【課題】 例えば２００〜４００℃の高温で使用でき、残響によるノイズを低減してＳＮ比を高めることができ、歩留まりを高め、キャリブレーションや試験に要する時間を短縮し、互換性を高め必要な予備品数を減らすことができる２振動子型高温用超音波探触子を提供する。
【解決手段】 送信又は受信する超音波の中心軸１１が被検査物の内部で交差する送信用及び受信用の探触子１０と、２つの探触子を着脱可能に取り付け被検査物１との間で超音波を伝播する耐熱性の伝播補助部材２０とを備える。伝播補助部材２０は、被検査物の計測面1aと接触する接触面２２と、接触面に近接して内部に設けられ接触面に対向し中心軸に直交する内底面２４と、内底面から中心軸を軸心として外面まで延びる１対の雌ネジ孔２６とを有する。２つの探触子１０は、雌ネジ孔と螺合する雄ネジ部１２と、雄ネジ部の上部に同軸に設けられ雄ネジ部より大径の拡径部１４と、拡径部の上面に固定された超音波振動子１６とからなる。雄ネジ部１２の下面１３は、伝播補助部材２０の内底面２４と密着するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 水晶振動子の周波数温度特性を改善し、低レート成膜にも十分に対応できる膜厚監視方法および膜厚監視装置を提供する。
【解決手段】 センサヘッド５に保持された水晶振動子の表面に成膜材料を付着させ、この成膜材料の堆積による水晶振動子の共振周波数の変化量を測定し、被処理基板Ｗ上に堆積される成膜材料の膜厚を監視する膜厚監視方法において、センサヘッド５の温度が８０℃を超えるまでは、水晶振動子１０の冷却処理を行わないようにする。また、水晶振動子１０としては、室温から８０℃付近までにおける温度ドリフトが２０ｐｐｍ以下の水晶基板を用いる。これにより、室温から８０℃付近までの温度範囲における共振周波数の温度ドリフトを微量に抑制し、高精度な膜厚監視および成膜レートの制御を実現できるとともに、数Å／ｓ程度の低レート成膜にも十分に対応可能となる。 （もっと読む）

【課題】 鋳片品質に悪影響を与えることなく鋳片凝固層厚みを精度良く検出することができる、連続鋳造機の鋳片凝固層厚み検出装置を提供すること。
【解決手段】 鋳片５１に接触して回転する鋳造ロール５２の外周面にペースト状又は粉体状の低融点物質からなる鋳造ロール用接触媒質１６を間欠的に供給する鋳造ロール用接触媒質供給手段と、接触媒質１３を介して鋳造ロール５２に接触させる超音波探触子１１と、前記鋳造ロール用接触媒質１６を介して鋳造ロール５２と鋳片５１とが接触しているときの超音波探触子１１で受信した超音波エコーＳ２と鋳造ロール用接触媒質１６が存在せずに接触しているときの超音波エコーＳ１との差分により、鋳片５１の凝固層と未凝固層との境界面エコーを検出し、該境界面エコーに基づいて鋳片凝固層厚みを求める計測手段と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】板状物に傷を付けずにその厚みを正確に計測する。
【解決手段】保持テーブルに保持された板状物２の上面２ａに向けて流体を流出させて流体膜３を形成すると共に、筒体１２の内部に流体柱４を形成し、送波部１７から超音波を送信してからその反射波が到達までの時刻から板状物２の厚みを求める。筒体１２は板状物２の接触しないため、板状物に傷を付けることがない。 （もっと読む）

【課題】 頭部の皮膚表面から骨までの厚さが薄い箇所をピンポイントかつ容易に見つけることで、結果として、骨伝導携帯電話や骨伝導ヘッドホン、歯科用切削音対策骨伝導スピーカーなど、骨伝導スピーカーを有する電子機器の聴き取り効果やノイズ抑圧効果の絶対的な向上を図ることを目的とする。
【解決手段】 被検査体（人体）の内部に向かって超音波パルスを送出し、界面からの反射波をプローブ１１によって検出することで、その被検査体（人体）の表面から前記界面までの厚さを検査する超音波検査方法において、プローブ１１を生体の頭部（例えば顎，こめかみ，耳部後方）に当接し、皮膚表面から骨までの厚さが薄いところを検査することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 パイプ間の狭隘部で発生した部分摩耗箇所を検査可能なパイプの部分摩耗検査器及び部分摩耗箇所を画像で確認しながら検査が可能な部分摩耗検査設備を提供する。
【解決手段】 パイプ１１の部分摩耗箇所を画像で確認しながら検査する部分摩耗検査設備１０は部分摩耗箇所を検査するパイプの部分摩耗検査器１２と部分摩耗箇所を見出すパイプ側面観察器１３を備え、パイプの部分摩耗検査器１２は操作棒１４と、操作棒１４の先部に設けられ上側に左右対称の傾斜面１５、１６を有するガイド部１７を備えた台座部材１８と、傾斜面１５、１６の任意に選択された一方の傾斜面１６に沿って傾斜して取付けられた傾動ガイド部材２１を有し、台座部材１８には傾動ガイド部材２１の回動範囲を規制するストッパー３４が設けられ、傾動ガイド部材２１に設けられた超音波探触子取付け部３９には超音波探触子４３が基部から先部方向に付勢されて取付けられている。 （もっと読む）

本発明は、長手方向軸の周りで対称的な円筒状表面を有する物体（８）の寸法的な特性評価用の装置に関する。該装置は、６つのパルス波を放射し、各測定点で反射された該パルス波を収集するのに使用される少なくとも６つのプローブ（Ｓ_i）を有し、各プローブは、円筒状表面の個別の測定点に向けてそれぞれ配置されている。該装置は、各測定点の位置を計算する第１の手段と、該測定点の各々の対応する位置から補間によって円筒状表面の特性曲線を計算する第２の手段とをさらに有する。
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【課題】 経時的に堆積される薄膜の膜厚を別部材を用いずとも簡単かつ容易に、さらには使い捨て可能な低コストで的確に測定しうる膜厚計を提供すること、及び該膜の成膜操作において、膜厚を簡単かつ容易に、さらには低コストで、的確に測定する方法を提供する。
【解決手段】 膜厚計を経時的に堆積される薄膜の膜厚を測定するための検出材料として圧電セラミックを用いてなる発振式質量膜厚計とし、また、膜厚測定法を、経時的に堆積される成膜操作において、それにより得られる成膜本体とは別に、検出材料として圧電セラミックを配設し、その表面に成膜本体と同様に或いは成膜本体の膜厚に比例して成膜させ、それによる質量変化に比例する、該圧電セラミックを組み入れた発振回路の発振周波数の変化を利用して行うものとする。 （もっと読む）

炉から収集した検査データを表示するシステムおよび方法を開示する。システムは検査データ（１１２）を格納する記憶装置（１０６）を備える。また、システムは、検査データ（１１２）を炉の物理的ジオメトリと相関させるように、複数のデータマーカで検査データ（１１２）を分割するようプログラムされるコンピュータを備える。各データマーカは、（曲管、外部の隆起した表面、クロスオーバ配管、サーマルウェル、溶接部、フランジ、スケジュールの変化、および／または直径の変化といった）炉の物理的特徴の位置を識別する。また、好適には、コンピュータ（１０２）は、分割した検査データの表示を生成するようプログラムされ、表示は炉のチューブセグメントの２次元または３次元表示である。そして、この表示を使用して、炉内の問題領域を視覚的に検出してもよい。システムおよび関連方法の様々な典型的な実施形態が提供される。
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