するレーザ光量補正手段とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】周期的なパターンを持つ対象物を撮影する場合、使用するカメラの分解能と対象物のパターン周期の値が近いと、撮影した画像にモアレが見られることがある。画像の不鮮明化をほとんど生じさせることなく、モアレを解消した画像を得る観察方法およびそのモアレを解消した画像を利用する観察装置や欠陥検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】周期的パターンを持つ対象物を撮像することによって周期的パターンの観察を行う観察方法であって、対象物からの入射光を、対象物のパターン周期の概ｎ＋１／２倍（ｎは整数、０を含む）だけシフトさせた半周期シフト画像を取得し、対象物からの入射光を、対象物のパターン周期の概ｍ倍（ｍは整数、０を含む）だけシフトさせた全周期シフト画像を取得し、前記半周期シフト画像と前記全周期シフト画像を重ね合わせた合成画像を観察することで、周期的パターンを持つ対象物を観察する観察方法。 （もっと読む）

【課題】従来の偏光感受光画像計測装置では、異なった偏光状態毎にそれぞれ断層画像を計測し、複数枚の断層画像を入手しなければならないという問題を解決することを目的とし、入射ビーム光の偏光状態を、ＥＯ変調器（偏光変調器）を用いて連続的に変調し、１回のＢスキャンによって、試料１７の偏光情報（複屈折分布）を計測する。
【解決手段】
光源２からの光を偏光子３で直線偏光し、この偏光をＥＯ変調器４によって、Ｂスキャンと同期して連続的に変調し、この連続変調ビームをガルバノ鏡１６で試料１７（被検体）のＢスキャンを行い、参照光と試料アーム７からの物体光の重畳したビームを分光器８の回折格子１９で分光し、そのスペクトル干渉成分のうち、垂直偏光成分と水平偏光成分を２つのラインＣＣＤカメラ２２、２３で同時に検出し、試料１７の偏光特性を表すジョーンズベクトルを得る。 （もっと読む）