【課題】 物体に設けられるねじ部を画像処理により検査するための装置及び方法において、ねじ部が適正な状態にあるか否かを高精度かつ短時間で検査できるようにする。
【解決手段】 ねじ部検査装置１０は、物体に設けられるねじ部を画像処理により検査するものであって、ねじ部の中心軸線に対し傾斜した方向から、物体のねじ部を含む領域を撮影して、物体の２次元画像を取得する撮像部１２と、撮像部１２によって取得された２次元画像におけるねじ部の画像データに、フィルタ処理を施す画像処理部１４と、フィルタ処理を施したねじ部の出力画像データに基づき、ねじ部にねじが存在するか否かを判定するねじ判定部１６とを備える。画像処理部１４が行なうフィルタ処理は、エッジ検出処理を含み、ねじ部の出力画像データは、ねじ部におけるエッジデータを含む。 （もっと読む）

【課題】 スルーホールの直径を放射状の測長子で計測する方法では検出できないような、ランドの微細な欠陥を検出できるランドパターン検査方法及び検査装置を提供すること。
【解決手段】 制御部２１は、ランド座標ファイル３０から検査対象となるプリント基板上のランド座標および当該ランドのマスター画像を読み出す。次に、読み出したランド座標のランドを撮像し、２値化したランド画像を生成する。更に、当該ランド画像においてランド部分の座標を抽出し、１−画素部分座標ファイル３１に格納する。次に、所定の円画像を穴埋め円パターンテーブル２９から読み出し、当該円画像に対して所定の回数だけ収縮処理を行う。このとき、注目点となる画素の座標が上記ランド部分の座標に該当すれば、当該注目点については収縮処理を行わない。そして、収縮後の円画像とマスター画像とを比較することで、当該ランドの微細な欠陥の有無を検査する。 （もっと読む）

【課題】 ウエハ上のパターンを検査装置から得られる画像から製作することによって、実際のウエハ上で問題となる欠陥のみを抽出して検査を行なう。
【解決手段】 パターンの設計データと取得した画像パターンとを比較して該被測定試料に形成されたパターンの欠陥を検査する方法と装置において、該被測定試料は、所謂ホトマスクであり、該パターンの設計データはホトマスクを製作する時に製作された設計パターンを用いて、該取得画像と比較する事によって検査が実行される過程で、設計データはホトマスクを実際にウエハ上にパターン形成する際に用いられるステッパを通して形成される像（今後、ウエハ像と呼ぶ）に、適切な方法で変換するとともに、同時に実際に測定された取得画像を適切な変換方法でウエハ像に変換し、その両者を比較することによって欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】 エッジ検出の誤りを少なくできると共にエッジ検出のやり直しの手間を少なくできる画像測定装置を提供する。
【解決手段】 エッジを自動的に追跡してそのエッジを検出する、いわゆるオートトレース用のツール８５を用いる画像測定装置である。オペレータはスタート点９９を指示した後、中継点１０３を指示する。ツール８５によりスタート点９９から中継点１０３までの区間のエッジＥが追跡され、その区間のエッジＥが検出される。以後、中継点が指示される毎にその中継点により定められた区間のエッジＥをツール８５で追跡し、その区間のエッジＥが検出される。 （もっと読む）

【課題】 クレーン等の重機が送電線に対して接近したことを検知する新規なレーザー光利用接近検知システムを提供すること
【解決手段】 クレーンの移動するブームの先端部に配置され、送電線の相対的な動きに追従するＣＣＤカメラと、前記ＣＣＤカメラに連動して照射方向を変更するレーザー距離計と、前記レーザー距離計に適当なインターフェイスによって接続されたコンピュータとを備え、前記レーザー距離計は、前記送電線までの距離を測定する。 （もっと読む）

【課題】
寸法測定位置の補正を効率的に行うことにより、測定時間を短縮する。
【解決手段】
測定位置の補正は、測定装置に固定された被測定対象物の被測定箇所の位置ずれが大きい場合のみ、位置ずれを補正するために移動してから測定する。しかし、被測定箇所の位置ずれが小さい場合には、位置ずれを補正しないで測定する。
また、測定倍率や、測定画像内の被測定箇所の位置等、測定条件の違いに対応して位置ずれ量の許容値を予め定め、測定するガラス基板等の被測定対象物上の被測定箇所の位置ずれ量を検出し、位置ずれ量が許容値未満の場合にはそのまま測定し、位置ずれ量が許容値以上の場合のみ位置を補正してから測定を行う。 （もっと読む）

【課題】 検査装置を複雑化および大型化することなく短時間で、数十ｎｍ〜数百ｎｍ程度の分解能で膜厚差を検出するための検出方法および検出装置を提供する。
【解決手段】 本発明の膜厚差検出装置である画像処理装置１０６は、カラーフィルタ表面を所定の傾斜角度で光照射した状態で撮像して得られた撮像画像情報を分析して、各領域におけるカラーフィルタの輝度差を算出する撮像画像情報分析部１０と、上記撮像画像情報分析部１０によって算出された輝度差と外部から得られる膜厚差参照情報とからカラーフィルタにおける膜厚差を推定する膜厚差推定部２０とを備えているので、簡単な構成で、高分解能で膜厚差を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】 照射対象とする人物の幻惑を抑制しつつ、歩行者報知のために照射を行う。
【解決手段】 自車両前方にマーキング光を照射するスポット光照射用ランプ２と、自車両前方の歩行者の位置を示す歩行者領域を検出し、歩行者の位置に基づいて、スポット光照射用ランプ２によりマーキング光を照射させて自車両の運転者に報知する対象となる歩行者を特定する位置検出部７とを備え、制御回路１により、歩行者の位置に応じて、当該歩行者領域の一部に対するマーキング光の照射状態を制限して、歩行者の方向にマーキング光を照射させる。 （もっと読む）

【課題】 光ディスクのカバーシートの貼りずれを精度良く検出する。
【解決手段】 光ディスク１を回転し、回転する光ディスク１の外周面を撮像し、次いで、撮像した光ディスク１の画像データの色濃度変化に基づき、この光ディスクの位置補正用基準端面２２を検出し、次いで、位置補正用基準端面２２の外側に矩形のはみ出し検出ウィンドウ２３の一辺を一致させて配し、はみ出し検出ウィンドウ２３に、光ディスク１の一部が含まれているとき、カバーシート４ｂがディスク基板２に対してずれていると判断する。 （もっと読む）

【課題】 測定誤差の少ない変位センサを提供することを目的とする。
【解決手段】 変位センサは検出光を出射するレーザダイオード１１と、検出光を収束させて被測定対象物Ｗに照射させる光学部２１と、被測定対象物Ｗからの反射光を受光するためのフォトダイオード２５並びに、検出光の焦点位置を光軸方向に振動させるための加振部３１並びにＣＰＵ３５を主体として構成され、これら全体が合焦装置を構成している。そして、ＣＰＵ３５は対物レンズ２３の振動の周期Ｔ、振幅Ａから対物レンズ２３の振動曲線Ｓｏを特定するとともに、主としてフォトダイオード２５の受光信号Ｓｄから振動曲線の位相を決定する。その後、位相の調整を行って正規位相の振動曲線Ｓを算出し、これから合焦時における対物レンズ２３の位置を算出することとしている。このように、対物レンズ２３の位相を受光信号Ｓｄに基づいて決定すれば応答遅れの排除可能で、測定誤差の少ない変位センサを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】
プリント板に付された認識マーク（バーコード）からプリント板を特定する基板工程情報を取得するのに係る時間的、コスト的負担を軽減できる印刷はんだ検査装置の提供である。
【解決手段】
測定手段１００によりプリント板の表面にレーザ光を走査しつつ照射させ、その反射光から得られるプリント板表面の各位置における高さ方向の変位を示す測定値を取得して測定値記憶手段６に記憶し、その測定値に基づいて判定手段８が印刷はんだの形成状態の良否を判定し、コード検出手段９が測定値記憶手段６に記憶された測定値から認識コードのパターンを検出し、検出された認識コードのパターンから翻訳手段１０が基板工程情報を読み出す構成とした。 （もっと読む）

【課題】 高い精度をもって測定対象の位置情報を測定することができる干渉計システム及び干渉計システムにおける信号処理方法等を提供する。
【解決手段】 検出信号Ｋ１は測定対象に測定光を照射して得られる信号をディジタル化した信号であり、急激に周期及びパルス幅が変動しない性質を有する信号である。フラグ生成部２２は検出信号Ｋ１を同期化させた同期化信号Ｋ２の立ち上がり及び立ち下がりを検出する。周期計測部２３は、同期検出信号Ｋ２に含まれる各パルスの周期及びパルス幅を計測して同期検出信号Ｋ２を１周期遅らせた遅延検出信号Ｋ３を生成する。エッジ監視部２５は遅延検出信号Ｋ３の立ち上がり位置等を検出し、補完カウンタ部２４はエッジ監視部２５から出力される補完開始終了信号ＳＴに基づいて補完信号ＫＣを生成し、遅延検出信号ＫＣのパルス異常が生じている箇所を補完する。 （もっと読む）

【課題】サーチカメラによる低倍率での位置検出結果に基づいて、レチクルマークをファインカメラの中心近傍に適切に配置することののできるレチクルアライメント系を提供する。
【解決手段】サーチ観察系２２８の光学素子２２１又はモニタ用撮像素子２２２の倍率量、ディストーション量あるいは回転量に起因するサーチ計測誤差を予め検出し、補正マップとして記憶しておき、実際のサーチ計測結果をこの補正マップを用いて補正する。これにより、ファイン計測の際には、ファイン観察系２２９の視野中心に適切にレチクルアライメントマークＲＭが配置され、レチクルアライメントマークとウエハ基準マークの位置合わせを高精度に行なうことができる。
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本発明は、照明光を短波長化しなくても、確実に繰り返しピッチの微細化に対応できる表面検査装置および表面検査方法の提供を目的とする。そのため、被検基板２０の表面に形成された繰り返しパターンを直線偏光Ｌ１により照明する手段１３と、表面における直線偏光Ｌ１の振動面の方向と繰り返しパターンの繰り返し方向との成す角度を斜めに設定する手段１１，１２と、繰り返しパターンから正反射方向に発生した光Ｌ２のうち、直線偏光Ｌ１の振動面に垂直な偏光成分Ｌ４を抽出する手段３８と、偏光成分Ｌ４の光強度に基づいて、繰り返しパターンの欠陥を検出する手段３９，１５とを備える。 （もっと読む）