【課題】２次元状に受光素子が配置された光学式変位計において、ワークに応じて安定した受光量を得ることを可能とする。
【解決手段】測定対象物からの帯光の反射光を受光するための２次元受光素子と、増幅器で得られた増幅信号の、第１方向における受光信号波形のピークレベルの分布が所定の範囲内となるように、投光部３の発光量及び増幅器の増幅率を含む操作量の少なくともいずれかのパラメータをフィードバック制御するための受光レベル制御手段６１と、測定対象物の変位を測定する測定モードと、受光レベル制御手段６１の操作量を設定する設定モードとを切り替えるためのモード切替手段５３とを備え、設定モードにおいて、予め測定対象物に対して投光部３で帯光を照射し、第１の方向の各位置における増幅信号のピークの分布状態を測定し、受光レベル制御手段６１が、第１の方向における分布状態に応じて操作量を調整する。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置のRecipeで設定するCell Area の設定が自動化かつ、正確に設定することが出来る。
【解決手段】従来、人間がマウスでクリックして設定していたCell Mat Areaの区別をCell Mat Areaと非Cell Mat AreaのGray Levelの分布特徴の差を用いてImageをスキャンして、その結果からCell Mat Areaと非Cell Mat Areaを分ける方法を取った。具体的にはCell Matの始点と終点を区別するための基準になる閾値をMemory CellだけあるArea で計算した後、その閾値を適用して始点と終点を探してそのそれぞれを繋げてCell Area を作成した。 （もっと読む）

【課題】 簡単な光学系及び装置により、測定精度が高く処理も容易なレーザスペックルによるナノメートル変位測定方法と装置を提供する。
【解決手段】 半導体レーザ１２と、半導体レーザ１２からの光を１点に収束させるレンズ１４と、半導体レーザ１２からのレーザ光を分岐するビームスプリッタ１６と、ビームスプリッタ１６から分岐した一方のレーザ光が照射される参照粗面１８と、半導体レーザ１２からのレーザ光の他方が照射される測定粗面２０を有する。参照粗面１８と測定粗面２０とから反射した各レーザ光がビームスプリッタ１６を介して重なり、スペックル干渉した光を受光する光センサ２２を備える。スペックル干渉光の入射による光センサ２２の出力の最大値と最小値の間で、ほぼ直線的に出力値が変化する電圧範囲を測定範囲として、光センサ２２の出力電圧の変化により測定粗面２０の変位を求めるコンピュータ２６を備える。 （もっと読む）

【課題】レーザ光学系に付着した異物を、安価にかつ容易に検査できるレーザ光学系の検査装置を提供する。
【解決手段】レーザ光学系としての走査光学ユニット１００の走査するレーザビームＬＢの光エネルギを測定可能なフォトダイオードＰＤ、走査光学ユニット１００の走査するレーザビームＬＢにフォトダイオードＰＤを追従させる移動機構８０，９０と、フォトダイオードＰＤからの信号に基づいて異物の有無を検出する検出手段としての信号処理回路３０及び演算装置１０とを有する。 （もっと読む）

【課題】コストの増大を抑えて高速に欠陥検査を行うことができる欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】画像取込部21は２次元の画像情報を生成する。DWT処理部22は、離散ウェーブレット変換により、画像サイズが縮小された縮小画像情報を生成する。欠陥検出部25は、縮小画像情報を用いて検査対象物上の欠陥を抽出する。元の画像情報に対応した画像よりも画像サイズを縮小する一方で、周波数成分を維持した縮小画像情報を用いて欠陥を抽出するので、コストの増大を抑えて高速に欠陥検査を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】複雑な外形を有する多様な被測定物の寸法を非接触で測定できる寸法測定装置を提供する。
【解決手段】寸法測定装置は、フレームに支持されて被測定物の反対側に配置された第１の非接触式距離測定センサと第２の非接触式距離測定センサとを少なくとも有する測定部を有する。測定部は、複数の平行な第１測定線における複数の第１物体位置までの複数の第１間隔距離と、複数の平行な第２測定線における複数の第２物体位置までの複数の第２間隔距離とを測定する。距離演算部は、第１および第２間隔距離に基づいて複数の候補物体長を演算する。各候補物体長は、第１物体位置のひとつと第２物体位置のひとつとの間の距離である。最大値選択部は、複数の候補物体長のなかから最大物体長を選択する。 （もっと読む）

【課題】車両速度が遅い場合であれ、操舵角センサの異常の有無を高い精度で判定することができる操舵角センサの異常判定装置を提供する。
【解決手段】操舵角センサ２１の異常の有無を判定する異常判定装置として、ナビゲーションシステム２２の地理情報及び位置情報を参照しつつ車両がカーブ路走行中にあるカーブ路走行期間を検出するプログラムと、そのカーブ路走行期間内のセンサ出力の最大値を検出するプログラムと、その最大値について所定の閾値との対比を行うことにより該最大値が相当量に足りるかあるいは満たないかを判断するプログラムと、その判断により最大値が相当量に満たないと判断された場合に操舵角センサ２１が異常である旨の判定をするプログラムと、を備える構成とする。 （もっと読む）

色々な例示的実施形態において、分離したそれぞれのカラー・フィルタを同じ撮像装置ダイ上に有するマルチ画像センサ・アレイを、本発明は組み込んでいる。一例示的実施形態は、基板の表面にピクセル・セルの複数のアレイを含む画像センサであって、ここで、各ピクセル・セルが光変換素子を含む、画像センサである。アレイは、画像を共通して捉えるように構成されている。画像プロセッサ回路は、前記複数のアレイに接続され、複数のアレイによって捉えられた、取得画像を組み合わせカラー画像を出力するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】レーザの反射光を用いて距離画像を形成する侵入検知装置において、反射光の強度が小さい方向に関して測距不能となり、侵入者の誤検出や検出漏れを生じやすい。
【解決手段】距離算出部１６は、監視空間へ向けたレーザに対する反射光に基づいて当該監視空間に存在する物体までの距離計測値を距離画像の画素毎に求める。背景差分算出部２２は、背景距離画像と監視中の対象距離画像との間での距離計測値の変化量に基づいて距離変化が生じた変化画素を抽出し、両距離画像のうち一方にて測距不能である画素に関しては、当該両距離画像の互いに対応する画素同士での反射光の受光量の相違に基づいて距離変化を判定する。侵入者判定部２４は、その変化画素に基づいて監視空間における侵入物体の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】位置決めを簡単な構成で行なえるステージ装置を提供する。
【解決手段】Ｙステージ１２の前端中央には、光検出器３２が取り付けられている。また、ガントリ部１４の中間位置にはレーザ光を光検出器３２に照射するレーザ発光器３４が取り付けられている。光検出器３２とレーザ発光器３４とは、Ｙ軸に対する位置ずれを計測する計測手段を構成しており、Ｙステージ１２が基準位置にあるときレーザ発光器３４から出射されるレーザ光の光軸がＹステージ１２の移動方向（Ｙ方向）と一致するように設けられている。光軸位置検出部は、第１乃至第４の受光部から出力された検出信号を比較して光強度分布から光軸の直交する方向への位置ずれ量を検出する。また、光軸位置検出部は、光検出器３２の中心とレーザ発光器３４のＹ方向光軸との相対位置が一致するとＹステージ１２が基準位置にあることを検出する。 （もっと読む）

【課題】 エンコーダからの出力信号の変化を確実に検出して原点を検出すると共に、原点付近での位置検出精度の低下を防止することができる位置検出装置を提供する。
【解決手段】 被検出物の位置を検出する位置検出装置であって、光学的特性が周期的に変化するパターンと、光学的特性が不連続な不連続部分とを有する光学スケールと、前記光学スケールに対して相対移動可能に配置され、前記光学スケールを介して光を受光する受光素子とを有し、前記光学スケール及び前記受光素子は、前記光学スケールと前記受光素子との相対運動に応じたエンコーダ信号を出力する光学式エンコーダを構成し、前記光学式エンコーダが前記不連続部分を通過するときに発生する前記エンコーダ信号の変化に基づいて、前記被検出物の位置検出の原点となる原点位置を検出する原点検出手段を有することを特徴とする位置検出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 汎用性があり、レーザービーム走査位置を正確に測定できるビーム位置測定装置を提供する。
【解決手段】 本体２と、この本体２に沿って摺動可能なスライダ３と、スライダ３に設けられレーザービームの光量を検出するビーム受光器６と、レーザービームの光量からレーザービームの位置を測定する演算手段１５とを備えたビーム位置測定装置。 （もっと読む）

放射線エミッタの位置を測定するタッチパッドのような方法及びシステムであり、放射線エミッタはスタイラス、ペン、ポインタ等の能動的に放射線を放射するものでも、受動的な放射線を散乱／反射／拡散する要素でもよい。放射線はバーコード要素で変調され、少なくとも１次元のセンサ上に供給される。検出器の出力から、放射線エミッタの位置が測定される。このシステムは、標準的なタッチパッド、壁ないしは黒板やホイワイトボード上で使用するマーカのような外部のエミッタの位置の検出用、又はタッチパッド等の「内部」位置について使用できる。
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【課題】 異なる用途に使用する光電センサのアンプ部を共通化することができる光電センサ及びその距離測定用ヘッド部を提供する。
【解決手段】 光電センサは、ＰＳＤ１３の両端に出力された複数の受光信号を距離測定用ヘッド部１０部のヘッド側ＣＰＵ１５が受けると、ＰＳＤ１３上の受光位置に応じた幅のパルス信号を出力する。そして、この受光位置に応じた幅のパルス信号を積分して、受光位置に応じた波高値のパルス信号とし、ＦＥＴ１７のオフによりアンプ部２０のサンプルホールド回路２１に出力する。 （もっと読む）

【課題】 反射率が異なる部分を有する対象物について時間をかけずに測定することを可能とする。
【解決手段】 結像レンズの一方を光軸方向へ動かすことによって結像倍率を合わせ、撮像装置の一方を回転させることによって撮像領域４１ｒと撮像領域４２ｒとの向きを合わせる。更に、撮像領域４１ｒと撮像領域４２ｒとの中心ずれｘ，ｙの分だけ撮像領域４１ｒ又は撮像領域４２ｒの先頭画素ｐｘ１をシフトさせて撮像領域４１ｒの中心と撮像領域４２ｒの中心とを合わせる。 （もっと読む）

【課題】 複数の受光素子により光ビームの暗線の位置（全反射減衰角θ_ＳＰ）の検出を行う測定装置において、測定精度を向上させる。
【解決手段】 光ビームを検出する各フォトダイオード17ａ、17ｂ、17ｃ……に接続された差動アンプ18ａ、18ｂ、18ｃ……の中から、全反射減衰角θ_ＳＰに対応する微分値Ｉ´＝０に最も近い出力が得られているものを選択し、次に、選択した差動アンプを中心として前後２ｃｈ分の合計５ｃｈの作動アンプの出力に基づいて３次の近似式を算出し、この近似式を作動アンプの出力（微分値）と全反射減衰角θ_ＳＰ（暗線）の位置との関係を示す関係式として、この関係式と上記で選択した作動アンプの出力とに基づいて全反射減衰角θ_ＳＰの位置を求める。
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【課題】 本発明は、鋼材の外径寸法検査をする為の装置に関し、特に鋼材を搬送しながら同一断面円周上の外径を全長に渡って高精度で測定することができる外径測定装置を提供する。
【解決手段】 投光器と受光器から成るレーザ走査式寸法測定器において、その光軸を円周方向に前後２段に配置された寸法測定器を鋼材搬送テーブルの流れ方向に対して垂直の方向に据え付け、搬送テーブル走行中の鋼材の外径を前記寸法測定器にて鋼材の全長に渡って計測し、該データを各々のアンプユニットを通してパソコンに取り込み、前後２段で測定時期の異なる外径値を同一断面円周上の外径値となるように演算処理することを特徴とするレーザ走査式鋼材同一断面外径測定装置。 （もっと読む）

光が入射した２次元位置の検出処理の高速化および構成の簡素化を図る目的とする。画素（１１_ＭＮ）が２次元配列された光感応領域（１０）において、各々入射した光の強度に応じた電流を出力する複数の光感応部分（１２_ＭＮ，１３_ＭＮ）を同一面内にて隣接配設することで１画素（１１_ＭＮ）が構成され、２次元配列における第１の方向について各画素（１１_ＭＮ）の一方の光感応部分（１２_ＭＮ）同士を電気的に接続し、第２の方向について各画素（１１_ＭＮ）の他方の光感応部分（１３_ＭＮ）同士を電気的に接続し、それぞれに光感応部分群を構成する。光感応部分群それぞれの電流出力を電圧出力に変換する積分回路、当該電圧出力を適正な範囲においてデジタル出力に変換するためのＡ／Ｄ変換回路を備える。
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【課題】 記録材種類の判別精度を向上させる。
【解決手段】 ＣＭＯＳエリアセンサ２１１により撮像され処理された画像データに基き求めたしきい値があらかじめ設定される。印刷枚数と表面粗さ検出値とから導かれた印刷枚数としきい値との関係を表す近似式に、ＣＰＵ２１０により、計数された印刷枚数を代入して、前記しきい値を補正し、補正されたしきい値に基き、当該記録材の種類を判別する。 （もっと読む）

【課題】三次元計測センサの回路規模を小さくする。
【解決手段】センサを構成する光検出器１０の行列において、同一行に属する光検出器１０の出力は同一の信号ライン１２に接続される。各光検出器１０の出力は、水平走査回路１４の走査により、光切断法のスリット光が実質的に停止状態と見なせる程度の短い水平走査期間の間に、左から右に順に信号ライン１２に読み出される。位置検出部１８は、水平走査期間の開始時点から信号ライン１２上の信号の最大ピークを検知するまでの時間を求める。この時間は、その行の走査開始側の端部からスリット光のピークを検出した光検出器１０までの距離を示す。記録処理部２２は、位置検出部１８が求めた距離の値を、スリット光の投影角度を示すカウンタ２０の値と対応づけて記録する。 （もっと読む）