【課題】回転状態の検出感度の低下が抑制された回転検出装置を提供する。
【解決手段】複数の磁電変換素子（１３，１４）を有するセンサチップ（１０）と、中空内にセンサチップ（１０）が設けられた筒状磁石（３０）と、を有し、被検出体の回転による筒状磁石（３０）の形成する磁界の変化を磁電変換素子（１３，１４）によって検出することで、被検出体の回転状態を検出する回転検出装置であって、センサチップ（１０）は、磁電変換素子（１３）の形成された半導体基板（１１）と、磁電変換素子（１４）の形成された半導体基板（１２）と、を有し、２つの半導体基板（１１，１２）が接合部材（１５）を介して接合されている。 （もっと読む）

【課題】高精度に被検出部の回転角度を検出可能な回転角検出装置、および、これを用いた電動パワーステアリング装置を提供する。
【解決手段】回転角検出装置１０のブリッジ回路部１１、１２は、被検出部の回転角度に応じてインピーダンスが変化するセンサ素子２１〜２８により構成される複数のハーフブリッジ１４〜１７を有する。制御部５１は、複数のハーフブリッジから出力される出力信号を取得し、位相ずれαを補正するための位相補正値φを出力信号の組合せ毎に算出し、メモリ部５２に記憶する。制御部５１は、出力信号の一部に異常が生じた場合でも、異常が生じていない出力信号の組合せに対応した位相補正値φに基づき、補正前回転角度θを補正する。これにより、位相補正値φに基づいて補正前回転角度θを補正するので、センサ素子の実装ずれ等があっても、高精度に被検出部の回転角度δを算出することができる。 （もっと読む）

【課題】 内挿精度の低下を極力抑えて、検出対象物の回転角度又は移動位置を高精度で検出する。
【解決手段】 センサ部は、検出対象物の回転又は移動に応じて互いに９０度だけ位相の異なる正弦波状のＡ相出力信号及びＢ相出力信号を出力する。Ａ相出力信号の最大値Ｖ_Amax及び最小値Ｖ_Aminに対してプラス９０度の位置とマイナス９０度の位置に対応する４つのサンプリング値ＶＡ１〜ＶＡ４を取得して、これらの平均値をオフセット値とする。Ｂ相出力信号に関しても、同様に、オフセット値を計算する。これらのオフセット値を用いて、Ａ相出力信号及びＢ相出力信号のサンプリング値をオフセット補正した、検出対象物の回転角度又は移動距離を計算する。 （もっと読む）

【課題】磁気抵抗素子をブリッジ構成で用いた回転角計測装置において、異常が発生すると正しい角度が出力されないので、それを用いた上位システムも機能停止するという課題があった。
【解決手段】ブリッジ６０，６１をそれぞれ構成するハーフブリッジのうち、正しい方のハーフブリッジの出力信号に基づいた磁界角度（回転角度）を信号１５１として出力する。 （もっと読む）

【課題】体格の増大が抑制された回転角センサを提供する。
【解決手段】磁化方向が固定された固定層（１５）と、被検出体の生成する外部磁界の向きに応じて磁化方向が変化する自由層（１３）との間に、非磁性の中間層（１４）が挟まれた磁気抵抗効果素子（１０）を有し、該磁気抵抗効果素子（１０）の抵抗値変化に基づいて、被検出体の回転角を検出する回転角センサであって、固定層（１５）と自由層（１３）との対向方向に直交する平面に沿う面積が、固定層（１５）よりも自由層（１３）の方が大きく、固定層（１５）の全てと、自由層（１３）の一部とが、中間層（１４）を介して対向している。 （もっと読む）

【課題】基板上の設計の自由度を向上させることができるできる磁気式エンコーダ、サーボモータ及びサーボユニットを提供すること。
【解決手段】この磁気式エンコーダは、固定された基板１２０に配置され、磁界を検出する磁界センサ１２１と、基板１２０の磁界センサ１２１と同一面上に該磁界センサ１２１と離隔して配置され、磁界センサ１２１にバイアス磁界Ｈｂを印加するバイアス磁石１２２Ｎ，１２２Ｓと、磁界センサ１２１とバイアス磁石１２２Ｎ，１２２Ｓとに連結されて基板に配置され、バイアス磁界Ｈｂを磁界センサ１２１に導くヨーク１２３Ｎ，１２３Ｓと、磁界センサ１２１に対して相対移動して磁界センサ１２１の近傍を通過し、該磁界センサ１２１に印加される磁界に影響を与える被検出体１１１と、を有する。 （もっと読む）

【課題】磁気検出素子の出力信号に含まれる誤差成分の位相が任意になる場合であっても、検出角度の誤差を低減できるようにする。
【解決手段】第１ないし第３の演算部３１，３２，３３を有する角度検出部３には、回転磁界の互いに異なる方向の成分の強度に対応した第１および第２の信号が入力される。第１の演算部３１は、第１の信号と第２の信号の２乗和信号を生成する。第２の演算部３２は、２乗和信号に基づいて、第１の信号に含まれる第１の誤差成分の推定値である第１の誤差成分推定値と、第２の信号に含まれる第２の誤差成分の推定値である第２の誤差成分推定値とを算出する。第３の演算部３３は、第１の信号から第１の誤差成分推定値を減算して第１の補正後信号を生成し、第２の信号から第２の誤差成分推定値を減算して第２の補正後信号を生成し、第１および第２の補正後信号に基づいて角度検出値を算出する。 （もっと読む）

【課題】回転ドラムの回転角検出における精度が従来に比べて向上可能な磁気式回転角検出器を提供する。
【解決手段】外周面に交番着磁された磁石３を有する磁気ドラム１に対向して配置され、規定ピッチにて配列した複数の磁気センサ素子１２〜１５をセンサ面１０６に配列した磁気センサ１０を有する磁気式回転角検出器において、上記規定ピッチは、第１磁石３ａ及び第２磁石３ｂの各磁力線が上記センサ面と接する第１接点１０８及び第２接点１１１間の距離を元に規定する。 （もっと読む）

【課題】 磁気発生部の相対回転角度の演算時間を短縮することができる回転センサを実現する。
【解決手段】角度演算部６０はＡＭＲセンサＭ１，Ｍ２から出力される信号を用い永久磁石２に対する相対回転角度θと演算により求めた演算角度φとの偏差が所定値に収束するようにフィードバック制御を行って相対回転角度θを演算する。初期値決定部５３はホール素子Ｈ１，Ｈ２から出力された各検出信号の各信号レベルと閾値との各比較結果を用い相対回転角度θの初期値θ０が含まれる角度範囲を判定し、その判定した角度範囲の中で発生し得る相対回転角度の初期値と前記演算角度の初期値との差の絶対値が９０°未満となるように演算角度の初期値を決定する。初期値決定部は永久磁石２が相対回転を開始する前にのみ演算角度φの初期値φ０を決定し角度演算部６０はその決定された演算角度φの初期値φ０を用いてフィードバック制御を開始し、相対回転角度θを演算する。 （もっと読む）

【課題】 回転角度の検出精度を高めながら小型化することができる回転センサを実現する。
【解決手段】 磁気抵抗素子Ｒ１〜Ｒ８が各磁気抵抗素子の出力信号間に位相差が出るように配置された磁気抵抗素子領域Ｅ１と、ホール素子Ｈ１，Ｈ２が各ホール素子の出力信号間に位相差が出るように配置されたホール素子領域Ｅ２とを有し、かつ、磁気抵抗素子領域およびホール素子領域の少なくとも一部同士が重ねられたセンサチップ５と、各ホール素子の各出力レベルと閾値レベルとの比較結果を出す比較部５３と、各磁気抵抗素子の各出力信号を用いて相対回転角度θに対応する演算角度φを演算する角度演算部６０と、その演算された角度と閾値角度とを比較し、その比較結果と比較部５３の比較結果とを用い、相対回転角度に対応する信号を出力する出力部７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】シャフトが径方向にずれた場合に検出誤差を抑制することのできる回転角検出装置およびこれを備えたパワーステアリング装置を提供する。
【解決手段】インプットシャフト４１に一体に設けられ、インプットシャフト４１の周方向に所定の間隔をもってＮ極およびＳ極が着磁された磁性部材４４と、磁性部材４４に対向配置されてＮ極およびＳ極による磁界の変化を検出するＭＲセンサ４５とを備えた回転角センサ５０において、ＭＲセンサ４５をインプットシャフト４１の周方向に異なる位置に複数配置する。 （もっと読む）

【課題】外部磁界の方向が基準方向に対してなす角度を検出する磁気センサにおける検出角度の誤差を低減する。
【解決手段】磁気センサ１は、第１の位置における外部磁界の方向が第１の方向に対してなす第１の角度の検出値である第１の検出角度を算出する第１の検出部１０と、第２の位置における外部磁界の方向が第２の方向に対してなす第２の角度の検出値である第２の検出角度を算出する第２の検出部２０を備えている。第１の検出角度は第１の角度誤差を含み、第２の検出角度は第２の角度誤差を含んでいる。第１の検出角度の位相と第２の検出角度の位相は、誤差周期の１／２の奇数倍だけ異なる。 （もっと読む）

【課題】 検出精度を良好な状態に維持したまま、回転体に設けられる回転磁石を回転体の外周面または内周面に配置した回転軸貫通構造に適した回転検出装置を提供すること。
【解決手段】 回転軸１１に取り付けた円形回転磁石１２と、磁気センサ１３Ａ等で回転検出装置１０を構成した。磁気センサ１３Ａ等を、バイアス磁石１４と、バイアス磁石１４の磁極面に配置される基板１５と、基板１５の中心点Ｏで直交して延びる２つの軸に沿い中心点Ｏからそれぞれ同一距離の位置に設定された４つの領域１５ａ等に、中心点Ｏを中心として点対称に配置された磁気抵抗効果素子ａ等で構成した。そして、磁気センサ１３Ａ等の一方の軸が円形回転磁石１２の外周面で形成される円の接線と平行し、他方の軸の傾斜角度が互いに同じになるようにして、磁気センサ１３Ａ等を円形回転磁石１２の外周側で周方向に９０度離れた位置に設置した。 （もっと読む）

【課題】２重系の位置検出系統を１つの被検出体で実現し、かつ、小型化することができる位置検出装置を提供する。
【解決手段】位置検出装置１は、シフトレバー３の操作に応じて第１〜第３の移動線ｙ_１、ｙ_２、ｘに沿って移動するマグネット２０と、第１の移動線ｙ_１に対しｄ_１だけ離間する第１のＭＲ回路１１と、第１及び第２の移動線ｙ_１、ｙ_２の中間位置に配置される第２のＭＲ回路１２と、第２の移動線ｙ_２に対し第１の移動線ｙ_１とは反対側にｄ_１だけ離間する第３のＭＲ回路１３と、位置判定部４０とを備える。この位置判定部４０は、第１及び第２のＭＲ回路１１、１２の出力に基づいて第１の移動線ｙ_１上のマグネット２０の位置を判定し、第２及び第３のＭＲ回路１２、１３の出力に基づいて第２の移動線ｙ_２上のマグネット２０の位置を判定する。これにより、１つのマグネットで２重系の位置検出を実現する。 （もっと読む）

【課題】２重系の位置検出系統を１つの被検出体で実現し、かつ、小型化することができる位置検出装置を提供する。
【解決手段】位置検出装置１は、シフトレバー３の操作に応じて第１〜第３の移動線ｙ_１、ｙ_２、ｘに沿って移動するマグネット２０と、第１の移動線ｙ_１に対しｄ_１だけ離間する第１のＭＲ回路１１と、第１の移動線ｙ_１の直下に配置される第２のＭＲ回路１２と、第２の移動線ｙ_２の直下に配置される第３のＭＲ回路１３と、第２の移動線ｙ_２に対し第２のＭＲ回路１２とは反対側でｄ_１だけ離間する第４のＭＲ回路１４と、位置判定部４０とを備える。この位置判定部４０は、第１及び第３のＭＲ回路１１、１３の出力に基づいて第１の移動線ｙ_１上のマグネット２０の位置を判定し、第２及び第４のＭＲ回路１２、１４の出力に基づいて第２の移動線ｙ_２上のマグネット２０の位置を判定する。これにより、１つのマグネットで２重系の位置検出を実現する。 （もっと読む）

【課題】故障などにより異常となった出力信号を特定可能な回転角検出装置を提供する。
【解決手段】ブリッジ回路１１、１２は、被検出部８７の回転に応じて変化する回転磁界によりインピーダンスが変化するセンサ素子２１〜２８により構成されるハーフブリッジ１４〜１７を有する。信号取得手段は、ハーフブリッジ１４〜１７の中点３１〜３４から出力される出力信号をハーフブリッジ１４〜１７ごとに取得する。回転角算出手段は、信号取得手段により取得された出力信号に基づき、被検出の回転角度θを算出する。異常特定手段は、信号取得手段によって取得される少なくとも４つの出力信号に基づく値である演算値が所定の範囲から外れた場合、当該演算値に対応する出力信号を異常出力信号として特定する。これにより、故障などによりどの出力信号が異常となったかを特定することができる。 （もっと読む）

【課題】磁束発生源との間の間隔が広くても磁気検知することができる、磁気抵抗効果素子を用いた磁気センサを提供すること。
【解決手段】本発明の磁気センサは、第１の方向に感度軸を持つミアンダ形状を有し、外部磁界に対して磁化変動する一対のフリー磁性層で非磁性層を挟持してなる積層構造を有する第１磁気抵抗効果素子、及び平面視において前記第１磁気抵抗効果素子を挟持するように配置された一対の軟磁性膜で構成された第１磁気検知素子と、前記第１の方向と異なる第２の方向に感度軸を持つミアンダ形状を有し、外部磁界に対して磁化変動する一対のフリー磁性層で非磁性層を挟持してなる積層構造を有する第２磁気抵抗効果素子、及び平面視において前記第２磁気抵抗効果素子を挟持するように配置された一対の軟磁性膜で構成された第２磁気検知素子と、が同一基板上に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】磁束発生源との間の間隔が広くても磁気検知することができる、磁気抵抗効果素子を用いた磁気センサを提供すること。
【解決手段】本発明の磁気センサは、第１の方向に感度軸を持つミアンダ形状を有し、外部磁界に対して磁化変動する一対のフリー磁性層で非磁性層を挟持してなる積層構造を有する第１磁気抵抗効果素子、及び平面視において前記第１磁気抵抗効果素子を挟持するように配置された一対の軟磁性膜で構成された第１磁気検知素子と、前記第１の方向と異なる第２の方向に感度軸を持つミアンダ形状を有し、外部磁界に対して磁化変動する一対のフリー磁性層で非磁性層を挟持してなる積層構造を有する第２磁気抵抗効果素子、及び平面視において前記第２磁気抵抗効果素子を挟持するように配置された一対の軟磁性膜で構成された第２磁気検知素子と、が同一基板上に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成にて高精度の回転角検出が可能であるとともに磁極数の変更に対しても高い柔軟性を有する磁気式の回転角センサを提供すること。
【解決手段】回転角センサは、周方向に沿って複数の磁極が形成されたマグネットロータと、そのマグネットロータの同心円上に均等角度間隔で配置された３つのセンサデバイス３３とを備える。また、各センサデバイス３３は、スピン固定層の磁化方向が逆向きとなるように直列接続された一対のスピンバルブ型磁気抵抗素子３７ａ，３７ｂを有する３つのハーフブリッジ回路３８（３８ｕ，３８ｖ，３８ｗ）を備える。そして、各センサデバイス３３は、そのマグネットロータの回転に伴う磁束変化に基づき各ハーフブリッジ回路３８が出力するセンサ信号Ｖｕ，Ｖｖ，Ｖｗが、互いに電気角で１２０°の位相差を有するように構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、回転数を検出することができるとともに、回転方向も検出することができる回転数センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の回転数センサは、差動増幅回路２９からの出力信号を所定の電圧と比較して矩形波信号を出力するコンパレータ３０の後段に、このコンパレータ３０からの出力信号の立ち上がりおよび立ち下がりを検出して比較する立ち上がり検出手段３２、立ち下がり検出手段３４およびコンパレータ３６等からなる比較手段を設けたものである。 （もっと読む）