【課題】 位置合わせに用いるマークからの光量を多くして検出しやすくする位置検出装置、及び、それを用いたインプリント装置を提供する。
【解決手段】 本発明の位置検出装置は、第一方向と、第一方向と異なる第二方向にそれぞれ周期をもつ第一回折格子と、第１回折格子の第二方向の周期と異なる周期を第二方向にもつ第二回折格子と、を斜入射照明する照明光学系と、第一回折格子と第二回折格子とからの回折光を検出する検出光学系と、を備え、検出した回折光に基づいて第一回折格子と第二回折格子との第二方向に関する相対的な位置を検出する位置検出装置であって、照明光学系はその瞳面において、第一方向に、複数の極を有する光を照明することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回転情報の制御の精度低下を抑制できる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置は、中空部、及び中空部から外周面へ通じる貫通孔を有する第１軸部材と、中空部に挿入され、第１軸部材と動力伝達部を介して連結された第２軸部材と、第１軸部材を回転させる駆動部と、第１軸部材と第２軸部材とのうちの一方の軸部材に設けられたスケールを有し、一方の軸部材の回転に関する情報を検出する検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を維持しつつ、小型で、製造コストの低いエンコーダ等を提供する。
【解決手段】エンコーダユニット４０は、主動歯車５０と、主動歯車５０に噛み合っている従動歯車６０、７０とに形成された光学トラック５４，６４，７４それぞれからの光に基づいて、シャフト３０の回転数を検出する。したがって、いずれの従動歯車６０、７０も主動歯車５０に直接噛み合っていることから、歯車のバックラッシュの累積等による信頼性の低下を防ぐことができるとともに、エンコーダユニット４０及びモータユニット１０を小型にできる。 （もっと読む）

【課題】格子プレートの位置測定システムに干渉する汚染物により誤った測定が行われる可能性が低減された液浸リソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】装置は、バリア１００が使用され、汚染物（例えば、液滴及び／又は微粒子）は格子５０又はセンサ２０に接触することが防止される。バリア１００に付着するいかなる汚染物も放射源からの放射ビームが格子５０上で合焦する焦点面から十分に遠いように配置されているので、汚染物は測定に干渉しない。ある実施形態では、表面弾性波を用いて格子５０又はセンサ２０の表面から汚染物が除去される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、接着によって互いに接続された複数の部分部材（１０，２０）から構成された基準尺に関する。
【解決手段】 接着が、部分部材（１０，２０）の互いに対向する境界面（１１，２１；１２，２２）で行われる。そのために、二つの部分部材（１０，２０）のそれぞれ互いに対向する境界面（１１，２１；１２，２２）が、測定方向（Ｘ）に延びており、それらの間に有る、測定方向（Ｘ）に対して垂直な方向を向いた隙間（３１，３２）を形成し、その隙間内に接着剤（４）が配備される。そのような措置によって、接着剤（４）が、膨張又は収縮して体積を変化させた時に、測定方向（Ｘ）を向いた力が部分部材（１０，２０）に加わることができないという作用効果が実現される。 （もっと読む）

【課題】センサヘッドの大型化とスケ−ルの傾きによって生じる変位計測誤差を抑えながら、つなぎ合わせスケールを用いて長範囲に渡って変位計測を行うことを目的としている。
【解決手段】光学式エンコーダのセンサ光学系１は、つなぎ合わせスケール２を用いて長範囲に渡る変位計測を行うため、単独の光源１０、マルチプローブ生成機構１１、及び複数の受光素子１３から成る受光素子ユニット１２を構成要素の一部とする。単独の光源１０から照射された光から、マルチプローブ生成機構１１により、互いの間隔が比較的短いマルチプローブが生成される。マルチプローブは、つなぎ合わせスケール２の上に照射する。それぞれのプローブからの出力が独立に検出できるように、受光素子ユニット１３は複数の受光素子１４から構成されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高分解能なエンコーダーを実現する。
【解決手段】エンコーダー３００であって、回転円盤３１０と、回転円盤上において等間隔に設けられたスリット又は反射板で構成される光学要素列３１１〜３１４と、光学要素列に光を照射する発光部３２１〜３２４と、光学要素列の個々の光学要素からの光を受光して矩形状の受光信号を出力する受光部３７１〜３７４とを備え、光学要素列は、回転円盤の中心からの距離が互いに異なるｎ個（ｎは２以上の整数）の円周に沿ってｎ列配置されており、ｎ組の光学要素列は、等しい個数のｍ個（ｍは２以上の整数）の光学要素を含んでおり、発光部と受光部は、ｎ組の光学要素列に対応してｎ組配置され、個々の受光信号の１周期の位相差を２πと定義したとき、ｎ組の光学要素列とｎ組の発光部及び受光部とは、ｎ組の受光部で生成されるｎ個の受光信号の位相がπ／ｎずつ順次ずれるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】非計測方向に関して広い計測領域を有するアブソリュートエンコーダを提供する。
【解決手段】Ｘ軸方向を単位パターンの配列方向とするアブソリュートパターンＡが設けられた第１領域と、アブソリュートパターンＡと組をなすインクリメンタルパターンＩが設けられた第２領域と、が計測方向であるＸ軸方向に関して異なる位置に併設されたスケール１１と、第１及び第２領域にそれぞれ対向するアブソリュート信号用検出器２１_１及びインクリメンタル信号用検出器２１_２を有するヘッド２０と、からアブソリュートエンコーダ１０が構成される。この構成では、第１及び第２領域を非計測方向（Ｙ軸方向）に広げて、両パターンＡ，Ｉを延設することにより、ヘッド２０の非計測方向への可動範囲を広げることができる。 （もっと読む）

【課題】１トラックから複数種類の情報を取得可能とした高精度な光電式エンコーダを提供する。
【解決手段】光電式エンコーダは、スケール１２と、スケール１２に測定光を照射する光源１１と、スケール１２で反射又は透過した前記測定光を受光する受光器１４と、受光器１４の受光信号を処理してスケール１２の絶対位置を検出する信号処理回路２０とを備える。スケール１２は、複数の第１変調スケールパターン３Ａ（ｋ）を配列してなる第１変調インクリメンタルパターン３１を有する変調インクリメンタルトラック３０１を備える。第１変調インクリメンタルパターン３１は、測長方向に所定周期Ｐｒ内で第１変調スケールパターン３Ａ（ｋ）の形状が周期的に変化するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 格子またはパターンの製造が容易である測定システムを提供する。
【解決手段】 測定システムは、構造に対するセンサの第１位置量を決定するために測定システムの構造上に配置される第１パターンと協動するように配置され、かつ構造に対するセンサの第２位置量を決定するために構造上に配置される第２パターンと協動するように配置されるセンサを含み、前記第１および第２パターンが、構造の異なる表面上に配置される。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、関節等部材の原点位置とエンコーダの原点位置の位置合わせを容易にでき、エンコーダの取り付け位置がずれた場合に芯出し調整を容易に行える機能を備えた新規なエンコーダを、また、コンパクトな構造のエンコーダを提供することにある。
【解決手段】本発明のＥＬを用いた光学式エンコーダは、回転部材に固定される環状円盤の周縁部若しくは該円盤の周縁部と対向する面のいずれかにエレクトロルミネセンス（ＥＬ）の光放射部が微細な間隔を隔てて放射状に配列され、他方の面に光センサが配置されるようにした。また、本発明のＥＬを用いた光学式エンコーダは、微細な間隔を隔てて放射状に配列されたＥＬの光放射部に並列して微細な間隔を隔てて円弧状に原点位置決め用のＥＬの光放射部が配列されるようにした。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で安価に長いストロークを実現できると共に高い検出精度を実現すること。
【解決手段】結合スケール５は、複数のスケール５−１、５−２、５−３を結合してなり、スケール結合部には位置情報パターンが形成された補助スケール６−１，６−２を近接配置し、結合スケール５側の位置情報パターンと補助スケール６−１，６−２側の位置情報パターンとをオーバーラップさせる。位置検出手段１８は、検出位置がスケール結合部に来たらオーバーラップ区間において検出信号を切り替えて位置演算を実行する。
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【課題】パターン媒体の両面にコーディングが可能な光エンコーダシステムを提供すること。
【解決手段】第１のコードパターンが配置された第１の面及び第２のコードパターンが配置された第２の面を有する一枚のパターン媒体と、前記第１の面に向けて配置された第１の光エンコーダと、前記第２の面に向けて配置された第２の光エンコーダとを含む、光エンコーダシステムを開示する。第１の面に配置された第１のコードパターン及び第２の面に配置された第２のコードパターンを有する光エンコーダ装置を開示する。光エンコーダシステムを使用してモータに関する情報を得る方法であって、パターン媒体の第１の面に配置された第１のコードパターンを照らし、パターン媒体の第２の面に配置された第２のコードパターンを照らし、前記第１の面から反射された光を検出し、前記第２の面から反射された光を検出し、反射光を分析することからなる方法を開示する。 （もっと読む）