【課題】安価、高精度、かつ高スループットに、物体を搬送して受け渡すことができる搬送方法を提供する。
【解決手段】プリアライメント装置４５では、マーク５０Ｍの位置情報と、ウエハＷの位置情報とを非同時に検出する。このようにすれば、マーク５０Ｍの位置情報を検出する検出系と、ウエハＷの位置情報を検出する検出系との少なくとも一部を共通化することができるようになるため、その分だけ、装置コスト及び発熱量を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】外周面に凹凸のある検出体であっても、確実に異物などの欠陥を自動的に検出することができる欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】検出体1における表面検出点6を含む水平面7に対して所定の角度で検出点に光を照射する光源2と、検出体1の検出点6の状態が正常であるときには、検出点で反射した正反射成分は受光せず、検出点に欠陥があるときには、その欠陥部分に当たって反射した正反射成分を受光する位置に配置される光センサ3と、光センサ3が受光した光で画像を生成して処理する画像処理装置5とを備える。画像処理装置5は、光センサ3で受光した光に基づいて検出体1の検出面画像を生成する画像生成部53と、この検出面画像から欠陥の特徴量を抽出して、欠陥の有無を判断する判断部（二値化処理部54と判定部55）とを備える。 （もっと読む）

【課題】プリント基板上の実装部品の半田接合状態を高精度に検査可能な実装基板検査装置を提供する。
【解決手段】検査基板上の検査対象物の高さデータをレーザ三角測量により求めるレーザ計測部と、前記基板にＸ線を照射して撮影されるＸ線透過像より前記検査対象物の断面形状を算出して高さデータを計測するＸ線計測部と、前記レーザ計測部において計測された高さデータより検査対象物の外形形状の傾斜角を算出し、算出された傾斜角に基づいてレーザ計測部において計測された高さデータと前記Ｘ線計測部において計測された高さデータとを選択的に切り替える計測検査ユニットとを備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、１台のカメラ装置で撮像される画像に基づいて、カメラ装置で取り込まれた装備品の画像データをカメラ位置を基準とした距離データに変換し、装備品の位置を正確に検出することにある。
【解決手段】 洗車機本体１に取り付けられ洗車処理する自動車の所定部位を含む領域を撮像するカメラ装置７Ａ，７Ｂと、カメラ装置７Ａ，７Ｂで撮像した画像の中から自動車の装備品を抽出し、抽出した装備品の画像中における位置を、装備品の取付データ及びカメラ装置の取付データに基づいて実際のカメラ装置から装備品までの距離に変換し、装備品の位置を検出する装備品位置検出部２９，３１とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 パターン光を投影した試料の画像に、フーリエ変換を施し位相を求め、それをもとに試料の３次元形状を計測する装置において、入力する画像の枚数を削減し、計測時間の短縮を図る。
【解決手段】 プロジェクタ６から試料１に投影された第１のピッチを有するパターンの参照画像が、カメラ５により撮像される。続いて、プロジェクタ６から試料に投影された第２のピッチを有するパターンの測定画像が、カメラ５により撮像される。ここで、パターン光の第２のピッチは、第１のピッチを有するパターン光の位相分解能を基準として算出される値によって決められる。そして、得られた参照画像をもとに、測定画像の位相接続が行われる。これにより試料の３次元形状が求められる。 （もっと読む）

一般的に、一態様において、本発明を特徴付ける装置は、少なくとも３本の出力ビームを生成するように構成された多軸干渉計を含む。各出力ビームは、対応する測定軸に沿っての干渉計と測定物体との間の距離についての干渉分光情報を含み、少なくとも３本の測定軸は共通面内にあり、各出力ビームは、共通のビーム経路に沿って測定物体までの光路を形成する成分を含む。
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本発明はシート表面分析装置（１０）に関する。分析装置はシート表面に陰影を投射させる照明手段（３２）と、陰影の画像を撮影する撮影手段（３６）と、撮影された画像を分析し、シート表面を分析する分析手段（４０）と、シートを湾曲させる湾曲手段（２２）とを含む。照明手段と湾曲手段は、シート表面の湾曲部に陰影が投射されるようにアレンジされている。撮影手段はその陰影を撮影するようにアレンジされている。
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試料特に（製薬）錠剤を調査するための方法及び装置である。放射体及び/又は試料は、最初は、放射体が所定の距離にあり、試料表面の最初に照射した点の法線方向に位置する。放射体は25GHz〜100THzの範囲で複数の周波数を持つ光を試料の複数の点に照射する。放射体と試料とは相対的に位置を変えることが可能である。ただし、その位置の変更は、放射体と試料との間では所定の距離（試料表面と放射体との）を保存し、放射体は各照射点の法線と一致させ、透過又は反射した光を各点で検出することが可能になるようにする。この特徴的な応用として（製薬）錠剤のコーティングの形状及び組成を画像化するというのがある。
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