【課題】斜入射干渉計及び斜入射干渉計の較正方法の改良に関する。
【解決手段】斜入射干渉計は、可干渉性の光束を参照光束と測定光束とに分割し、測定光束が被測定物に斜入射されかつ被測定物の被測定面で反射された測定光束を参照光束と合成して干渉光束を生じさせる。干渉光束を撮像した干渉縞画像からの干渉縞信号に基づき被測定面の形状を解析する解析処理装置とを備え、解析処理装置には被測定面として平坦面と平坦面に対して平行でかつ高さが異なりしかも高さが既知の段差面を有する較正用治具に基づき入射角絶対値を求める較正手段が設けられ、較正手段は高さを入力する入力手段と、平坦面と段差面とに基づく干渉縞画像から被測定面に対応する位相分布を算出する位相分布算出手段と、位相分布に基づいて平坦面と段差面との位相差を算出する位相差算出手段と、位相差に基づき入射角絶対値を算出する入射角算出手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、測定環境の明暗に依存することなくモニタ表示およびＦＯＶ表示をより良好に行うことができる三次元形状測定装置および該方法を提供する。
【解決手段】本発明における測定対象物の三次元形状を非接触で測定する三次元形状測定装置Ｄｉは、モニタ表示用の投光パターンを含む複数の投光パターンで光を投光する投光部１と、複数の投光パターンのうちの１つの投光パターンで光を投光するように投光部１の投光パターンを制御する投光制御部５１と、投光制御部５１が投光部１にモニタ表示用の投光パターンで光を投光させている場合に、撮像面に結像した光像を撮像する受光部２を備える。 （もっと読む）

【課題】ワークの側面のキズや汚れ等を検査することができる小型化された外観検査装置を提供する。
【解決手段】カメラで撮像された画像を処理することにより、ワークの外観を検査する外観検査装置であって、レンズを有するカメラと、回転中心軸１０２がカメラの光軸１０１と一致するように配置された円筒状のミラー１４とを備え、ミラー１４は、レンズの主点を交点とし、カメラの光軸１０１と所定の角度で交わる軸を中心軸（直線１０４）とする第１の二葉双曲面において、カメラの光軸１０１と第１の二葉双曲面の中心軸とを含む平面における第１の二葉双曲面の一方の双曲面の断面形状の一部を回転中心軸１０２周りに回転させることにより得られる形状の凸部を反射面とし、第１の二葉双曲面の他方の双曲面の焦点は、レンズの主点と同一位置にある。 （もっと読む）

【課題】複数の異なる波長間の波長差を、簡易な構成により測定して、複数の異なる波長によって定められる合成波長を正確に特定することで、高精度な測定を可能にした多波長干渉計を提供する。
【解決手段】異なる波長λ_１、λ_２（λ_１＞λ_２）の出射光を用いて多波長干渉計測を行う。波長観測用反射部材２０は、光路長ｌａだけ離間して配置された反射面２０Ａと２０Ｂとを備える。ビームスプリッタ１９で反射されて反射面２０Ａ及び２０Ｂでそれぞれ反射された光が撮像装置２１に達し、干渉縞を生じさせる。このような干渉縞画像を異なる波長λ_１、λ_２を用いてそれぞれ取得し、それぞれの干渉縞の位相を算出する。この算出された位相を用いて合成波長Λを算出する。 （もっと読む）

【課題】製造容易で広帯域な利得スペクトル幅を有する光半導体素子を提供する。
【解決手段】素子内における光の共振が抑制され、n-GaAs基板１１上に、少なくともInGaP下部クラッド層とInGaAs活性層が積層されている光半導体素子１０において、n-GaAs基板１１として面方位が(100)面から(111)Ｂ面方向に２度以上１０度以下の角度、たとえば３度傾斜しているn-GaAs基板を用いる。InGaP下部クラッド層のステップバンチングが形成され、InGaAs活性層の層厚にばらつきが生じる。 （もっと読む）

【課題】凹んだ部分に設けられた外径を測定可能な外径測定装置の実現。
【解決手段】光ビームを走査する光ビーム走査手段21と、走査面を通過した光ビームを集光して対応した電気信号を出力する受光手段23と、走査光ビームの途中に被測定物を配置した時の電気信号から被測定物の幅を算出する処理手段74と、を備える外径測定装置において、光軸が平行になるように対向して配置された２個の梯子型プリズム31,32と、２個の梯子型プリズム31,32を保持する保持ブロック33と、を備える走査面移動素子を備え、２個の梯子型プリズムの間の光ビームが走査される空間で、保持ブロックにより一方が限定される空間に、被測定物が配置される。 （もっと読む）

【課題】撮像領域内に局所的に高輝度又は低輝度の部位が存在しても、画像全体として鮮明な２次元画像及び３次元画像を撮像できる共焦点顕微鏡を実現する。
【解決手段】本発明による共焦点顕微鏡は、フレーム画像信号を高ゲイン及び低ゲインで交互に増幅する増幅手段（３２，３３）と、一連の高ゲイン増幅画像及び低ゲイン増幅画像から全焦点画像をそれぞれ形成する手段（３６，３７，３８，３９）を有する。２つの全焦点画像から適正輝度範囲の画素を抽出して画素合成を行う（４３）。増幅手段のゲイン情報と画素合成手段（４３）からの出力信号とに基づいて、増幅率補正された全焦点画像を形成し（４４）、増幅補正された全焦点画像についてγ補正等の輝度補正を行い（４５）、全ての画素が適正輝度範囲内の２次元画像情報を出力する。 （もっと読む）

【課題】偏波依存性が抑制され、出力が時間的に安定した光を射出する光半導体素子を実現する。
【解決手段】光半導体素子１０は、発光中心波長が0.9μm以上1.2μm以下の光を射出可能な光半導体素子であり、In_xGa_1-xAs基板(X≠1)１１と、引張り歪量子井戸活性層１５とを備えている。光半導体素子は一般的にTEモードに対する利得を有している。光半導体素子１０は、引張り歪を導入することでTMモードでの利得を大きくすることができ、このためTEモードとTMモードに対する光利得のバランスがとれる。 （もっと読む）

【課題】歪みゲージの配線を不要とし、且つ従来の光学的手法により、従来技術より遙かに高精度に歪みを測定でき、また特定の方向の歪みにのみ感度を有するようにしたことで歪みの方向が特定できることを可能にする光学的歪測定素子および光学的歪測定装置などを提供すること。
【解決手段】入射光の波長以下の大きさの金属微小体を複数用いて前記金属微小体の大きさよりも小さい間隔で並べた金属微小構造体が配列された光学式歪測定素子。 （もっと読む）

【課題】参照光と検査対象物で反射され周波数変調された信号光との干渉縞を安定化することが可能な干渉縞安定化装置、および検査対象物の内部欠陥の検出精度の向上が可能な非破壊検査装置を提供する。
【解決手段】非破壊検査装置は、検出用レーザ１１と、弾性波励起用レーザ２１と、信号光と参照光とを干渉させ検査対象物Ｏｂの振動を検出する振動検出手段３０と、干渉縞安定化装置４０とを備える。干渉縞安定化装置４０は、信号光から分岐された補正用信号光と参照光から分岐された補正用参照光との干渉縞を検出する干渉縞検出手段４１と、補正用参照光を分岐する前の参照光の光路上に配設され参照光の波面を制御する波面制御用ミラー４２と、干渉縞検出手段４１により検出される干渉縞の安定状態からの位相シフトを抑制するように波面制御用ミラー４２の位置を制御する制御手段４３とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検物の３次元形状を精度よく測定することが出来る形状測定装置を提供すること。
【解決手段】被検物Ｍに測定光を照射して該被検物からの反射光を検出することで前記被検物の形状を測定する形状測定装置１０であって、前記測定光を前記被検物Ｍ上に走査させる走査部材（ポリゴンミラー１４）と、前記走査部材によって走査される前記測定光の走査方向に沿って延びる開口１５ａが形成され、前記測定光の光束の大きさを制限する測定光側スリット部材（第１の制限スリット１５）と、前記測定光側スリット部材の開口の長手方向に対して垂直な方向における前記測定光の強度分布の変化を小さくする光学部材（変形プリズム１６）と、前記被検物からの反射光が入射し、前記測定光の前記被検物上での像を検出する撮影手段１７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】姿勢が変化し得る状態で保持されたシート状の被検体において、被検層の厚みや厚みムラを測定することが可能な厚み測定用光干渉測定装置を得る。
【解決手段】光源１１からの出力光を、発散レンズ１２およびコリメータレンズ１４を介し平行光からなる測定光として被検体５に照射するとともに、被検体５を透過した光束を、収束レンズ１６および撮像レンズ１７を介し撮像カメラ１８に取り込む。この撮像カメラ１８は、被検体５の被検層を透過した光束のうち、該被検層に対し互いに略同一の位置を通過しつつ、該被検層の両面での反射回数の違いにより互いの光路長が該被検層の厚みの光学距離の２倍だけ異なる光束同士の光干渉によって得られる干渉縞を撮像する。この干渉縞に基づき、被検層の厚みや厚みムラを測定する。 （もっと読む）

光学測定装置は光学系（１００）を含む。光学系（１００）は、放射源（１０２）と、撮像装置（１１２）とを含む。放射源（１０２）は、使用時に電磁放射のビームを生成するように構成される。更に光学系（１００）は、電磁放射のビームを測定部位（１３２）に入射するように構成される。光学測定装置は、測定部位から反射ビームを受光し且つ反射ビームの受光に応答して光学系との測定部位の位置合わせの程度を示すフィードバック情報を提供するように構成されるフィードバック構成（４００、６０２、６０４）を更に含む。
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【課題】 透明フィルム上の突起、窪み、折れなどの平面異常による不良を高速に検査するにあたり、反射率や透過率から検査する方式の表面検査装置では平面異常だけを選択的に検出することは非常に困難であった。またレーザ光を使った凹凸測定による検出方法では表裏の反射光を分別できず正確な測定ができなかった。
【解決手段】光源より出射された光を、前記平面に対してライン状に走査する光走査手段と、該走査光による該平面および平面異常部からの透過光を受光する反射光位置検知手段と、該検知手段からの検知信号により該平面異常部の角度を算出して平面異常の検査を行う角度検査測定部と、を有する光走査式平面検査装置とした。 （もっと読む）

【課題】横分解能が極めて高く、高精細、高コントラストの干渉波形が得られるレーザ走査干渉計を提供する。
【解決手段】レーザ光源１２からのレーザ光をコリメータレンズ１３で平行レーザ光束Ｂとし、走査ミラー１５で走査光Ｂ１〜Ｂ３に変換し、テレセントリックｆθレンズ１６を通して参照面１７ａ及び被観察面１８ａに照射する。参照面１７ａ及び被観察面１８ａからの反射光は、テレセントリックｆθレンズ１６で反射平行光束Ｂｒとなり、走査ミラー１５で反射し、ビームスプリッタ１４を通過して結像レンズ２０で集光され、ピンホール２１ａを通過して受光素子２２に入射する。受光素子２２で反射平行光束Ｂｒの光量を計測して演算手段を含む制御部２３に送信し、制御部２３で受光素子２２から得た光量信号を時系列データとして取得し、データ処理を行って表示手段２４に明暗データからなる干渉波形を出力する。 （もっと読む）

【課題】被検体の３次元形状を正確に計測することで、被検体上の傷の大きさおよび位置を高精度に検出できる蛍光探傷方法と装置を提供する。
【解決手段】蛍光剤又は蛍光磁粉を表面に浸透又は吸着させた被検体１を所定の検査位置に配置する配置ステップＳ１と、暗室内で、蛍光剤又は蛍光磁粉を蛍光発光させるための蛍光探傷用の電磁波を、検査位置の被検体１に照射して被検体１を撮影し、蛍光静止画像５を取得する蛍光静止画像撮影ステップＳ２と、検査位置の被検体を３次元位置計測し、被検体表面の３次元座標点群８を取得する３次元位置計測ステップＳ３と、（Ａ）蛍光静止画像３を画像処理して、蛍光部分に相当する蛍光部画像を抽出すると共に、（Ｂ）３次元座標点群８をデータ処理して、３次元形状情報を作成し、（Ｃ）蛍光部画像と３次元形状情報とを関連付けた蛍光探傷用データを得るデータ処理ステップＳ４、Ｓ７と、を有する。 （もっと読む）

【課題】
位相シフト光干渉を用いて対象物の変位を測定する際、４つの位相シフト光路の生成に３つのビームスプリッタを用いていたため、干渉計が大きくなり、適用対象が限られていた。また、位相シフト光路間に温度分布、湿度分布、気圧分布、密度分布、気流変化などの外乱が重畳されると測定誤差となってしまうという本質的な問題を抱えていた。
【解決手段】
４つの位相シフト光路を、４分割プリズムとアレイ状に配置したフォトニック結晶λ/４素子及びフォトニック結晶偏光素子とを組み合わせて空間的に並列生成する構成とすることにより、小形の光干渉変位センサを構築し、適用対象を拡大すると共に外乱の影響を受けることなく、対象物の微小変位や表面凹凸をサブナノメートル以下の分解能でかつ高い再現性で測定する。 （もっと読む）

【課題】陸上に三次元センサを設置し、海面上の物体を検知・計測する場合に、基準平面を自動で補正でき、三次元センサをそれぞれ別の位置に設置し、複数の三次元センサを併用する場合に、各センサの座標系を共通のグローバル座標系に自動で調整できる三次元センサのデータ補正装置及び方法を提供する。
【解決手段】緯度・経度取得手段２２、日時取得手段２４、潮位計算手段２６、および三次元座標補正手段２８を備え、潮位計算手段２６で算出した潮位を用いて三次元センサ１０の座標データを補正する。また方位取得手段３２、および三次元座標基準設定手段３４を備え、緯度・経度、方位、水準面からの高さ、水準面からの傾き量（ピッチ、ロール）が把握できるため、グローバル座標系自身の三次元座標の基準を、グローバル座標系に合うよう自動設定する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で共焦点レーザ走査型顕微鏡によって取得される表面光学像情報と顕微干渉計測法によって取得される高さ情報を関連付けて管理し、広い倍率範囲に渡って高精細、高分解能な試料の３次元形状を容易に取得し、効率的にこの３次元形状を測定、表示する３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】共焦点レーザ走査型顕微鏡の光学系４００ａと、顕微干渉計測法の光学系４００ｂを組み合わせ、光学系４００ａから表面光学像情報（全焦点画像８１）を取得する際の視野と光学系４００ｂから高さ情報（高さ画像８２）を取得する際の視野を、光学系４００ａと光学系４００ｂの両方に用いられる対物レンズ３１によって同一にし、全焦点画像８１と高さ画像８２を関連付け、試料１７の３次元空間座標を管理する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、死角領域をできるだけ少なくした対象物体全体の３次元形状データを得ることができる３次元形状復元処理装置及び方法並びにプログラムを提供することを目的とするものである。
【解決手段】対象物体Ｓに対して反射ミラー２４及び２５を介して撮像素子Ｄにより撮影を行う。反射ミラー２５を光軸Ａを中心とする円周Ｃ上に周回移動させて異なる角度位置から撮影を行い、各角度位置において焦点距離を変化させて撮影した複数の撮影画像の合焦領域に基づいて各角度位置の立体形状データを生成する。そして、立体形状データの死角領域を除去する編集処理を行った後、編集形状データを共通座標系に変換処理して統合することで死角領域の少ない３次元形状データを復元することができる。 （もっと読む）