【課題】歪検出を簡易かつ高精度に行なうことができる。
【解決手段】検査面１ａに対し帯パターンが並行する所定の図形を照明パネル２Ａ，２Ｂによって所定角度で投影するステップと、投影された上記図形の画像をＣＣＤカメラ３Ａ，３Ｂにより検査画像として得るステップと、上記図形を上記所定角度と同一角度で平坦面に投影して得られた基準画像と上記検査画像の差分面積を検出するステップとを備え、差分面積の大きさによって前記検査面の歪の程度を検出する。 （もっと読む）

【課題】必要とする測定点の抽出及び可動式ホーム柵の測定が可能となり、信頼性が高く、しかも、安全で高能率な測定作業を行うことができる可動式ホーム柵測定技術を提供する。
【解決手段】離れ測定手段によって測定された測定データの変化量が閾値より大きい場合に、台車上の柵本体頂部及び支障物センサボックス頂部を測定することができる位置に設置された上部非接触位置センサにより、軌道と直交する方向の縦断プロファイルを測定し、上部非接触位置センサによって測定された測定データの変化量から支障物センサボックス設置箇所であると判定した場合に、柵本体頂部の離れと支障物センサボックス頂部の高さと離れ、支障物センサボックス下部の離れをそれぞれ求める。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で素材、板厚、端面の状態等を含めたガラス基板等の状態の検査を行うことが可能なガラス基板検査装置及びガラス基板製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】画像データを解析する解析手段を有し、前記解析手段は、前記画像データから特定の色の画像データを抽出する色抽出手段と、前記色抽出手段により抽出された前記特定の色の画像データを含む第一の所定領域の画像データの色の変化に基づき前記ガラス基板の端面に対する加工が行われているか否かを検出する端面状態検出手段と、
を有する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の視認性や人の作業効率に影響を与えることなく、高精度かつ確実に被測定物の３次元形状を導出する。
【解決手段】３次元形状測定装置１１０は、被測定物１０２に投光する投光源１５０と、被測定物で反射された反射光を受光し投影像を形成する受光素子１６０と、２値化された制御信号を生成する信号生成部１７０と、被測定物に照明光を照射する照明装置１２０を制御信号が第１状態を示す間消灯する照明制御部１６２と、制御信号が第１状態を示す間に、受光素子に投影像を形成させる投影像形成制御部１７２と、受光素子で形成された投影像に基づいて被測定物の３次元形状を導出する３次元形状導出部１７６とを備える。 （もっと読む）

【課題】超電導線材の欠陥を感度よく検査する
【解決手段】超電導線材の検査装置は、超電導線材（２０）の表面（２０ａ）の法線方向に光を照射する青色ＬＥＤ（１）と、超電導線材（２０）の表面（２０ａ）の法線方向と角度をなす方向に光を照射する赤色ＬＥＤ（２）と、超電導線材（２０）からの反射光（Ｂ１）を主として受光し、かつ超電導線材（２０）からの散乱光（Ｃ２）を主として受光するカラーラインセンサ（３）と、カラーラインセンサ（３）にて受光した光の光量を積算して出力するコンピュータ（５）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】従来の２次元画像処理装置と同様に、利用可能な処理項目を提示して３次元計測の処理のシーケンスを作成させるユーザインタフェースを持つ画像処理装置を提供する。
【解決手段】２次元画像処理の複数の項目、および３次元計測処理の少なくとも１つの項目が登録された画像処理装置において、ユーザによる処理項目の選択に応じて２つの画像Ａ０，Ａ１を用いた処理のシーケンスを設定して実行する。２次元画像処理の項目には、画像Ａ０に対し、あらかじめ登録されたモデル画像との一致の程度が高い領域７１の代表位置を特定する処理項目が含まれる。この処理項目を含むシーケンスに組み込まれる３次元計測用の項目は、画像Ａ１に対し、上記のモデル画像との一致の程度が高い領域８１の代表位置を特定する処理と、各領域７１，８１の代表位置を用いて３次元計測用の演算処理を実行する処理とを実行するように設計される。 （もっと読む）

【課題】計測対象物の平面部と凹部とを正確に分離可能な表面計測装置を実現する。
【解決手段】計測点読取処理１１０が読み取った計測点データは範囲外点排除処理１１１で範囲外データが排除される。最頻点抽出処理１１２は抽出した計測点データから最小二乗法で直線を作成し計測点と直線との差を作成する。ヒストグラムを作成し第１の閾値と平均値を算出し閾値と平均値とが同一とみなせるかどうかを判定する。同一ではない場合、閾値以下の計測データを排除し、直線近似から再処理を行い、閾値と平均値とを再度算出する。算出した閾値と平均値とが同一とみなせるまで処理を繰り返し実行する。 （もっと読む）

【課題】数十μｍから百数十μｍ程度の孔径の孔においても正確な検査が実施できる検査方法を提供する。
【解決手段】検査方法は、孔基板に形成された孔の状態を検査する検査方法であって、孔基板における第一の面の方向から撮影した孔の孔画像を取得する画像取得工程と、孔画像から孔の状態を判定する状態判定工程と、を有し、状態判定工程は、孔画像における孔基板の第一の面と反対側の第二の面から孔の壁面にかけて形成された膜の端面の部分の端面画像から、端面の位置である膜端位置を取得する膜端位置取得工程と、膜端位置によって膜の第二の面からの入り込み量を判定する入り込み量判定工程と、を有す。 （もっと読む）

【課題】判定時間が短く、かつ、小形化や低コスト化が可能な外形判定装置を提供する。
【解決手段】被判定物を載置する矩形状の載置面３ａを有する載置台３と、載置面３ａの周縁に設置される、横方向送光用光導波路１Ｘと、横方向受光用光導波路２Ｘと、縦方向送光用光導波路１Ｙと、縦方向受光用光導波路２Ｙと、載置面３ａから上方に起立する高さ方向送光用光導波路１Ｚと、高さ方向受光用光導波路２Ｚと、上記縦方向，横方向および高さ方向の送光用光導波路１Ｘ，１Ｙ，１Ｚの送光用光コア２２に接続された光源Ｄ１と、上記縦方向，横方向および高さ方向の受光用光導波路２Ｘ，２Ｙ，２Ｚの受光用コア２３に接続された光電変換素子Ｃ１と、この光電変換素子Ｃ１からの光遮断信号を受けて演算処理し被判定物の外形を算出する外形算出手段４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高い精度で計測でき且つ安全性の向上が図られ、積雪深の測定
結果を階的に警報出力できるものである。
【解決手段】
本発明は図１に示すように、積雪の表面に向けたスキャナより、レーザ光線を発光
させ、扇状に往復走査し、雪による反射光がスキャナに戻り受光するまでの位相差を
検出して距離を測定し、その距離データを送信するセンサー部と、前記センサー
部から受信した距離データを積雪深データに変える演算手段と、積雪深データを
出力する機能と、予め積雪深データの設定値を信号出力する機能を持つ処理部
からなる積雪深計測システム。 （もっと読む）

本発明は、検出光学系を用いて、異なる観測角で検出器面上に測定体積を投影できる多数の検出器面の各検出器面上への測定体積の投影形状を規定する光学イメージング関数の組を求める方法に関する。本発明による方法は、各体積位置（Ｘ，Ｙ，Ｚ）への画像点（ｘ，ｙ）の対応関係に加えて、測定体積内の点状の粒子の投影形状を形状パラメータ（ａ，ｂ，φ，Ｉ）によって規定するとともに、検出器面毎に体積位置（Ｘ，Ｙ，Ｚ）をそれに対応する形状パラメータ値の組に対応付けるものと規定する。
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【課題】同期信号等の出力インタフェースを有しないカメラを使用し、撮像と被測定物またはカメラの位置情報を、制御回路を使用せずに同期して撮像を行う非接触計測装置および非接触計測方法を提供することを課題としている。
【解決手段】非接触計測装置は、アクチュエーター１０、レーザー１２、カメラ１３、信号処理・制御ユニット２０、画像表示装置３０から構成されている。信号処理・制御ユニット２０は、制御部１０１と、画像データ取り込み部１０２と、グレースケール変換部１０３と、画像データ記憶部１０４と、相関比較部１０５と、停止判定部１０６と、輝度抽出部１０７と、重心算出部１０８と、高さ算出部１０９と、計測結果出力部１１０とから構成されている。 （もっと読む）

【課題】多層膜に光を照射してその反射光から光学膜厚を測定し、この光学膜厚から物理膜厚を演算する構成の膜厚計では、測定対象の多層膜や測定する光学膜厚が異なると、光学膜厚と物理膜厚の関係式も異なる。このため、測定に特別な知識が必要になり、また測定対象が変わると新しい関係式を設定するために改造が必要になるという課題を解決する。
【解決手段】測定した光学膜厚と各層の物理膜厚をベクトルと考え、多層膜を構成する各層の屈折率を入力して、この屈折率を用いて光学膜厚から物理膜厚を演算する係数行列を算出し、この係数行列と測定した光学膜厚から物理膜厚を演算するようにした。多層膜の構成や光学膜厚に依存しない汎用的な手法で物理膜厚を演算できるので、特別な知識や機器の改造がなくても、新しい多層膜の測定ができる。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の特徴である可干渉性を利用するとともに、被測定物の２つの測定点間の厚み方向の距離を高精度に測定する測距方法及びレーザ測距装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る測距方法及レーザ測距装置によれば、測定光を第１測定光と第２測定光とに分割し、第１測定光を被測定物６の第１測定点Ｓ１に照射した上で、第１測定光と参照光との光路長が等しくなる反射点の位置を取得する。また、第２測定光を被測定物６の第２測定点Ｓ２に照射した上で、第２測定光と参照光との光路長が等しくなる反射点の位置を取得する。そして、これらの位置に基づいて第１測定点Ｓ１と第２測定点Ｓ２間の厚み方向の距離を高精度に測定する。 （もっと読む）

【課題】操作者の負担を大幅に軽減しながら、細胞内の特定の領域における蛍光を正確に精度よく定量して、たんぱく質の局在や移行を正確に検出・特定することの可能な三次元細胞画像解析システム及びそれに用いる解析装置を提供する。
【解決手段】三次元細胞画像撮像装置１と、三次元細胞画像解析装置２を有する三次元細胞画像解析システムであって、撮像装置１は、蛍光標識された特定のたんぱく質の細胞内挙動を観察可能であるとともに、試料への合焦位置をＺ方向に連続的に変えて結像する観察光学系１ａと、光学系１ａを介して結像された細胞像を撮像する撮像素子１ｂを有し、解析装置２は、コンピュータを、撮像装置１を介して取得された三次元の蛍光細胞画像を解析して、特定の細胞内領域へのたんぱく質の局在あるいは移行を定量化する局在・移行定量化手段２ａとして機能させる画像解析ソフトウェアを備える。 （もっと読む）

【課題】第８世代や第１０世代のガラス基板に対する欠陥検査や欠陥修正に対応できる基板保持装置を実現する。
【解決手段】本発明による基板保持装置は、固定端とテンション端との間に張架されると共に第１の方向に沿って延在する支持ワイヤ（７〜１０）を含む複数のワイヤ支持機構（３〜６）と、ワイヤ支持機構の各支持ワイヤに対して第１の方向に沿って移動可能に連結されたステージ（３０）と、ステージを第１の方向に案内するガイド手段（４４）と、ステージを第１の方向に沿って移動させる駆動装置（５１，５３）とを具える。ワイヤ支持機構の各支持ワイヤは、同一の平面内において互いに平行に張架され、複数の支持ワイヤ上に基板が載置された際、当該ステージは、支持ワイヤ上に載置された基板の裏面と直接対向しながら第１の方向に移動する。ステージは、基板の裏面と直接対向しながら第１の方向に移動するので、支持ワイヤによる影響を受けることなく各種処理を行うことができる。 （もっと読む）

短時間で良好な物体認識を行う。本発明に係る物体認識方法は、予め作成した物体モデルを用いて、観測場面に含まれる対象物体を認識する物体認識方法であって、観測場面の距離画像を生成し、距離画像から注目点を検出し、注目点を含む領域の特徴量である第１の特徴量を抽出するし、第１の特徴量と、物体モデルの距離画像の領域の特徴量である第２の特徴量と、のマッチング処理を行い、マッチング処理結果に基づいて、観測場面の座標系に第２の特徴量を射影するための変換行列を計算し、変換行列に基づいて、物体モデルに対して対象物体を認識する。
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【課題】生産性を低下させることなく、精度の向上した電子写真感光体の検査方法を提供する。
【解決手段】光学検査第一工程で、電子写真感光体に白色の光を照射し、その反射光を測定し測定された電流値に基づいて、感光体の被疑欠陥の有無を判定し、電気検査第一工程で、感光体表面に導電性ローラを圧接して感光体を回転させながら直流電圧を印加し、導電性ローラから感光体へ流れる電流を測定し、測定された電流値に基づいて、感光体の欠陥の有無を判定する。検査した感光体のうち、光学検査第一工程で被疑欠陥が検出され電気検査第一工程で欠陥が検出されなかった感光体のみに対して、レーザー光を照射し、その光の反射光を測定し、測定された電流値に基づいて、感光体の被疑欠陥の有無を判定する光学検査第二工程を実施する。 （もっと読む）

【課題】 ウェーハを検査するための方法およびシステム。
【解決手段】 このシステムは、光検査ヘッド、ウェーハテーブル、ウェーハスタック、ＸＹテーブルおよび振動絶縁装置を含む。光検査ヘッドは、複数の照明器、画像収集装置、対物レンズおよび他の光学部品を含む。このシステム及び方法は、明視野画像、暗視野画像、３Ｄ形状画像および検査画像の収集を可能にする。収集画像は、画像信号に変換され、かつ処理のためにプログラマブルコントローラに伝送される。ウェーハが動いている間、検査が実行される。収集画像は、ウェーハ上の欠陥を検出するための基準画像と比較される。基準画像を作り出すための例示的な基準作成プロセスおよび例示的な画像検査プロセスもまた、本発明によって提供される。基準画像作成プロセスは、自動プロセスである。 （もっと読む）

【課題】表面の一部に傾斜面あるいは曲面が存在する計測対象物体、あるいは傾いた計測対象物体に対して高精度な計測を可能とする光学式計測装置を提供する。
【解決手段】遮光部２１２は、拡散反射光５７の受光中心軸５６に対する入射角度範囲を規定するように構成される。すなわち開口２１２ａの径によって、拡散反射光５７が遮光部２１２の開口２１２ａを通過するときに拡散反射光５７の進行方向と受光中心軸５６とがなす最大角度θが規定される。また、投光部２０２は、計測対象物体５の表面５Ａで正反射された投光ビーム（すなわち反射光ビーム５６）のうちレンズ部２１１により集光される成分について、受光中心軸５６上での集光位置Ｐが受光中心軸５６上における遮光部２１２の範囲内に含まれるように投光ビーム５３を投光する。 （もっと読む）