【課題】リソグラフィ装置の処理能力を大きく損なうことなく、重ね合わせ精度を向上させる方法及び装置を提供する。
【解決手段】露光条件を最適化するために基板の露光時に基板上の位置合わせ標識を検査する。基板１０が露光及び位置合わせユニット１５の真下で走査を受けるとき、基板のそれぞれの部分が最初に検出器ユニット１６の下方を通過し、次いで露光ユニット１７の下方を通過する。したがって、基板１０のそれぞれの部分に関して検査器ユニット１６によって測定された、直線位置、配向、及び膨張に関する情報が露光ユニット１７に伝達可能であり、基板が露光ユニット１７の真下を通過しながら基板が露光されるとき、基板の当該部分に関する露光条件を最適化することができる。 （もっと読む）

【課題】電子部品の高いスループットの自動的検査を可能にする、高速オートフォーカスの方法を提供することである。
【解決手段】強い光、弱い光、及び蛍光の光の用途における、要素の光学検査中の検査速度を最適化する方法。自動収束メカニズムと、高速度ＣＣＤカメラと高開口数（ＮＡ）光学部品とを組み合わせたときに、優れた信号対ノイズ比、解像度、及び検査の速度性能を達成する、蛍光及び非蛍光用途に対して最適化された方法が記載される。 （もっと読む）

【課題】海島型複合繊維を溶融紡糸する紡糸口金の内部に装着された数万本にも及ぶパイプに関して、少なくともパイプ曲りの発生を自動で検出することができる紡糸口金の異常検査装置及び異常検査方法を提供する。
【解決手段】直管型パイプが口金板に対して垂直に多数立設された口金板を装着する紡糸口金に対して各パイプのポリマー流路である貫通孔を通過した検査光をカメラで撮影して、撮影した画像データを二値化処理などの画像処理を行って各パイプの先端部のポリマー流路の中心座標を算出し、算出した中心座標が設計時の値よりもずれているかどうかを判断して、パイプ曲りの有無を検出する紡糸口金の異常検査装置及び異常検査方法とする。 （もっと読む）

【課題】位置合わせする物体に凹凸があっても、正確な位置合わせをする。
【解決手段】第１の光源５からレンズ１を透過させて光検出器３に第１の光線５ａを照射する。この第１の光線５ａを照射された光検出器３を第１の撮像手段６で撮像する。第１の撮像手段６により撮像した光検出器３の位置を記憶手段９ａで記憶する。第２の光源７からレンズ１の光軸に対して傾けた位置からレンズ１に向けて第２の光線７ａを照射する。この第２の光線７ａを照射されたレンズ１を第２の撮像手段８で撮像する。第２の撮像手段８により撮像した結果から検出手段９ｂがレンズ１の凹凸面の中心位置を検出する。この検出手段９ｂにより検出したレンズ１の位置が記憶手段９ａに記憶させた光検出器３の位置に合致するよう、位置制御手段９がレンズ１と光検出器３を位置合わせする。
【効果】凹凸があって検出が困難な光学素子の位置合わせを、精度良く行うことができる。 （もっと読む）

【課題】基板の位置合わせ（ウエハアライメント）を短時間で行うことができる技術を提供する。
【解決手段】ステージ５０に保持された基板４０に形成されたマークからの光を検出する複数の領域が第１の方向に配列されたセンサ７０４と、ステージを駆動する第１の駆動部６０と、センサに入射するマークＡＭからの光が第１の方向に沿って移動しながら、複数の領域に順に入射するように、ステージを基板の高さ方向に直交する第２の方向に駆動しつつ、ステージを基板の高さ方向にも駆動するように、第１の駆動部を制御する制御部８０と、センサからの信号を処理する処理部９０と、を有し、処理部は、信号によって与えられる第１の方向に沿った光強度の分布において、ピークを示す基板の高さ方向の位置を決定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の微小な移動加速度または傾斜角度を測定することができ、測定の感度が高くなる光学感応装置を提供する。
【解決手段】内部に黒体条件空間を有するケースと、黒体条件空間に光ビームを投射する少なくとも一つの発光子と、ケースに設けられ、黒体条件空間に隣接する少なくとも一つの光学感応子と、黒体条件空間に移動可能に設けられ、少なくとも一つの端部を有し、端部がケースと接触し、少なくとも一つの溝が設けられる遮蔽子と、を備える光学感応装置において、黒体条件空間において、遮蔽子が少なくとも一つの遮蔽区域に移動するときには、光学感応子が遮蔽子に遮蔽され、なお、遮蔽子が遮蔽区域から離れたときには、光学感応子が光ビームを感応して感応信号を発する。 （もっと読む）

【課題】露光用マスク上に存在する位相欠陥の表面形状を効率的に測定することができ、露光用マスクの生産効率向上に寄与する。
【解決手段】露光用マスク上に存在する位相欠陥の形状を測定する方法であって、マスクに検査光を入射し、位相欠陥上における散乱領域の幅を予測可能な角度範囲に散乱する光の強度を測定する第１ステップ（Ｓ２）と、測定された散乱光強度から位相欠陥の径を算出する第２ステップ（Ｓ３）と、測定する散乱光の角度範囲を変更し、散乱光強度を測定する第３ステップ（Ｓ４，Ｓ５）と、得られた散乱光強度から散乱断面積を算出する第４ステップと、第３及び第４ステップを散乱光強度が飽和するまで繰り返す第５ステップ（Ｓ６，Ｓ７）と、第２ステップで得られた位相欠陥の径と第４ステップで得られた各散乱断面積を用いて位相欠陥の形状を決定する第６ステップ（Ｓ８）とを含む。 （もっと読む）

【課題】
回転対称形状であり、主に球面若しくは球面に近似できる非球面の形状で、曲率半径が小さな被測定物の表面の形状を、短時間で１ｎｍ程度の形状精度で測定可能、低コスト化可能な回転対称形状の超精密形状測定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】
計測ビームが被測定物表面で反射され、反射ビームを光検出器で検出して表面の任意計測点の法線ベクトルを計測することから形状を求める法線ベクトル追跡型超精密形状測定方法において、光検出器５が受光面における反射ビームの変位を計測可能であり、光学系２の光軸と被測定物の中心線を一致させて計測ビームと反射ビームとが重なるように初期設定した後、試料系３又は光学系２の一方のみを２軸１組のゴニオメータ６，７で駆動して計測ビームで被測定物表面の測定範囲を走査し、反射ビームの角度変化からその点での法線ベクトルを算出する。 （もっと読む）

【課題】測定対象の突部の突出形状を容易かつ精度良く測定する。
【解決手段】ロータリーダイカッター１０のダイカットロール２０の刃型２２の突出形状を測定する突出形状測定装置１は、ロータリーダイカッター１０が載置された走査ステージ１６をダイカットロール２０の回転軸線Ｎの軸線方向に移動させる駆動装置１４と、走査時に変位計１１から逐次出力される変位出力Ｙおよび受光量ＬＩの走査位置ｘに応じた変化を検出する変位出力取得部５２および受光量取得部５３と、受光量ＬＩが最大の走査位置ｘでの変位出力Ｙにより刃型２２の刃先突出高さを検出する突出高さ算出部５４と、走査位置ｘに応じた受光量ＬＩの変化に係る状態量の検出値と、刃型２２の刃先幅および状態量をパラメータとして作成したモデルデータとを比較し、状態量の検出値に対応するモデルデータから刃先幅を検出する突出幅算出部５５とを備える。 （もっと読む）

【課題】ワークの加工面形状を工作機械上で高精度に測定し得る装置等を提供する。
【解決手段】基準ミラー２１をテーブル２上に配設し、ワークＷの加工面を測定する第１のレーザ変位計Ｌ_１と基準ミラー２１の基準面を測定する第２のレーザ変位計Ｌ_２とを工具保持台３に配設する。測定運動付与部２４によってテーブル２と工具保持台３とを正弦波軌跡で相対移動させ、この状態で測定される加工面変位データと基準面変位データとを基に、感度算出部２８によって第１のレーザ変位計Ｌ_１の感度を算出する。ついで、実形状データ算出部２９により、算出された感度を基に、加工面変位データを補正し、補正後の加工面変位データと基準面変位データとの差分をとって、加工面の実形状データを算出する。 （もっと読む）

【課題】多数のアライメントヘッドのキャリブレーションを改良し、オーバレイ精度及び製品歩留まりを向上させる。
【解決手段】多重ヘッドアライメントシステムにおいて主アライメントヘッドを用い副アライメントヘッドの位置較正をするためのキャリブレーション方法が開示される。このシステムは例えばウェーハ表面のマーカ測定に使用され、そのウェーハ内またはウェーハ上に回路を形成するリソグラフィ処理中に行われる。複数のオフセット測定が少なくとも１つの副アライメントヘッドのために行われ、それにより副アライメントヘッドの主アライメントヘッドに対するオフセットが測定され、以降のウェーハ測定演算での補正データとして使用される。 （もっと読む）

【課題】内管の周囲に巻き付けられたワイヤの巻き付け不良をタイムリーに検出する。
【解決手段】ワイヤＷを内管ゴム１４の周囲に巻き付けるワイヤ巻き付け装置２０にはワイヤ補強層検査装置１０が設けられている。ワイヤ補強層検査装置１０は、ワイヤ補強層１６の表面形状を測定する表面形状測定装置５０と、その表面形状に基づきワイヤ補強層１６の巻き付け不良を検出するコントローラ７０とを備えている。表面形状測定装置５０は、ワイヤ補強層１６にレーザ光５４を照射するレーザ光射出部５２と、反射したレーザ光５５をイメージセンサに結像させてワイヤ補強層１６の表面形状を測定する測定部５６とを備えている。回転盤２４が９０度回転する毎に、表面形状測定装置５０でワイヤ補強層１６の表面形状を測定し、コントローラ７０に取り込まれた最新の画像データと直近の画像データとを比較することで、ワイヤＷの巻き付け不良を検出する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の検査方法を提供すること。
【解決手段】基板に装着された素子の検査方法において、素子に対応する形状テンプレートを生成する段階と、照明部の格子パターン光を基板に照射してピクセル別高さ情報を獲得する段階と、ピクセル別高さ情報に対応してコントラストマップを生成する段階と、コントラストマップと形状テンプレートとを比較する段階と、を含む。本発明によると、測定対象物を正確に抽出することができる。 （もっと読む）

【課題】赤外光を用いた場合であっても、測定用マークの位置を高精度に測定することができる技術を提供する。
【解決手段】赤外光を測定マークに照射し、測定用マークの像を撮像素子の撮像面に形成する光学系を用いて、測定用マークの位置を測定する測定方法であって、前記光学系によって赤外光を前記測定用マークに予め定められた時間照射した後、赤外光の照射を遮断した状態において、前記光学系の光学素子から放射される赤外光による画像を撮像する第１の撮像ステップと、赤外光を照射した状態において、前記光学系の光学素子及び前記測定用マークで反射された赤外光にる画像を撮像する第２の撮像ステップと、前記第２の撮像ステップで撮像した第２の画像から前記第１の撮像ステップで撮像した第１の画像を差し引いた第３の画像を生成する生成ステップと、第３の画像に基づいて、前記測定用マークの位置を算出する算出ステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】ウエハテーブルの位置計測を高精度に行う。
【解決手段】エンコーダ本体（１６Ｙａ，１６Ｙｂ等）から射出されるレーザ光（Ｌｙ１，Ｌｙ２等）は、ウエハテーブルＷＴＢにＰＢＳ１８を介して外部から入射し、露光領域ＩＡの直下に位置する点ＩＡａにて、グレーティング２４に到達し、該グレーティングで回折される。そして、グレーティングから戻ってきた第１の偏光成分と、ＰＢＳで反射された第２の偏光成分との干渉光を受光することにより、ウエハテーブルＷＴＢの位置情報を計測する。従って、ＰＢＳを透過した第１の偏光成分が、第２の偏光成分と再度合成されるまでの間は、ウエハテーブル内を通過し、外部雰囲気中を進行することが無いので、測長ビームがウエハテーブルの周辺雰囲気の揺らぎの影響を受けることなく、高精度なウエハテーブルの位置計測を行うことが可能である。 （もっと読む）

【課題】全空間テーブル化手法を適用した計測装置の測定速度及び精度を向上させるためのメモリボードを提供する。
【解決手段】メモリボード１０は、コンピュータと通信可能とする制御手段と、コンピュータに接続された撮影装置１５が撮影した画像のそれぞれの画素毎から得られる値Ａと前記値Ａ毎に決まる少なくとも１つの計測値Ｂとが１対１で対応付けられた変換テーブルを、コンピュータから取得して格納するメモリと、テーブルを参照して少なくとも１つの計測値Ｂを求めてコンピュータに出力する手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】頭顔部表面の微小領域を正確に繰り返し定位することで、頭顔部表面の微小領域の微視的な経時変化を追跡する方法を実現する。
【解決手段】頭顔部と能動光学装置を含んで３次元世界空間を構成し、頭顔部の位置と姿勢を自然人類学の基準に基づいて定位し、更に頭顔部表面に同軸投光した構造光の反射パタン画像に基づいて幾何光学的に再定位することにより、対象領域を繰り返し撮像する。また、頭顔部と能動光学装置を含んで３次元空間を構成し、頭顔部の位置と姿勢を自然人類学の基準に基づいて定位し、更に頭顔部表面に同軸投光した構造光の反射パタン画像に基づいて幾何光学的に再定位することにより、対象領域を繰り返し撮像し、撮像した画像から毛髪を自動計数する。 （もっと読む）

【課題】大型化したウエハの搬送を容易にする。
【解決手段】 露光装置は、ＸＹ平面に沿って移動可能であるとともに、互いに接近及び離間が可能な第１部分と第２部分とを含む粗動ステージＷＣＳ１と、ウエハＷを保持するとともに、粗動ステージＷＣＳ１によって少なくともＸＹ平面内で相対移動可能に支持される微動ステージＷＦＳ１と、粗動ステージＷＣＳ１に支持されている微動ステージＷＦＳ１を単独で若しくは粗動ステージＷＣＳ１と一体で駆動する駆動系と、を備える。また、露光装置は、粗動ステージＷＣＳ１との間で、微動ステージＷＦＳ１の受け渡しが可能なリレーステージＤＲＳＴを備えている。 （もっと読む）

【課題】透過性の無い粒子であっても計測可能で、かつサブミクロン程度の粒子でも高精度に粒子径を測定できる球状粒子径の計測装置および計測方法を提供する。
【解決手段】球状粒子１を２方向から照射する２つのレーザ光源２および３と、この照射光が球状粒子１の表面で正反射して生じる２つの輝点間の距離を計測するための測長手段と、計測した２つの輝点間の距離から前記球状粒子の径を算出する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、光導波路の中空部分に挿入した反射材を磁場発生手段で光導波路の長手方向に移動させて光路長を所望の値に設定することにある。
【解決手段】本発明は、中空構造の光導波路４００の中空部分に、磁性を有する反射材５０１が長手方向に移動自在に挿入され、光導波路４００の外部に磁場を発生することが可能な磁場発生手段５０４が設置され、光導波路４００内の光路長を、反射材５０１を磁場発生手段５０４で光導波路４００の長手方向に移動することにより調整する中空光導波路における磁場を用いた光路長調整方法である。 （もっと読む）