【課題】照明光の連続性を確保し、被測定物の視認性や人の作業効率に影響を与えることなく、高精度かつ確実に被測定物の３次元形状を導出する。
【解決手段】３次元形状測定装置１１０は、被測定物１０２に特定色の光を投射する投光源１５０と、被測定物で反射された反射光のうち特定色の反射光を受光し投影像を形成する受光素子１６０と、２値化された制御信号を生成する信号生成部１７０と、被測定物に照明光を照射する複数の照明装置１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃのうち特定色を含む照明光を照射する照明装置１２０ａを、制御信号が第１状態を示す間消灯する照明制御部１６２と、制御信号が第１状態を示す間に、受光素子に投影像を形成させる投影像形成制御部１７２と、受光素子で形成された投影像に基づいて被測定物の３次元形状を導出する３次元形状導出部１７６とを備える。 （もっと読む）

【課題】位相シフト法で測定する装置で格子縞の位置調整が容易に行えるようにする。
【解決手段】格子縞スリットを、平行な縞の配置間隔に相当する距離と、その配置間隔に相当する距離に所定の値を加算させた距離又は減算させた距離だけ、駆動部で原点位置から移動させる。そして、それぞれの移動位置で撮影した複数枚の格子縞の画像と、原点位置で撮影した格子縞の画像とを比較し、その比較結果に基づいて、格子縞スリットを格子縞の１配置間隔分だけ駆動させるのに必要な駆動信号の駆動量を判断する。その判断に基づいて、被測定物の立体形状を測定するのに必要な駆動信号の駆動量を設定する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の検査方法を提供すること。
【解決手段】基板に装着された素子の検査方法において、素子に対応する形状テンプレートを生成する段階と、照明部の格子パターン光を基板に照射してピクセル別高さ情報を獲得する段階と、ピクセル別高さ情報に対応してコントラストマップを生成する段階と、コントラストマップと形状テンプレートとを比較する段階と、を含む。本発明によると、測定対象物を正確に抽出することができる。 （もっと読む）

【課題】少なくとも一部において、遮光性を得ながら反射ノイズ低減効果を高めることができる光学素子を提供する。
【解決手段】光学素子は、多数の微小突起ＣＰ１を含む第１の微細凹凸構造ＭＲ１が一方の面に形成された基板１１と、第１の微細凹凸構造ＭＲ１を覆う金属層１２と、金属層１２の基板１１とは反対側に形成されたシリコン又は樹脂からなる膜１３であって、多数の微小突起ＣＰ２を含む第２の微細凹凸構造ＭＲ２を持つ膜１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 干渉光学系以外の光学系における観察光学系によって、干渉光学系と干渉光学系以外の光学系におけるサンプルの高さ情報の取得範囲を設定でき、サンプルの３次元形状画像を短時間に容易に取得することができる３次元形状観察装置を提供する。
【解決手段】 フィルタ切換機構１９は、バンドパスフィルタ２１を光軸上に配置し、第１の撮像素子１６は、可視光による光学顕微鏡観察像を撮像し、制御本体部５１は、光学顕微鏡観察画像を用いてサンプル１７の観察位置の調整と、フォーカス位置の調整と、干渉光学系と光学顕微鏡光学系の両方の高さ情報の取得範囲（取得範囲Ｄ１，Ｄ２）を設定する。 （もっと読む）

【課題】自動車の停止時にバッテリーの電力消費を抑制しつつ、自動車の運転開始直後からステアリングホイールの舵角を正確に検出できるようにする。
【解決手段】ステアリングホイールの舵角を検知する舵角センサ８と、この舵角センサ８を所定周期で監視してステアリングホイールの舵角が変化したか否かを判別する舵角操作監視手段２４と、自動車の走行駆動装置を作動または停止させる始動スイッチ（ＩＧスイッチ）の出力信号に応じて上記走行駆動装置が停止状態にあることが検知された場合に、上記舵角操作監視手段２４による舵角センサ８の監視周期を通常時に比べて長い値に変更する監視周期変更手段２５とを設けた。 （もっと読む）

【課題】 薄膜干渉を起こした場合でも、レジスト膜の膜厚やマスク基板とガラス基板との間隔等の種々の部材の間隔を測定する。
【解決手段】 相互に異なる発振波長を有する第１のレーザー光源１０Ａから射出する第１のレーザー光ＬＡと第２のレーザー光源１０Ｂから射出する第２のレーザー光ＬＢとをダイクロイックミラー３により合流して、レジスト膜５に斜方から入射させる。レジスト膜５の表面で反射したレジスト膜表面反射光Ｌ１と裏面で反射したレジスト膜裏面反射光Ｌ３とに含まれる２つの波長成分のうち、１つの波長成分が薄膜干渉を起こしたとしても、他方の波長成分の光は光検出器２２によって検出される。光検出器２２で検出された受光位置Ｐ１とＰ３との間隔ＤＲに基づいてレジスト膜５の膜厚を測定する。 （もっと読む）

【解決課題】
半導体装置の線幅の縮小に伴って、投影光学系のベストフォーカス位置の測定をより高精度に行う必要がある。また、非点隔差の測定も同様である。
【解決手段】
ライン・アンド・スペースパターンの空間像を投影光学系を介し形成し、この像の光強度分布を開口スリット等により走査して電気信号パターンに変換する。この電気信号パターンを光軸上の複数の位置において測定し、得られた電気信号パターンをフーリエ級数展開して３次の係数を求める。３次の係数の大きさを光軸上の位置の関数として曲線近似して求め、その最大値をとる位置を求める。
（もっと読む）

【課題】 光軸方向の結像位置ずれに関わる分布情報を簡易的に得る。
【解決手段】 凸状または凹状のパターンの内マーク１Ａと、前記内マークと同一面上に前記内マークに対して対称かつ異なる間隔で形成された複数の凸状または凹状の外マーク１Ｂ〜１Ｄとを有する基板を結像光学系の物体面に配置し、前記基板を前記マークの中心の周りに前記結像光学系の光軸に垂直な面内で反転させる前後で、該内マークと該外マークの各段差位置との位置ずれ量を計測して、前記反転前後の位置ずれ量の平均値を算出する第１工程と、前記外マークのうち前記内マークに向かって立ち上がる各段差で計測された位置ずれ量の前記平均値の前記基板面での分布状態と、前記外マークのうち前記内マークに向かって立ち下がる各段差で計測された位置ずれ量の前記平均値の前記基板面での分布状態と、に基づいて、前記結像光学系の収差情報を生成する第２工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】
試料セルを用いずに微量な試料の吸光度測定を行なうことのできる分光光度計を提供する。
【解決手段】
測定光を発生させる光源２と、試料４を試料を液滴状で保持する試料保持板６と、試料４からの透過光を検出する検出部８と、試料保持板６に保持されている試料４を撮像するための撮像部１０と、撮像部１０で得た試料画像から測定光の光路長を算出し、その光路長と検出部８で得た検出データに基づいて吸光度を算出する演算処理部１２と、演算処理部１２で得られた演算処理結果を表示するための表示部１４とが設けられている。
（もっと読む）

【課題】高い検出精度を有する周期性パターンのムラ検査方法を提供する。
【解決手段】塗工層または描画面を撮像した画像データに対して、注目画素（Ｘ，Ｙ）について、αを１からｎ１、βを１からｎ２までの自然数とし、注目画素の周辺画素（Ｘ＋α，Ｙ＋β）の輝度情報の階調値を輝度値としたときに、該周辺画素（Ｘ＋α，Ｙ＋β）の輝度値をそれぞれ足し合わせた加算値から注目画素の周辺画素（Ｘ−α，Ｙ−β）の輝度値をそれぞれ足し合わせた加算値をそれぞれ引いた減算値を注目画素の値と置き換えた構成の周辺強調フィルタを用いてコンボリューション演算を行い、画像データを修正画像データとする工程（ａ）と、修正画像データにある一定値を加算し、該加算値を注目画素の新たな画像データとする工程（ｂ）と、工程（ａ），（ｂ）で撮像した画像データの画素全てに対して順次行う工程（ｃ）とを有する。 （もっと読む）

【課題】 被測定物に対して斜めから測定波を照射し被測定物から反射される反射波の回折角から被測定物のひずみを測定するひずみ測定方法において測定精度を向上する。
【解決手段】 本発明のひずみ測定装置は、被測定物２４に所定の光束の測定波を照射する照射手段１０と、被測定物２４によって反射された反射波を検出する検出手段２０と、検出手段２０で検出される反射波を、被測定物２４中及び／又はその近傍に設定される測定領域から反射される反射波に制限する制限手段１６，１８と、検出手段２０で得られた検出結果を、前記測定領域とその測定領域内に存在する被測定物との幾何学的関係から補正する第１補正手段と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】３次元干渉縞投影方法を改良する。
【解決手段】本発明の一態様による、物体（１２）の形状を測定するシステム（１０）が提供される。このシステムは、基準マークを有する干渉縞パターン（１８）を物体（１２）上に投影するように動作可能な投影システム（１４）を備える。このシステムはさらに、物体（１２）によって変調された干渉縞パターンの画像（２０）を取得するように動作可能な画像処理システム（２６）を備える。画像処理システム（２６）はさらに、干渉縞パターンの画像内の基準マークを同定するように動作可能であり、この基準マークに基づき物体（１２）の形状を構築する。 （もっと読む）

【課題】移動体のＸ軸、Ｙ軸回りの回転角がともに零（所定値）となる状態を再現する。
【解決手段】ステージ（テーブル）と第２防振機構とが初期位置に調整された状態で、干渉計システムがテーブルの位置情報を計測する測長ビームの光路上に、それぞれ工具プリズムを挿入し（ステップ４０８）、該工具プリズムを介してテーブルのＸ軸回り、Ｙ軸回りの回転角をそれぞれ計測し、それらの回転角がともに零（又は所定値）となるように、ステージベースと一体的にステージの姿勢を変更して、その際の第２防振機構の姿勢を該第２防振機構のリセット姿勢とする（ステップ４１０）。その状態で、各工具プリズムを前記光路上から各々外した後、干渉計システムによって計測される絶対位相に基づいてＸ軸、Ｙ軸それぞれの回りの回転方向の絶対角度を算出して保存する（ステップ４１２、４１４）。 （もっと読む）

【課題】本発明は、クロストークの低減された高精度な距離情報を取得可能にする距離情報入力装置を提供する。
【解決手段】本発明の一態様によると、輝度変調光源によって輝度変調された光が照射された前記対象物からの反射光を受光し、光電変換を行うと共に、前記輝度変調光源と同期して感度変調可能な受光素子を備えた距離情報入力装置において、前記受光素子は、光電変換部と、二つの電荷蓄積部と、二つの電荷振り分けゲートと、二つの電荷検出部と、二つの電荷転送部とを有し、前記受光素子のリセット動作と前記電荷蓄積部に蓄積された電荷を読み出す読み出し動作との間に、前記電荷振り分けゲートをオフして前記電荷蓄積部のポテンシャルを上げることによって飽和電荷量以上の余剰電子を排出する動作を少なくとも一回行なうことを特徴とする距離情報入力装置が提供される。 （もっと読む）