【課題】 膜厚測定装置において，膜厚の厚みに関わらず膜厚を測定することが可能とする。
【解決手段】 交流電源３からの電力の供給によって励振するピエゾ素子４が支持部２に取り付けられている。ピエゾ素子４には，測定部６を有するカンチレバー５の一端部が固定される。カンチレバー５内には，ピエゾ抵抗素子７とヒータ８が内蔵されている。ピエゾ素子４を励振させ，測定部６表面に形成される膜の膜厚の増大によって変化するカンチレバー５の共振周波数を信号処理装置１１によって観測する。記憶装置１３には，カンチレバー５に形成される膜の膜厚とカンチレバー５の共振周波数との関係のデータが予め記憶されており，このデータと観測した共振周波数とを演算装置１４によって比較照合することで，測定部６の膜厚や膜厚形成レートを測定できる。 （もっと読む）

【課題】成膜工程中の薄膜の膜厚を高い精度でモニタすることが可能な膜厚のモニタ方法を提供する。
【解決手段】水晶板１２_X（１２₁〜１２₁₂）を保持するステンレス鋼製の水晶板ホルダ１３と、共振周波数を検出するための羽型電極１４_X（１４₁〜１４₁₂）を保持するＰＴＦＥ樹脂製の電極ホルダ１５と、水晶板ホルダ１３と電極ホルダ１５とから成る回転可能な円板１６を回転させる真空用パルスモータ１８と、水晶板ホルダ１３と電極ホルダ１５と真空用パルスモータ１８とを被うステンレス鋼製の水冷式ジャケット１９と、水晶板ホルダ１３を成膜方向から被う窓２１付きのステンレス鋼製のマスク２０とを備え、あらかじめスパッタ成膜により、成膜工程で用いる成膜材料を前記水晶振動子のそれぞれの成膜側の表面に被覆し、その後、成膜材料を用いる成膜を行う際に、成膜材料が被覆されている水晶振動子を選択して切換えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表面に付着した酸化膜の厚さを超音波共鳴によって簡単かつ高精度に測定することを可能にする。
【解決手段】被測定物１０の表面に付着した酸化膜１２の厚さを超音波共鳴周波数スペクトルに基づいて測定するに際し、被測定物１０の厚さ方向における超音波共鳴周波数を２以上の共鳴次数で測定し、ｎ（任意整数）次共鳴周波数とｎ＋１次共鳴周波数の差の逆数にｎ次共鳴周波数を乗じる演算式により見かけの共鳴次数ｎｘを算出する。この見かけの共鳴次数ｎｘと整数の共鳴次数ｎとのずれを等価位相ψとし、この等価位相ψの周波数に対する傾きｋをあらかじめ用意した検量データと照合させることにより酸化膜の厚さｈを決定する。 （もっと読む）

本発明は、構造の特性を測定する装置に関係し、この装置は、放射を異なる波長で出力するように適合された、ポンプ第１放射およびプローブ第２放射を発生する放射発生手段1,2と、構造からの反射またはその通過後の第２ビームを検出して、解析される信号を発生する検出器手段6により、構造上で第１ポンプと第２プローブ放射の間に時間オフセットを生成する手段3と、信号を処理し、ジャンプに対応するゾーンを確認し、ジャンプの振幅を異なる波長の関数として決定し、波長に従って振幅を振幅の変化の理論的な振幅変化パターンと比較し、理論的なパターンの波長特性と比較し、構造の厚さおよび構造内の放射伝播速度に関係する特徴値を決定する手段7と、を備える。
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【課題】筒状体を伝播される超音波として、板波、特にラム波を用いることにより、筒状体内部に付着した付着層の厚みを測定することを目的とする。
【解決手段】一対の探触子２，３のうち一方の探触子２を検査対象の筒状体外面に固定すると共に、他方の探触子３が検査対象の筒状体１外面上を移動自在となるように設置し、上記の他方の探触子を移動させながら、上記両探触子間に超音波を送受信させることにより、筒状体にラム波を伝播させ、送信された周波数について上記探触子に受信される超音波の伝播時間及び振幅を測定し、上記の伝播距離、振幅、周波数及び伝播時間から選ばれる少なくとも３つの関係から、上記筒状体内面に付着した付着層の厚さの推定値を求める筒状体内面付着層の厚さ測定方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】千鳥配管のような狭い配管においても、伝熱管群の管軸方向及び上下方向に自在に移動でき、多少の伝熱管群の間隙寸法が変動していても、効率的かつ精度良く配管減肉量を測定可能なボイラ伝熱管の肉厚検査装置および方法を提供することを目的とする。
【解決手段】上部アーム機構、下部アーム機構、および駆動ローラ出没機構とを個別にまたは連動して作動させることによって、上部ローラ、下部ローラ、および駆動ローラとをボイラ伝熱管に押し付けて装置自身を保持するとともに、装置自身を管軸方向及び上下方向に移動させて、肉厚検査センサ出没機構を作動させ、超音波探触子ヘッド部をボイラ伝熱管に押し付けてボイラ伝熱管の肉厚を検査する。 （もっと読む）

本発明は、レーザーにより、膜（22）と接する気体または液体媒体中に屈折率回折格子を生じさせて、極めて薄い固体膜（22）を評価する新しい測定法を提供する。第1の実施例では、気体または液体媒体中の励起弾性波（25）が回折プローブビームの強度を変調し、固体試料で励起される弾性モードの周波数よりも低い周波数に信号成分が得られる。この低周波成分の振幅は、膜（22）によって吸収されるエネルギー量、すなわち膜厚と相関があるため、下地誘電体層上の金属膜の膜厚を測定したり、金属膜を検出したりする方法が提供される。
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【課題】 この配管板厚測定装置は，原子力発電所，火力発電所，化学プラント等の配管の板厚を，非破壊によって簡易に，信頼性に富んで精度良く測定する。
【解決手段】 この配管板厚測定装置は，予め任意に設定された超音波による入力信号を配管３に対して入力する信号入力センサ１と，信号入力センサ１の入力信号に応答して発生するラム波を検出する検出センサ２とを有し，信号入力センサ１と検出センサ２との間において特定の周波数機械振動のセンサ間の伝搬速度をラム波の伝搬速度分散に基づき求めることによって配管３の板厚を測定する。 （もっと読む）

ウエハの性状を測定するための測定システムは、４点プローブシステム等の伝導率測定を実行するための装置を、光音響測定システム等の光学測定を実行するための装置と組み合わせたものである。薄膜基板の性質を記述した包括的なデータセットを提供するために、結果が取得され組み合わせられる。 （もっと読む）

【課題】 搬送ローラの各シャフトにワイヤレスの発信センサと受信センサとを設けることにより、搬送ローラ自体の基本機能に加え、シート情報を測定する機能を兼ね備える。
【解決手段】 搬送ローラ１１は、第１ローラ１２Ａ、第２ローラ１２Ｂ、ばね部材１８およびシャフト１３Ａに設けられた超音波を発信する発信センサ５０Ａ、シャフト１３Ｂに設けられた超音波を受信する受信センサ５０Ｂを備えている。超音波信号は、シャフト１３Ａ→ピンチロール１４Ａ→（シート２００）→ピンチロール１４Ｂ→シャフト１３Ｂを経由して受信センサ５０Ｂに伝播される。伝搬される際の時間を計測するで、厚さを算出する。 （もっと読む）

【課題】 穴が空けられたシート材を搬送する際に発生する重送の誤検出を防止する。
【解決手段】 シート材搬送装置１０では、超音波センサ６０の搬送方向上流側に、光センサ６６が配設されており、超音波センサ６０のサーチ範囲を通過する穴Ｈが検出される。そして、穴Ｈが光センサ６６によって検出されると、穴Ｈが超音波センサ６０のサーチ範囲を通過する前後に超音波センサ６０から出力された超音波の波形を無効にする。 （もっと読む）

本発明は、パイプラインの安全な使用の寿命を判定する方法および装置に関し、以下のステップからなる。
ａ）パイプライン上で表面腐食解析の領域を画定するステップ。
ｂ）パイプライン上で画定された領域を走査するための腐食走査システムを提供するステップ。
ｃ）腐食走査システムによって画定された領域の表面上の腐食の位置を特定し、その腐食を測定するステップ。
ｄ）腐食走査システムによって画定領域でのパイプラインの残存壁厚を判定するステップ。
ｅ）ステップｃ）とｄ）とで得られた画定領域での腐食に関する表面状態データを処理して、パイプラインの安全な使用の寿命を判定するステップ。
別の態様では、本発明は、本発明による方法を実施するための腐食走査システムに関する。別の態様では、本発明は、パイプラインの安全な寿命を予測するための予測システムに関する。
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【課題】 基板上に形成された多層膜の各膜厚を超音波を用いて測定することができる膜厚測定方法を提供することであり、また、多層膜の各膜厚を非破壊的にあるいは成膜プロセスにおいて安全に安価、簡易にかつ高精度で測定することができる膜厚測定方法を提供すること。
【解決手段】 基板１上に形成された多層膜８の表面に超音波５を入射角θで斜入射した際の反射波７の反射率を測定し、反射率の強度が極小となる周波数（強度極小周波数）を指標として、多層膜８の内の一つの膜の膜厚を測定する膜厚測定方法であって、膜厚測定に強度極小周波数の高次モードを用いるものである。 （もっと読む）

【課題】 成膜時のモニタ感度を調整可能にする。
【解決手段】 基板上に成膜材料を成膜する成膜装置に設けられ、基板上に成膜された薄膜の膜厚をモニタする膜厚モニタ装置１であって、水晶振動子１１に向かって飛翔する成膜材料を間欠的に遮蔽するために、水晶振動子１１上に遮蔽部１２Ａ_２と非遮蔽部１２Ａ_１を交互に移動させる遮蔽手段１２（遮蔽部材１２Ａ，駆動モータ１２Ｂ）を設け、遮蔽手段１２の移動に対して、水晶振動子１１と遮蔽手段１２の相対位置を検出する位置検出手段１３（検出部１３Ａ，被検出部１３Ｂ）と、位置検出手段１３の出力によって、遮蔽手段１２を移動又は停止させる移動制御手段１４を備える。 （もっと読む）

【課題】 土木建築構造物、車両・輸送機器、送電設備、ガス・水道設備など屋内外あるいは海水・河川・水道水や土中などにおいて使用される金属製の機器あるいは構造物を構成している金属材料の腐食減量を簡便に計測確認方法。
【解決手段】 腐食環境において使用される金属製の機器あるいは構造物において、これらを構成している金属材料と同一組成の金属からなり、腐食原因物質に直接接触する母材が露出した部分と、高耐食材料により被覆された部分が表裏面として対を構成している腐食診断部品を設け、高耐食材料側から超音波を送り反射波を解析することで、残存板厚を計測することを特徴とする腐食減量確認方法。 （もっと読む）

【課題】既に確立したガイド波による探傷技術を基盤として、遠隔でかつ必要な時に探傷計測するシステムを構築し、更に、これまでの減肉スピードと金属材料の特質を配慮した減肉速度から将来の減肉予想、また、配管の交換時期を予測することを可能とするものである。
【解決手段】超音波信号変換器から出力された超音波信号を配管に入射させ、前記配管中をガイド波として伝播して管壁で反射した反射波を前記超音波信号変換器にて測定することにより前記配管の肉厚を計測する肉厚監視システムにおいて、前記反射波の高さと前記配管の断面減少率との相関関係を予め求め、該相関関係を利用して前記超音波信号変換器にて測定された反射波の高さから前記配管の減肉量を推定し、推定された減肉量が基準値を超えるときには、警告を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 タンク底板鋼板の板厚の測定をより効率的に行うこと。
【解決手段】 タンク底板の板厚を測定する板厚測定装置Ａであって、板厚測定装置Ａの筐体１には、装置Ａを車輪を用いて走行させる走行機構10と、超音波探触子22及び渦流型センサ23を搭載してタンク底板の情報を取得するための測定台車20と、測定台車20から得た情報を演算処理する演算手段30と、演算手段30により得た情報を表示する表示手段50と、超音波探触子22に対して接触媒質を供給する接触媒質供給手段60と、上記各手段に電源を供給する電源供給手段70と、を一体的に有することを特徴とする。 （もっと読む）

弾性表面波の侵入深さは波長に対応する。インパルス活性化温度散乱（ISTS）を利用して、より薄い膜を測定するために、測定波長を約１ミクロンまで減ずることが有利である。測定波長を減ずる１つの方法は、高い開口数を有するレンズを使用して、励起及びプローブレーザを光学システムにおいて、より広い角度で収束させることである。これを行う一方で、増大した光学的/機械的な許容誤差を、特定の波長に対して整合板又は減光フィルターのいずれかを調整することによって、励起レーザパターンとプローブレーザパターン間の位相を微調整することにより低減させることができる。特別に設計されたビーム遮断板を備える光学システムにより発生される望まれない回折次数ビームを遮断することは、長波長性能を維持する上で必要とされる。 （もっと読む）

内臓脂肪の量などを求めるために皮下脂肪を計測する際、計測時の計測部位の変形や計測者の計測方法の違いにより、計測結果がばらつき、安定した計測値を得ることがむずかしかった。 生体表面１に所定の面部を圧着させて皮下脂肪厚を計測する皮下脂肪計測部２、皮下脂肪計測部２から生体表面１へ加わる圧力を計測する押し当て圧力計測部６、生体表面１への圧力の無い状態での複数種類の皮下脂肪厚の値と、その複数種類の皮下脂肪厚のそれぞれについての生体表面へ加わる圧力と、その圧力が加わっている状態での皮下脂肪厚との関係についての情報を持つデータベース２５、皮下脂肪計測部２で計測した皮下脂肪厚と、押し当て圧力計測部６で計測した生体表面１へ加わる圧力に基づいて、データベース２５を利用して、生体表面１への圧力が無い状態での皮下脂肪厚を算出する演算部７と、算出された皮下脂肪厚から内臓脂肪の量を算出する内臓脂肪演算部５１を備えた。
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【課題】マイクロメートル程度以下の薄膜に対する膜厚測定を高精度で行い、バックグランド成分を除去する仕組みを持つ装置を提供する。
【解決手段】バックグランド信号の混入防止のため、以下の方法を組み入れた薄膜評価装置とする。（１）周波数の違いを利用し、周波数フィルターでバックグランド成分の元となる光を除去する。（２）光路の違いを利用し、振動検出信号の強度だけがある周期で振動するようにし、その周波数成分を含む信号のみ抽出する。（３）振動検出信号成分とバックグランド成分の位相が９０度ずれるようし、ロックインアンプでバックグランド成分を除去する。（４）振動検出信号の周波数をバックグランド信号の周波数の倍にし、振動検出信号の周波数に合わせて信号検出を行い、バックグランド信号を除去する。 （もっと読む）