【課題】積層鉄心の積みズレ測定方法及び測定装置において、積層鉄心の積層面における積みズレの測定を高精度且つ迅速に行う。
【解決方法】積層鉄心の積みズレ測定方法は、積層方向に沿って、積層鉄心（１）の積層面のプロファイルを取得する工程と、プロファイルのうち傾きの絶対値が所定の閾値を超える領域を鉄心間の谷間であると特定する工程と、プロファイルを特定された谷間を境界としてサブプロファイルに分割する工程と、サブプロファイル毎に波形の極大値を算出する工程と、算出された極大値のうち、最大のものと最小のものとの差異を積みズレとして算出する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 生タイヤの生産を停止させずに成型ドラム上のタイヤ構成部材を検査すること、及び検査した部材とそれを成型した生タイヤとを対応させることを可能にする。
【解決手段】 成型ドラム４にタイヤ構成部材５を貼り付けた後、成型者がジョイント合わせ等を行っている機械の待ち時間に、点観測式レーザ変位計１により、タイヤ構成部材５の表面迄の距離を測定する。その測定データと、予め測定しておいた成型ドラム４の表面迄の距離の測定データを基に、タイヤ構成部材５の断面形状データ及び貼り付け位置データを求める。求めたデータを、そのタイヤ構成部材５を用いて成型する生タイヤのバーコードとともにデータベース３に保存する。また、求めたデータとマスタデータとを比較処理部９で比較し、差が所定の閾値を越えた場合、比較結果出力部１０でアラームを出力する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物に形成された円形孔の軸に垂直な断面形状を測定する技術を提供する。
【解決方法】断面形状測定装置１０は、移動機構２６と、回転機構３８と、距離センサ１２と、コンピュータ２０によって測定手段を構成しており、下限位置Ａ２において基準軸３２の回りの断面形状（測定形状）を測定する。コンピュータ２０は演算手段を構成しており、測定手段によって測定された楕円形状となる測定形状の長径と短径の長さ及び長径方向に基づいて、測定対象物１６に形成された円形孔３４の軸に垂直な断面形状を測定する。下限位置Ａ２における測定形状のみをもちいて、円形孔３４の軸に垂直な断面形状を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】被測定物の３次元形状を規定した測定点群から精度よく簡便に形状測定する形状測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物の形状を規定した３次元の測定点群データ２が３次元測定装置８から出力されると、形状測定装置１の断面抽出部３が、測定点群データ２から所定の切断面に含まれる測定点を抽出した断面点群データ４を生成する。測長領域設定部５は断面点群データ４に測長領域を設定する。入出力装置７を介して、ユーザから測長領域の断面点群が指定されると、測長部６がその断面点群を用いて被測定物の外側寸法、内側寸法、２点間寸法、角度等を測定する。 （もっと読む）

【課題】複数のセンサのドリフトが生じた後の零点誤差の補償を容易に行うことができる多点プローブの零点誤差の変動検出方法を提供する。
【解決手段】
多点プローブの零点誤差の変動検出方法は、センサユニット２２０をスピンドルにて回転されている状態の試料の測定面に相対するように配置して、試料が１回転する間において、試料が所定回転角度回転する毎に複数の変位センサＡ，Ｂ，Ｃから出力される試料の測定面における同心円に沿う形状値及び零点誤差を含む測定値をＣＰＵ３１０に読取りさせて記憶装置３４０に記憶させる。記憶装置３４０が記憶した、同一の試料に関する新しい測定値と古い測定値とに基づいて、零点誤差の変動量を算出する。 （もっと読む）

【課題】多点プローブにおいて、複数のセンサのドリフトが生じた後の零点誤差の補償を容易に行うことができる多点プローブの零点誤差関連値記録装置を提供する。
【解決手段】
零点誤差関連値記録装置は試料を回転させるスピンドルと、複数の変位センサＡ，Ｂ，Ｃを含む真直形状測定用のセンサユニット２２０を試料の測定面に相対するように支持するセンサキャリッジ２３０を備える。試料が所定回転角度回転する毎に変位センサＡ，Ｂ，Ｃから、試料の測定面における同心円に沿う形状値ｆ（ｒ_F，θ），ｆ（r₀，θ），ｆ（r_R，θ）及び零点誤差を含む測定値をＣＰＵ３１０が読取り、読取りした形状値及び零点誤差を含む測定値を記憶装置３４０に記憶する。 （もっと読む）

【課題】レンズ単体で直線性、フォーカスずれ量等の長尺レンズの特性を評価するレンズの評価方法の提供。
【解決手段】レンズ測定面のＸＹＺ測定データ点列とレンズ設計式の座標ずれ量から得たＸＹＺ位置のずれ量と各ＸＹＺ軸周りの回転方向の各ＡＢＣ方向の各チルトずれ量のうちの所定断面内での平行移動２方向とチルトの計３方向の位置ずれ量以外はレンズ全面での各位置と各チルトずれ量を用い、レンズ所定断面の測定データを所定ピッチで順次抽出した測定データを用いて計算してレンズ全面での各断面の平行移動量とチルトを求め、レンズ特性を評価する。 （もっと読む）

【課題】本発明は平面形状の高精度測定を変位計の走査によって実現することを課題とする。
【解決手段】面上の半径rの円に沿う凹凸を変位計Ｄｂの回転走査で測定するときに，回転中の軸方向の出入りを検出する変位計Ｄａと，変位計Ｄａ，変位計Ｄｂの測定点を結ぶ直径上の，半径Rの円に沿う走査測定をする変位計Ｄｃ，変位計Dｄ，合計４本を用意して，半径Rの円が描かれる面が回転走査軸と同心で，前記半径ｒの円に対して相対的に180度回転した位置にも反転設置できる基準円輪ＳＣ上にある形にし，基準円輪ＳＣの反転操作の前後の回転走査における４本の変位計の出力から，合計６つを選んで用いることで，走査のための回転運動誤差と半径ｒの円と半径Rの円に沿う凹凸形状を分離同定する。この結果得られた円に沿う凹凸形状と，別の方法を用いて複数の直径上で得られた直線に沿う凹凸形状とを数学的に合成すると平面を正しく構成することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】マイクロおよびナノ加工の結果を完全に実現するためには、ナノメートル範囲の精度でマシンツールを位置決めし、その位置をサブナノメートル範囲内でロックする方法を提供する。
【解決手段】複数の位置ポイントにおいてプロファイルの導関数の数値平均を計算し、各導関数値からこの平均を減算して新しい導関数値を得るて、次にこれらの新しい値を、最高値が１の値を有するように正規化し、次に、正規化値を１よりも大きな値で乗算し、これらの値を１よりも大きな値でべき乗する。全体的な効果として、エッジの直近エリアにおいてのみ導関数値が増幅されることにより、エッジの位置がより精確に決定されるので、単一のポイント３００、３１０が、マイクロ構造のエッジとして識別される。 （もっと読む）

【課題】異なるタイヤ間において、子午断面形状を定量的に比較すること。
【解決手段】このタイヤの形状の比較方法は、タイヤの子午断面形状を、原点からの距離を表す動径Ｒとこの動径Ｒの傾きθとによって座標を表現する極座標系における数値情報で表す。例えば、タイヤの子午断面形状が直交座標系の座標表示（ｘ_i、ｙ_i）で表されている場合、これを極座標系の座標表示（ｒ_i、θ_i）で表す。ここで、ｒ_i＝√（ｘ_i²＋ｙ_i²）、θ_i＝ｔａｎ^-1（ｘ_i／ｙ_i）である。そして、極座標系の座標表示（ｒ_i、θ_i）を、タイヤの子午断面形状に関する数値情報として用い、これに基づいて異なるタイヤの子午断面形状同士を比較する。 （もっと読む）

【課題】ビデオレート以上の高速での画像取得を可能にする走査型プローブ顕微鏡用走査機構を提供する。
【解決手段】走査型プローブ顕微鏡用走査機構は、可動部４とＸＹ弾性部材とＺ弾性部材７Ａと７Ｂと固定部５とからなるＸＹステージと、ＸＹステージが固定される固定台１と、可動部４をＸ方向に移動させるためのＸ圧電体２Ａと、可動部４をＹ方向に移動させるためのＹ圧電体と、可動部４の上面に固定された基板１１と、基板１１の上面に固定された、移動対象物をＺ方向に移動させるＺ圧電体３と、可動部４とＸ圧電体２ＡとＹ圧電体のほとんどを覆うカバー９と、Ｚ圧電体３の周囲の可動部４とカバー９の間に設けられたダンピング部材１０とを備え、Ｚ圧電体３の上端がカバー９の上面よりも高い位置に位置している。 （もっと読む）

【課題】 垂直に保持した薄板の表面形状の測定において、安定した作動、測定精度の向上、および測定結果の信頼性の向上を達成することを目的とする。
【解決手段】 基台１１０上に垂直保持機構１２０によって保持された薄板１００の側縁の外側に立設された垂直駆動手段３１０と、左右の前記垂直駆動手段３１０の間に架設された水平駆動手段３２０と、前記水平駆動手段３２０に装着され前記薄板１００の表面形状を測定する測定部３３０とを備え、前記垂直駆動手段３１０は、スライド機構３４０とこのスライド機構３４０に平行に前記薄板１００側に配設された送り機構３５０とからなり、前記水平駆動手段３２０の端部が前記スライド機構３４０のスライド部３６０と前記送り機構３５０の送り部材４００とによって支持されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 原器を被測定物の形状の種類分用意することなく、また、形状が異なる度に補正のための測定を行うことなく、衝となる測定機と機上形状測定機の機差を補償する。
【解決手段】 任意の設計式にて面形状を定義できる被測定物である被測定原器１７を、衝となる外部形状測定機１２にて測定して形状を明らかにする工程と、超精密加工用旋盤１に設置された形状測定機３にて被測定原器１７を測定して形状を明らかにする工程と、外部形状測定機１２により明らかにされた形状と形状測定機３により明らかにされた形状との誤差を求める工程と、誤差に基づいて加工機上に設置された形状測定機３の測定結果に補正を与える工程とを行う。 （もっと読む）

【課題】 試料表面の凹凸形状によらず、精度よく探針と試料表面とを近接または接触させることが可能な走査型プローブ顕微鏡及び走査方法を提供すること。
【解決手段】 試料表面Ｓに平行な２方向の走査及び試料表面Ｓの垂直方向の移動を試料表面Ｓに対して相対的に行う探針２と、探針２及び試料表面Ｓの距離に応じて変化する測定量を検出する検出手段４と、探針２が試料表面Ｓに近接または接触した時点における観測データを採取する観測手段６と、２方向の走査及び垂直方向の移動を制御する制御手段５とを備え、探針２を試料表面Ｓに対して相対的に所定距離で接近離間させる接近離間駆動部２４を備え、検出手段４が、接近離間駆動部２４による接近時と離間時とにおける前記測定量の変化率を検出し、該測定量の変化率が、予め設定された閾値を超えるときに、観測手段６が前記観測データを採取する。 （もっと読む）

【課題】固体撮像素子の各層に形成された画素の形状と各層間の位置ずれ量を正確に測定することができ、光学特性との関係を明らかにすることのできる固体撮像素子を提供すること、また、そのための各層の画素の形状及び各層間の位置ずれ量の測定方法を提供すること。
【解決手段】多層の積層構造を有する固体撮像素子１０の各層には、有効画素領域部１１の周縁の画素部２０に隣接した重ね合わせマーク１４を有効画素領域部外に形成し、各層を形成する毎に重ね合わせマーク１４及びその近傍の表面形状を測定することによって、各層の画素構成要素の形状と層間の位置ずれ量のデータを得ることができるようにし、対応する画素２０の光学特性を計測することにより、光学特性と各層の画素構成要素の形状及び層間の位置ずれ量との関係を非破壊で把握することができるようにした。 （もっと読む）

【課題】
同一パターンが形成されている複数の試料間の形状もしくは物性変化を容易に把握することができる走査プローブ顕微鏡を用いたパターン特性測定方法およびそのシステムを提供することにある。
【解決手段】
複数の試料間の同一領域を測定するために、マスターパターン上に基準位置を示すパターンを成型し、測定は基準パターンを起点とした領域内で行う。また、各試料の測定結果から、パターンを形成する単位領域の検出、および各検出単位領域内における形状特性等の算出を行い、測定領域内での各種特性のばらつき、各検出領域の二次元配列精度（ピッチのばらつき）等の、試料間での変化を表示し、パターンの特性変化が容易に把握できるようにする。 （もっと読む）

【課題】 計測装置自体が走行する時に生じる蛇行、うねりがあっても、それを補正して板状製品の反りやうねり及びねじれを安価に精度良く計測できることを目的とする。
【解決手段】 静止した鋼板１の上方に位置し、鋼板の長さ方向に移動する計測台車７と、計測台車の移動量を計測するＰＬＧ９と、計測台車に設置され、静止した鋼板表面までの距離を計測する３つの平面部距離計１０ｃ、１０ｄと、計測台車の側方位置にそれぞれ設けられたピアノ線２１ｂと、計測台車に設置され、ピアノ線に対して垂直方向の変動量を検出する垂直位置検出器１１ｃ、１１ｄと、ＰＬＧと平面部距離計と垂直位置検出器との計測値に基づき、鋼板の長さ方向における各位置の鋼板表面までの距離を、計測台車が走行するときに生じる蛇行やうねりの影響を除去するように補正演算するデータ解析演算処理装置３２とを備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】従来では確認できなかったウエーハの形状品質についての有効な情報をＳＦＱＲ等とは異なる観点から定量的に求めて、ウエーハの形状を一定の基準で的確に評価することのできるウエーハの形状評価方法を提供する。
【解決手段】ウエーハの形状を評価する方法であって、前記ウエーハの表面及び／または裏面をウエーハ径方向に沿って走査してウエーハの面形状を測定し、該測定した面形状データの所定領域から基準線を算出し、該算出した基準線と前記面形状データとの厚さ方向における差を表すローカルスロープを求めることによって、前記ウエーハの表面形状及び／または裏面形状を評価することを特徴とするウエーハの形状評価方法。 （もっと読む）