【課題】白色干渉法を用いた非接触測定器において、長さが１メートル以上あるくびれ形状を持つような細い管内の内面形状をミクロンオーダの高精度で計測できる測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】白色光源３を参照光と測定光に分割して参照光を参照光路長スキャナ部７に送り測定光をセンサー部８に送る光カプラ４と、参照光路長スキャナ部から返った参照光とセンサー部から返った測定光の白色干渉を検出する光検出器５とからなり、測定対象の細管内に通した透明管内でセンサー部を移動させることで、透明管を透過する測定光により非接触で前記細管の内面形状を測定することを特徴とする白色干渉法による管内面の形状測定装置１の構成とした。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、測定対象物と当該測定対象物のモデルとの位置および／又は姿勢を比較する際の計算機による計算時間を短縮することを目的とする。
【解決手段】 本発明の情報処理装置は、測定対象物と当該測定対象物のモデルとの位置および／又は姿勢を合わせるための情報処理装置であって、前記測定対象物の撮像画像を取得する取得手段と、前記撮像画像に基づき、前記測定対象物の表面形状を示す情報を算出する算出手段と、前記表面形状を示す情報に基づき、前記モデルの位置および／又は姿勢を制限する制限手段とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高解像度で撮像することが必要な部分だけ他の部分よりも分解能を上げることによって、撮像時間の短縮化を図り、効率的な断層画像の取得が可能となるＯＣＴによる断層画像の形成方法を提供する。
【解決手段】被検査物の断層画像を形成するＯＣＴによる断層画像の形成方法であって、
前記被検査物に対する撮像に際し、高解像度で撮像することが必要な部分に対して、その必要性に応じて他の部分よりも高い解像度で撮像する工程を有し、
前記高解像度で撮像することが必要な部分を撮像するときには、前記光源からの光によるビームのスポット径を前記他の部分を撮像するときよりも小さいスポット径に設定し、
深さ方向に対して、前記他の部分を撮像するときよりも多い撮像回数で撮像する構成とする。 （もっと読む）

【課題】平面状の大型被検面の形状および平行平板状の被検体の２つの被検面の形状を短時間で高精度に測定できるようにする。
【解決手段】被検面８０を回転軸Ｒ回りに回転可能に構成するとともに、干渉計本体部１を被検面８０に対し移動可能に構成し、回転する被検面８０上を被観察領域が移動するようにする。被観察領域が前記被検面内を移動する間に、干渉光を１次元イメージセンサにより順次取り込み、該干渉光により形成される直帯状の観察位置別干渉縞を順次撮像し、撮像された各々の前記観察位置別干渉縞に基づき、被検面８０の形状情報を求める。 （もっと読む）

【課題】被測定物の場所によって面の反射状態が異なる場合にも反射光を受光して面の位置が測定できる方法を提供する。
【解決手段】被測定物の形状を測定する形状測定方法にかかわる。投光器から被測定物に光を照射し、被測定物から反射される反射光を受光器が受光するときの光の輝度を推定した受光推定輝度を演算するステップＳ１の受光輝度推定工程と、被測定物に光を照射し、光が照射された場所を検出するステップＳ１１の照射場所検出工程と、被測定物に光を照射する場所を移動するステップＳ３の移動工程と、を有し、ステップＳ１１の照射場所検出工程は、受光器が受光する光の輝度に応じた信号を出力し、前記信号を用いて光が照射された場所を検出するステップＳ５の光検出工程と、受光推定輝度を用いて、受光器が受光する光の輝度を調整するステップＳ４の受光調整工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】外乱振動や空気の揺らぎがある場合であっても、高い測定精度で被測定物の形状測定を可能にする形状測定方法及び装置等を提供する。
【解決手段】光源１から出射した可干渉光束１１を分岐して被測定物７と参照鏡８とに照射する分岐装置６と、被測定物７と参照鏡８との間に相対運動を生じさせる駆動装置２０と、被測定物７で反射した物体光１２と参照鏡８で反射した参照光１３とを重ね合わせて干渉縞を形成する重畳装置６と、前記干渉縞を連続的に撮像して連続撮像データを得る撮像装置１０と、前記連続撮像データから被測定物７の３次元形状を計算する計算装置２１とを有する。計算装置２１は、相対運動によって物体光１２と参照光１３の周波数がドップラー効果により変調することにより両光の周波数差のスペクトルから位相シフトスペクトルを得て、位相シフトスペクトルと連続撮像データとから被測定物７の３次元形状を計算する。 （もっと読む）

【課題】被検査物の移動により生じる取得画像の、ＸＹＺ座標におけるＺ方向に当たる眼底の深さ方向の変形または変位を低減するために、撮像中における被検査物の移動量を検出する光断層画像撮像装置等を提供する。
【解決手段】被検査物の断層画像を撮像するＯＣＴシステムを備えた光断層画像撮像装置であって、
複数のビームからなる光をＸＹ座標で走査する単一の走査手段と、
前記走査手段により走査される走査角の設定によって、ＸＹ座標で高速に走査する軸方向である、主走査方向に空間分割されると共に該空間分割された境界部分で重なり合う領域を持つように、被検査物に照射する手段と、
前記空間分割された境界部分で重なり合う領域の断層像の、ＸＹＺ座標におけるＺ方向に当たる深さ方向の位置差を求める手段と、
前記求められた前記空間分割された境界部分で重なり合う領域の断層像の深さ方向の位置差から、被検査物の移動量を算出する手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】
装置高さが低くかつ小型化が可能なトロリ線摩耗量検出光学系およびトロリ線摩耗量測定装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、レール横断方向に配列された単色光光源複数個によりスリット状の投光光を生成してトロリ線の摺動面に照射する投光ユニットと、第１の受光器、単色光の波長範囲を除去するフィルタを介してトロリ線からの反射光を受ける第２の受光器とを設け、２つの受光器の受光信号の差により摺動面についての検出信号を得るものである。 （もっと読む）

【課題】
装置高さが低くかつ小型化が可能なトロリ線摩耗量検出光学系およびトロリ線摩耗量測定装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、レール横断方向に配列された単色光光源複数個によりスリット状の投光光を生成してトロリ線の摺動面に照射する投光ユニットを設け、投光ユニットを所定の周期でパルス駆動することで投光光をパルス状の光としてトロリ線の摺動面に照射する。そして、投光光が照射されたときとそうでないときのトロリ線からの反射光をの受光信号の差により摺動面についての検出信号を得る。 （もっと読む）

【課題】校正を完全に自動化して費用効率を向上すると共により精密に行う方法および装置を提供すること。
【解決手段】三次元物体の製造装置の照射装置の校正方法および校正装置に関する。校正には、イメージ変換プレート（１２）を製造装置の作業面（６）に、または作業面（６）と平行に配設し、照射装置がイメージ変換プレート（１２）の所定の位置にエネルギー放射線（８’）を照射した時に、イメージ変換プレート（１２）が検出可能な光（１３）を出射するステップと、照射装置によりイメージ変換プレート（１２）を走査するステップと、検出可能な光（１３）を光検出器（１５）により検出するステップと、検出可能な光（１３）が検出されると照射装置（７、９）の座標を決定するステップと、決定された座標と所定の基準座標を比較するステップと、座標間の偏差に基づいて照射装置（７、９）を校正するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】 受光素子の受光面上における干渉光の位置ずれに基づく撮影画像の画質の低下を抑え、従来の調整機構では解消できなかったレベルでの感度調整を行うことができ、好適で信頼度の高い断層画像や光学表面プロファイルを得ることのできる眼科撮影装置を提供する。
【解決手段】 キャリブレーション用の光束を分光光学系に導光する導光手段と、キャリブレーション用の光束を干渉させるための光学部材と、キャリブレーション用の光束を受光手段に受光させることによって得られる分光情報に基づいて導光手段からのキャリブレーション用の光束の出射位置と受光手段との相対的な位置関係を調整する調整手段と、調整手段によって相対的な位置関係が調整された後の受光手段にて得られる干渉されたキャリブレーション用の光束の分光情報に基づいて，受光手段の各画素に対する各波長成分の分布状態を補正するための補正情報を演算により求める演算手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】干渉光学系を用いた表面形状測定方法および装置において、複数の干渉縞画像を撮像し、測定対象の表面形状を正確に計測できる表面形状測定方法および測定装置を提供する。
【解決手段】光の進行方向に対して異なる角度の参照面による複数の干渉縞画像を取得する第１の過程と、前記複数の各干渉縞画像の同一座標における干渉縞振幅を比較し、その最も大きな干渉縞振幅を持つ干渉縞画像から得られる高さを実高さとする第２の過程とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

レーザスキャナ１０を用いて環境を光学的に走査および測定する方法であって、レーザスキャナ１０が、中心Ｃ₁₀を有し、走査を行うために、光ビーム１８、２０を用いてその環境を光学的に走査および測定し、制御および評価ユニットを用いてその環境を評価し、中心Ｃ₃₃を有するカラーカメラ３３が、走査ｓとリンクさせなければならない環境の着色画像ｉ₀を取り込み、カラーカメラ３３が接続されたレーザスキャナ１０の制御および評価ユニット２２が、共通の基準表面上への着色画像ｉ₀の投影ｉ₁および走査ｓの投影が最善の可能な形で互いと適合するまで、各着色画像ｉ₀に対して繰り返しカラーカメラ３３を仮想的に動かすことによって、そしてカラーカメラ３３のこの新しい仮想位置および／または向きに対して着色画像ｉ₀の少なくとも一部を変形することによって、走査ｓと着色画像ｉ₀をリンクさせ、中心Ｃ₁₀に対するカラーカメラ３３の中心Ｃ₃₃および／もしくは向き、ならびに／またはレーザスキャナ１０の向きの偏差を補正する方法が提供される。
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【課題】生産性を低下させることなく、精度の向上した電子写真感光体の検査方法を提供する。
【解決手段】光学検査第一工程で、電子写真感光体に白色の光を照射し、その反射光を測定し測定された電流値に基づいて、感光体の被疑欠陥の有無を判定し、電気検査第一工程で、感光体表面に導電性ローラを圧接して感光体を回転させながら直流電圧を印加し、導電性ローラから感光体へ流れる電流を測定し、測定された電流値に基づいて、感光体の欠陥の有無を判定する。検査した感光体のうち、光学検査第一工程で被疑欠陥が検出され電気検査第一工程で欠陥が検出されなかった感光体のみに対して、レーザー光を照射し、その光の反射光を測定し、測定された電流値に基づいて、感光体の被疑欠陥の有無を判定する光学検査第二工程を実施する。 （もっと読む）

【課題】種々の状況でピークレベルを適正に調整することが可能な光学式変位計を提供する。
【解決手段】第１の制御モードでは、光の走査の各往路および各復路において、ピークレベルが不適正になる毎にカウンタの値がインクリメントされる。すなわち、光の走査の往路および復路毎に、ピークレベルが不適正になる回数が記憶される。そして、１つの往路または復路においてピークレベルが不適正になる回数が一定回数以上になると、第２の制御モードに切り替えられる。 （もっと読む）

【課題】欠陥散乱光の偏光特性に依存されずに欠陥像を顕在化する空間フィルタリング技術と正常パターンの明るさ飽和を抑制して欠陥捕捉率を向上する欠陥検査方法とその欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検出光路を偏光分岐して少なくても一つ以上の光路にてアレイ状の空間フィルタを配置し、正常パターンからの回折光や散乱光をフィルタリングすることを特徴とする。また、正常パターンの散乱光量に応じて照明光量或いは／及び検出効率を画像検出中に制御することにより明るさの飽和を抑制した画像を得る。 （もっと読む）

【課題】層構造を有する計測対象の複数の特定構造要素を適切に抽出すると共に、該特定構造要素毎の領域を検出する。
【解決手段】処理部２２は、光立体構造像生成部２２０、形状格納部２２１、閾値格納部２２２、断面画像抽出部２２３、特定要素抽出部２２４、特定要素分布算出部２２５、分布境界ライン抽出部２２６、欠落領域抽出部２２７、欠落領域特定要素抽出部２２８、欠落領域特定要素分布算出部２２９、欠落領域分布境界ライン抽出部２３０、合成画像生成部２３１、表示制御部２３６、Ｉ／Ｆ部２３７とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】
光ビームの位相シフトを高速に行う方法及び装置について記述する。
【解決手段】
異なる光学的厚さを持った複数の領域を備える透明プレートを、当該領域に延びる入射経路に沿って移動する前記光ビームにより照明する。前記透明プレートを移動させるか、又は前記光ビームを偏向させることにより、入射経路を生成する。前記透明プレートを出射する前記光ビームは、当該光ビームが入射した領域に応じた瞬間位相値を持つ。好ましくは、前記位相値は、再現性があり、対応する領域内における光ビームの入射位置にかかわらず安定しており、かつ、高速な変調速度で位相変化を発生させることができる。本方法及び装置は、干渉縞投影システムなどにおいて、一対のコヒーレント光ビームの位相差を変調するのに用いることができる。 （もっと読む）

干渉計システムは、２つの間隔を空けて配置された参照フラットを含み得る。前記２つの間隔を空けて配置された参照フラットは、２つの平行参照表面間に光キャビティを形成する。第１のおよび第２の基板表面が対応する第１の参照表面および第２の参照表面に実質的に平行な様態で、前記第１のまたは第２の基板表面の間の空間が前記参照表面または減衰表面のうち対応するものから３ミリメートル以下の位置に来るように、前記基板を前記キャビティ内に配置するように基板ホルダが構成され得る。前記キャビティの直径方向において対向する両側においてかつ前記キャビティ光学的に結合して、干渉計デバイスが設けられ得る。
（もっと読む）

【課題】レンズの外形中心に対する光学面中心の偏芯情報が迅速かつ高精度で取得できるレンズ偏芯測定方法と、光学面中心の偏芯による影響を低減でき、所望の光学性能を達成できるレンズ組立方法を提供する
【解決手段】レンズ偏芯測定方法は、干渉計を用いてレンズの干渉縞情報を取得し、該情報に基づいてレンズの光学面中心を求めるステップと、レンズの外形中心を検出するステップと、得られた外形中心を基準として、光学面中心の偏芯情報（例えば、偏心量および偏心方向）を算出するステップとを含む。 （もっと読む）