【課題】非接触で、短時間で測定することができ、且つ、微小なコンタミ等の凹凸による影響を軽減することができる変位測定装置および変位測定方法を提供する。
【解決手段】測定対象物に対して投光する投光部、及び前記測定対象物の複数の測定対象箇所において測定範囲内の前記測定対象物のない領域を通過した前記光を受光して電気信号に変換する受光部を有する変位センサ部と、前記測定対象物を載置するワークセット治具、及び測定時に前記ワークセット治具を回転させる駆動部を有するワークセット部と、及び前記駆動部の回転を制御する制御部と、を備え、前記変位センサ部は、前記投光部から前記受光部に対して投光された光の進行方向が水平方向に対して第１の傾斜角度を形成するように設置され、前記ワークセット治具は水平方向に対して第２の傾斜角度に設定され、前記第１の傾斜角度は前記第２の傾斜角度よりも大きいことを特徴とする変位測定装置。 （もっと読む）

【課題】基板及びリソグラフィ装置の性能に関する物理的特性を迅速に検出する。
【解決手段】概ね第一方向に延在する少なくとも１本の線によって形成された延在パターンの特性を検出する。延在パターンは、基板又は基板テーブル上に形成され、好ましくは線の幅の少なくとも５０倍の長さにわたって延在する。検出方法は、基板テーブルを第一方向に移動させ、その第一方向ｘに沿って延在パターンの特性を測定することを含む。特性は、第一方向に対して直角の第二方向ｙにおける延在パターンの物理的特性の結果である。次のステップでは、延在パターンの測定位置から基板テーブル位置の較正を導出することができる。 （もっと読む）

【課題】製造エラーが起こる前に機能不良のプリンターによりもたらされる印刷エラーを
特定し補正する手段を提供すること。
【解決手段】取り込まれる画像および画像に基づくシミュレートされた基準ビットマップ
の設定パラメーターに基づき、カメラと画像を支持する二次元面を有してなる画像取り込
みシステムを較正することができ、二次元面における取り込まれる画像の位置は較正パラ
メーターに基づき決定される。また１つのスキャンで取り込めない画像における部分の画
像シーケンスを取り込むことができる。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路装置の製造技術において、データ作成が簡単で不良部の目視確認が容易な、基板上に印刷された半田の２Ｄ・３Ｄ検査技術を提供する。
【解決手段】２Ｄ・３Ｄ半田印刷検査装置による基板の検査工程において、検査装置に２Ｄ検査機能と３Ｄ検査機能を実装し、最初に３Ｄ検査を実行し、続いて２Ｄ検査を実行することで、検査終了と同時に不良判定パッド（印刷半田）の部分の２Ｄ撮像画像を拡大表示することを可能とし、それにより作業者に効率的な目視確認環境を提供する。また、検査データ作成時に生基板を測定することにより、検査装置が自動で生成した独自の高さ測定基準とパッド上面高さとの関係を調べ、これにより、検査においてパッド上面基準による印刷半田の高さ・体積の測定を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 光学的手法を用いて、リチウムイオン電池等の電極用素材表面上の異物を検出し、迅速に形状や大きさを判定する。
【解決手段】ローラで搬送される電極用素材に対して、搬送方向上流から下流方向に斜め上方から第１照明装置によって光を照明し、その散乱光の画像データ１を得る。同じ測定部位に対して、搬送方向下流から上流方向に斜め上方から第２照明装置によって光を照明し、その散乱光の画像データ２を得る。画像データ処理装置では、得られた２種類の輝度分布のデータを重畳した総合画像データと、画像データ１、２とを比較して異物の形状の種類を判定するので、短時間で形状の種類判定ができ、高速で搬送される電極用素材の異物検査の精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】透明な平行平板の厚みを非接触で高精度に測定し得るようにする。
【解決手段】コンピュータシミュレーションにより、測定用レンズ１と基準球面反射鏡７との間に、厚みが既知の模擬平行平板が配置された状態での模擬透過波面測定を行い、測定用レンズ１および模擬平行平板を透過してなる模擬透過波面の球面収差と模擬平行平板の厚みとの対応関係を求める。測定用レンズ１と基準球面反射鏡７との間に補正板６を配置し、測定用レンズ１および補正板６を透過してなる被検透過波面の球面収差を実際に測定し、その測定値と上記対応関係とに基づき、補正板６の厚みを算定する。 （もっと読む）

【課題】走行車両のタイヤの姿勢角を正確に計測する。
【解決手段】タイヤ姿勢角計測用冶具１０は、ホイールに取付ける第１のプレート２２、第２のプレート２４、計測面２６Ａを有する第３のプレート２６を備えている。各プレートは中央で連結され、第３のプレート２６には、第２のプレートに向かって延びる８本の調整ボルト３８が軸周りに固定されており、調整ボルト３８には第２のプレート２４の第３のプレート側に第１のナット４２が螺合し、第１のプレート側に第２のナット４４が螺合している。ナットの位置を調整することで第３のプレート２６を撓ませることができるので、ホイール２０の回転時に計測面２６Ａが軸方向に振れないようにナットの位置調整を行う。走行する車両の計測面２６Ａにレーザービームを照射してタイヤの姿勢を計測する際に、計測面２６Ａのランアウトを小さくできるので、走行車両のタイヤ姿勢を正確に計測できる。 （もっと読む）

【課題】小型の装置で、振動のある環境下においても高精度に形状測定が可能な位相シフト法による形状測定方法及び形状測定装置を提供する。
【解決手段】２つのＬＥＤ１２，２２と、光路上に設けられた半透明鏡１８，２８，３２，４６，６６及び参照鏡３８と、測定対象物３６を垂直移動可能に載置した移動ステージ３４を有する。ＬＥＤ１２，２２の光とは波長の異なるレーザ光を照射するレーザ干渉式測定装置６０を備える。ＬＥＤ１２，２２からの光を測定対象物３６の平面に照射するとともに、レーザ光を測定対象物３６の平面に照射し、且つＬＥＤ１２，２２からの光及びレーザ光を参照鏡３８に導いて、測定対象物３６からの反射光と参照鏡３８からの反射光との干渉像を各々形成する干渉光学系５０を備える。レーザ光の干渉像から測定対象物３６表面の高さ位置情報を演算する距離演算処理部７６と、ＬＥＤ１２，２２を発光させる発光制御部７８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 長い距離を高い精度でしかも短時間に測定することが可能な距離計および距離測定方法を提供する。
【解決手段】
第１の光源１から出射されて基準面４に照射される基準光Ｓ_１と第２の光源２から出射されて測定面６に照射される測定光Ｓ_２と干渉光Ｓ_３を基準光検出器３により検出して得られる干渉信号と、上記基準面４により反射された基準光Ｓ_１’と上記測定面５により反射された測定光Ｓ_２’との干渉光Ｓ_４を測定光検出器６により検出して得られる干渉信号を信号処理部７に供給して、上記信号処理部７により、上記干渉光Ｓ_３を検出した干渉信号と上記干渉光Ｓ_４を検出した干渉信号の時間差から、光速と測定波長における屈折率から上記基準面までの距離と上記測定面までの距離の差を求める。 （もっと読む）

【課題】
レチクルとウェハ（ウェハステージ）との位置合わせ計測に用いる手順を状況に応じて変更させるようにした露光装置及びデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】
原板（レチクル）ステージに保持された原板を基板（ウェハ）ステージに保持された基板に位置合わせして原板のパターンを基板に投影し基板を露光する露光装置であって、原板に付されたマークと基板ステージに付されたマークとの位置関係を計測する計測部と、原板に付されたマークと基板ステージに付されたマークとを計測部の視野内に入れて計測部に計測を実行させる制御部とを具備し、制御部は、第１の手順（第１の手順は、第２の手順よりも計測部による原板に付されたマークの計測回数が少ない）及び第２の手順を少なくとも含む複数の手順のいずれかにしたがって計測部に計測を実行させ、当該実行した計測により得られた結果に応じて位置合わせを行なうように構成される。 （もっと読む）

【課題】
曲率半径の符号が反転する自由曲面を備えた被測定物を非接触で測定可能な測定方法を提供する。
【解決手段】
本発明の測定方法は、自由曲面を有する被測定物Ｔの反射光と参照球面との干渉により生じる干渉縞から被測定物Ｔの形状を測定する測定方法であって、参照球面の焦点位置２０に対して光源側の第一の領域３０ａに被測定物Ｔを配置して、干渉縞を測定する第一の測定ステップと、参照球面の焦点位置２０に対して第一の領域とは反対側の第二の領域３０ｂに被測定物Ｔを配置して、干渉縞を測定する第二の測定ステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】ケーブル外観のうねりを数値化して判断基準の明確化を図ることが可能な構成を含むケーブル外観のうねり測定装置を提供する。
【解決手段】ケーブル外観のうねり測定装置１は、ケーブル製造ラインにより製造されたケーブルから所定の長さで検査用サンプルを採取して、この検査用サンプルのケーブル２の側面に生じるうねりを撮影するとともに測定して数値化するための画像処理装置３と、ケーブル２を移動させるケーブル移動装置４とを備えて構成されている。ケーブル移動装置４は、台１０と、一対の直動案内部材１１と、第一ケーブル固定部１２と、第二ケーブル固定部１３と、ギヤードモータ１４と、錘１５と、複数の滑車１６と、カメラ支持部１７、１８と、二つの光源１９とを備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】レジストパターンの線幅を含んだパターン情報を求めるにあたり、そのパターン情報の精度を向上させることができる塗布、現像装置を提供すること。
【解決手段】下地膜を形成するときの処理パラメータに応じて基板面内の下地膜の膜厚分布を求める手段と、光照射部の照射領域から反射された光を受光する受光部が受光した光についてその波長と光強度との関係を示す光強度分布を取得する手段と、レジストパターンのパターン情報と、下地膜の膜厚と、前記光強度分布とを対応付けたデータが記憶された記憶部と、前記光照射部の光の照射位置における下地膜の膜厚を前記膜厚分布から求め、その下地膜の膜厚と取得した光強度分布とに対応するパターン情報を前記データに基づいて求める手段と、を備えるように塗布、現像装置を構成し、膜厚分布によるパターン形状の測定誤差を抑える。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置情報を計測精度の低下を抑制できる位置計測装置を提供する。
【解決手段】位置計測装置は、移動面内を移動する移動体の位置情報を計測する。位置計測装置は、位置が固定された回折格子を含むスケール板と、供給された光をスケール板に導く導光光学系の少なくとも一部を含む、移動体に配置されたエンコーダヘッドと、移動体と離れた位置で光を射出して、導光光学系に供給する光源とを備えている。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置情報を精度良く計測できる位置計測装置を提供する。
【解決手段】位置計測装置は、移動面内を移動する移動体の位置情報を計測する。位置計測装置は、移動体の第１面に配置された移動格子に光を照射する光源と、光源との位置関係が固定で、移動格子で回折された光が入射する第２面を有し、入射した光を回折又は反射して移動格子に戻す固定光学部材と、移動格子を再度介して干渉された光を検出する検出装置と、を備え、第１面と第２面とはほぼ平行である。 （もっと読む）

【課題】少なくとも一部において、遮光性を得ながら反射ノイズ低減効果を高めることができる光学素子を提供する。
【解決手段】光学素子は、多数の微小突起ＣＰ１を含む第１の微細凹凸構造ＭＲ１が一方の面に形成された基板１１と、第１の微細凹凸構造ＭＲ１を覆う金属層１２と、金属層１２の基板１１とは反対側に形成されたシリコン又は樹脂からなる膜１３であって、多数の微小突起ＣＰ２を含む第２の微細凹凸構造ＭＲ２を持つ膜１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】屈折・回折型レンズを用いたSchupmann光学系で配置される分光光学系により垂直落射照明を可能とし、かつ、ＤＵＶ−ＵＶ（２００ｎｍ〜４００ｎｍ）領域の広帯域色補正を行うことを可能とする分光光学系および分光測定装置を提供する。
【解決手段】光源１１０と、視野絞り１１１と、リレーレンズ系１４０と、フィールドレンズ系１５０と、結像レンズ系１６０と、分光器１７０とを有し、リレーレンズ系１４０、フィールドレンズ系１５０および結像レンズ系１６０は、屈折型レンズおよび／または回折型レンズによるSchupmann光学系で配置され、かつ、リレーレンズ系１４０と結像レンズ系１６０のいずれか一方に回折型レンズを有する分光光学系であって、フィールドレンズ系１５０が２枚以上のレンズで構成され、そのうちの１箇所においてレンズが所定の距離だけ離して配置されている。 （もっと読む）

【課題】照明強度分布のずれに関係なく安定した測定値を出力でき、光源輝点の位置調整に要していた時間と労力を低減できる寸法測定方法及び寸法測定装置を提供する。
【解決手段】半導体露光用マスク１７上に形成されたパターンの画像を顕微鏡１１にて取得し、得られた画像から任意のパターンの寸法を測定する方法であって、上記顕微鏡の照明強度分布を取得し、得られた照明強度分布の最も平坦な位置を測定に用いる位置として決定し、前記測定に用いる位置に任意のパターンを移動して画像を取得し、得られた画像から前記パターンの寸法を測定する。 （もっと読む）

【課題】 個々の凹部や凸部の一部に形成されている小さな欠陥と、凹部と凸部とにまたがって形成されている格子ピッチよりも大きな欠陥とを両方一緒に検出する。
【解決手段】 検査対象物ＯＢを固定した固定治具１０を回転させながら回転軸方向に移動させるとともに、検査対象物ＯＢの微細格子構造Ｇにレーザ光を照射し、その反射光の強度と偏光状態とを検出する。反射光の強度が基準レベルより低下している場合には、その照射位置に、凹部と凸部とにまたがって形成されている格子ピッチよりも大きな欠陥が存在すると判断する。また、上記大きな欠陥が存在していると判断した部位を除く領域において、反射光の偏光状態が理想の偏光状態に対して許容値を超える差を生じている場合には、その照射位置に、個々の凹部や凸部の一部に形成されている小さな欠陥が存在すると判断する。 （もっと読む）

【課題】干渉計において、構成を簡素化することができ、光軸調整後に迅速に干渉縞観察を行うことができるようにする。
【解決手段】レーザ光源２からのレーザ光Ｌ_１を参照レンズ６の参照面６ａと被検体２０の被検面２０ａとに照射し、参照面反射光Ｌ_４と被検面反射光Ｌ_３とを重畳して干渉させて干渉光束を形成し、この干渉光束の干渉縞の像を観察する干渉計１であって、干渉光束の入射方向側の表面が反射面９ｂとされ、その中心部に干渉光束を透過させる開口９ａが形成された絞り板９と、干渉光束の光路上で、絞り板９の反射面９ｂと対向して配置されたハーフミラー面８ａと、絞り板９の開口９ａを透過した光を集光する撮像レンズ１０と、撮像素子１１とを備え、撮像レンズ１０は、ハーフミラー面８ａを介して、反射面９ｂと撮像面１１ａとを共役の関係にするように設けられた構成とする。 （もっと読む）