【課題】 振動子の発振の妨害を最小限に抑えて効率的に発振起動を行うことで発振起動時間を短縮できる駆動装置、これを用いた物理量測定装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】 振動子と発振ループを形成し、該振動子に駆動振動を励振するための駆動装置は、前記振動子に流れる電流を電圧に変換する電流電圧変換器と、所与の電圧値を基準に、前記電圧値に変換された信号に基づいて前記振動子に駆動振動を励振するコンパレータと、前記発振ループ内で前記電流電圧変換器と前記コンパレータとの間に設けられたハイパスフィルタとを含む。ハイパスフィルタの基準電位を変化させて前記振動子に駆動振動を励振した後に、前記基準電位を固定して前記振動子に駆動振動を励振する。 （もっと読む）

【課題】非常に大きな衝撃が検出素子に加わっても、検出素子の破壊を抑制したセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】この検出素子２４は、第１アーム２６を第２アーム２８に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム２６の一端を支持する支持部３０とを有し、第１アーム２６はメアンダ形状であって弾性を有し、支持部３０に対して対称形状としており、第１アーム２６には歪抵抗素子を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】 回路規模を増大させることなく発振起動時間を短縮できる駆動装置、これを用いた物理量測定装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】 振動子と発振ループを形成し、該振動子に駆動振動を励振するための発振駆動回路１０は、発振ループ内に設けられ振動子１２に流れる電流を電圧に変換する電流電圧変換器３０と、発振ループ内に設けられ電流電圧変換器３０の出力と所与の電圧との比較結果に対応した信号を振動子１２に出力するコンパレータとしてのＧＣＡ２０とを含む。ＧＣＡ２０が、発振起動過程では、第１のハイレベル電圧又はローレベル電圧を出力し、発振定常状態では、第２のハイレベル電圧又はローレベル電圧を出力する。第１のハイレベル電圧は、第２のハイレベル電圧より高電位の電圧である。 （もっと読む）

【課題】Ｚ軸回転系の振動成分およびＹ軸回転系振動成分を検出する小型化された精度の良い角速度センサの製造方法を提供する。
【解決手段】Ｚ軸回りの回転を検出腕６０の屈曲振動にて検出し、Ｙ軸回りの回転を検出腕６０の捩れ振動にて検出する圧電振動片１０を備えた角速度センサ１の製造方法において、圧電振動片１０を形成する振動片形成工程と、圧電振動片１０をパッケージ７０に実装する実装工程と、検出腕６０における検出振動の周波数を調整する離調工程と、パッケージ７０を気密に封止する封止工程と、を備え、離調工程が、検出腕６０の錘部６３，６４の質量を調整することで検出腕６０の屈曲振動および捩れ振動の周波数を調整して離調を行う工程である。 （もっと読む）

【課題】検出器が配置される移動体の静止状態を精度良く判定することで検出器の出力を精度良く較正するようにした移動体の移動角度検出装置を提供する。
【解決手段】移動体の角速度を示す出力を生じる検出器（ジャイロセンサ）の出力を順次取り込むと共に、そのいずれかを零点を示す較正値と仮決めし（Ｓ１００）、仮決めされた較正値とそれ以降に取り込まれた出力群との差の積分値を算出し（Ｓ１０８）、取り込まれた出力群の変化幅（最大値と最小値）を算出し（Ｓ１１０）、算出された積分値と変化幅がそれぞれ所定の許容範囲内にあるか否か判定し（Ｓ１１２）、肯定されるとき、移動体が静止状態にあると判断して仮決めされた較正値を積分値の平均値で補正し（Ｓ１１６からＳ１２０）、取り込まれた出力を補正された較正値で較正した値に基づき（Ｓ１２２からＳ１２６）、移動体の移動角度を検出する。 （もっと読む）

【課題】 振動子の発振の妨害を最小限に抑えて効率的に発振起動を行うことで発振起動時間を短縮できる駆動装置、これを用いた物理量測定装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】 振動子に励振される駆動振動及び測定すべき物理量に基づいて前記振動子から出力される検出信号を同期検波した出力信号を用いて物理量を測定するのに際して、前記振動子と発振ループを形成し、該振動子に駆動振動を励振するための駆動装置は、前記振動子に流れる電流を電圧に変換する電流電圧変換器と、前記発振ループ内の発振振幅を制御して前記振動子に駆動振動を励振するゲインコントロールアンプと、前記発振ループ内で前記電流電圧変換器と前記ゲインコントロールアンプとの間に設けられたハイパスフィルタとを含み、ハイパスフィルタの基準電位を変化させて前記振動子に駆動振動を励振した後に、前記基準電位を固定して前記振動子に駆動振動を励振する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、特に、航空機、自動車、ロボット、船舶、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーション等、各種電子機器に用いられる慣性力センサに関して、検出精度を高めることを目的とする。
【解決手段】慣性力センサを構成する駆動回路２を、センス素子１から出力されるモニタ信号１１を１ビットデジタル信号にシグマ・デルタ変換して振幅情報を形成し、この振幅情報を予め決められた基準振幅情報と比較し、この比較情報を基にモニタ信号１１を演算処理し、マルチビット信号に変換し、このマルチビット信号を所定の出力信号に変換し、駆動入力に出力するとともに、演算処理は、モニタ信号１１より形成される矩形波信号と比較情報とを演算させる構成とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、特に、航空機、自動車、ロボット、船舶、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーション等、各種電子機器に用いられる慣性力センサに関して、検出精度を高めることを目的とする。
【解決手段】慣性力センサを構成するセンス回路４が、センス電極７から出力されるセンス信号３を１ビットデジタル信号に変換するシグマ・デルタ変調器１２と、モニタ電極８から出力されたモニタ信号１１を予め決められた基準振幅情報と比較し、この比較情報を基に１ビットデジタル信号を演算処理し出力信号３の出力レベルの調整を行う信号処理回路１４を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】 容易に小型化を図ることができる角速度センサを提供することを目的とする。
【解決手段】 角速度センサは、フレーム１１、梁１２、錘１３、ポスト構造１４を有する可動部構造体１と、可動部構造体１を挟み込むように配設された上部ガラス基板２および下部ガラス基板３から構成される。下部ガラス基板３には、錘１３と対向する面に駆動電極３１が設けられ、駆動電極３１と錘１３との間に静電力を作用させることにより、錘１３を振動させる。上部ガラス基板２には、錘１３と対向する面に検出電極２１〜２５が設けられ、検出電極２１〜２と錘１３との間の静電容量の変化に基づいて錘１３の姿勢変化を検出する。本実施の形態では、センサ部に設ける電極数を減らすことにより各電極の電位をセンサの外部へ引き出すための構造物を形成する領域の縮小化を図ることがきるため、センサの小型化を実現させることができる。 （もっと読む）

【課題】航空機、自動車、ロボット、船舶、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーション等、各種電子機器に用いられる慣性力センサに関して、検出精度を高める。
【解決手段】慣性力センサを構成する駆動回路２を、モニタ電極８から出力されたモニタ信号１１をＡＤ変換してモニタ信号１１のデジタル値及び振幅情報を形成し、振幅情報を予め決められた基準振幅情報と比較し、この比較情報を基にモニタ信号１１のデジタル値を演算処理してマルチビット信号に変換し、このマルチビット信号を所定の出力信号に変換し駆動電極６に出力する構成としたのである。 （もっと読む）

【課題】本発明は低背化を図った角速度センサを提供することを目的としている。
【解決手段】第１アーム２を第２アーム４に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム２を支持した支持部６と、支持部６に連結するとともに実装基板に固定した固定部９と、第２アーム４の先端部に連結した錘部１１とを有する検出素子１を備え、第２アーム４は第２アーム４自身と対向するまで折曲するとともに第２アーム４の対向方向に錘部を駆動振動させる駆動手段１７を設けており、折曲した第２アーム駆動電極部１７ｂを互いに交差させて配置した構成である。 （もっと読む）

【課題】本発明は低背化を図った角速度センサを提供することを目的としている。
【解決手段】第１アーム２を第２アーム４に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム２を支持した支持部６と、支持部６に連結するとともに実装基板に固定した固定部９と、第２アーム４の先端部に連結した錘部１１とを有する検出素子１を備え、第２アーム４は第２アーム４自身と対向するまで折曲するとともに第２アーム４の対向方向に錘部１１を駆動振動させる駆動手段１７を設けており、折曲した第２アーム４の第１アーム２側から錘部１１側に向かって、第１駆動電極部１７ａおよび第２駆動電極部１７ｂを互いに交差させて配置した構成である。 （もっと読む）

【課題】本発明は低背化を図った角速度センサを提供することを目的としている。
【解決手段】第１アーム２を第２アーム４に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム２を支持した支持部６と、第２アーム４の先端部に連結した錘部１１とを有する検出素子１を備え、錘部１１側に配置した第１駆動電極部１７ａから第１引き出し線２１ａを引き出すとともに、錘部１１側に配置した第２駆動電極部１７ｂから第２引き出し線２１ｂを引き出し、第１アーム２側に配置した第１駆動電極部１７ａと、第１アーム２側に配置した第２駆動電極部１７ｂとの間から、第１引き出し線２１ａおよび第２引き出し線２１ｂを引き出した構成である。 （もっと読む）

【課題】 振動子の破壊を防止すると共に、回路規模を増大させることなく発振起動時間を短縮できる駆動装置、これを用いた物理量測定装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】 発振駆動回路１０は、発振ループ内の発振振幅を制御して振動子１２に駆動振動を励振するゲインコントロールアンプ２０と、発振ループ内の信号に基づいて同期検波用の参照信号を生成するコンパレータ５０とを含む。発振駆動回路１０は、コンパレータ５０の出力を用いて、振動子１２とコンパレータ５０とにより形成される発振ループ内のゲインを１より大きくした状態で励振後に、振動子１２とゲインコントロールアンプ２０とにより形成される発振ループ内の発振振幅を制御して振動子１２に駆動振動を励振する。コンパレータ５０は、出力電流制限機能を有する。 （もっと読む）

【課題】角速度センサと加速度センサとを複合して実装面積を低減し、実装基板の小型化を図った複合センサを提供することを目的としている。
【解決手段】枠体１２に連結した２つの駆動アーム２と、枠体１２と駆動アーム２とが連結する枠体１２の連結部１６間に連結した屈曲アーム４とを設け、枠体１２は、連結部１６間に対向する対向部１８と、対向部１８と連結部１６間とを接続する２つの接続部２２を有し、接続部２２および駆動アーム２を互いに駆動振動させ、コリオリ力に起因して変化する屈曲アーム４の屈曲振動を検知して角速度を算出し、接続部２２に加わる応力に起因して変化する接続部２２の駆動振動を検知して加速度を算出する構成である。 （もっと読む）

【課題】 できるだけ小さい回路規模で、振動子の破壊を防止すると共に発振起動時間を短縮できる駆動装置、これを用いた物理量測定装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】 発振駆動回路１０は、発振ループ内の発振信号の電流値を電圧値に変換する電流電圧変換器３０と、電流電圧変換器３０の出力信号と所与の基準信号との比較結果に対応した信号を出力するコンパレータ５０とを含む。コンパレータ５０が、電流制限機能を有する。発振駆動回路１０は、コンパレータ５０の出力に基づいて、振動子１２に駆動振動を励振する。 （もっと読む）

【課題】共振器ジャイロスコープ（１０）の回転速度誤差を低減するための方法および装置が提示される。
【解決手段】ジャイロスコープ（１０）は、中空コア光ファイバコイル（２４）を有するリング共振器（２５）およびリング共振器（２５）に導き入れられる入射光線中に存在しうる迷光を低減するように選択および／または配向された光学素子を備える。共振器は、所定のモードを有する。光学素子のうちの１つは、入射光線の一部をファイバコイル（２４）の第１の端部（４１）に部分的に伝送し、入射光線の一部をフィルタ（２０）に部分的に伝送する。所定のモードを有する光は、ファイバコイル（２４）の第１の端部（４１）内に受光され、フィルタ（２０）は、対応するモードを有する入射光線の光を受光する。循環光線の伝送成分は、リング共振器（２５）の対向伝搬方向の共振ピークを示す。 （もっと読む）

【課題】 スリープモードで動作可能で、回路規模を増大させることなく発振起動時間を短縮できる駆動装置、これを用いた物理量測定装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】 発振駆動回路１０は、発振ループ内の発振振幅を制御して振動子１２に駆動振動を励振するゲインコントロールアンプ２０と、前記発振ループ内の信号に基づいて同期検波の参照信号を生成するコンパレータ５０とを含む。第１の動作モードでは、発振駆動回路１０は、コンパレータの出力を用いて、振動子１２とコンパレータ５０とにより形成される発振ループ内のゲインを１より大きくした後に、振動子１２とゲインコントロールアンプ２０とにより形成される発振ループ内の発振振幅を制御して振動子１２に駆動振動を励振する。第２の動作モードでは、発振駆動回路１０は、振動子１２とコンパレータ５０とにより形成される発振ループ内で振動子１２に駆動振動を励振する。 （もっと読む）

【課題】本発明は検出感度を向上した慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】上記検出素子１において角速度を検出する際は、角速度発生時に、互いに正極となる第２感知電極部１９ｂの上部電極１５と第４感知電極部２０ｂの上部電極１５から出力された出力値を加算した第１加算値と、互いに負極となる第１感知電極部１９ａの上部電極１５と第３感知電極部２０ａの上部電極１５から出力された出力値を加算した第２加算値と、互いに正極となる第１感知電極部１９ａの下部電極１４と第３感知電極部２０ａの下部電極１４から出力された出力値を加算した第３加算値と、互いに負極となる第２感知電極部１９ｂの下部電極１４と第４感知電極部２０ｂの下部電極１４から出力された出力値を加算した第４加算値に基づき検出する構成である。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図った複合センサを提供することを目的としている。
【解決手段】角速度を検出する角速度検出素子１０と、加速度を検出する加速度検出素子１２と、加速度検出素子１２または角速度検出素子１０から出力される信号を処理するＩＣ１４と、角速度検出素子１０および加速度検出素子１２およびＩＣ１４とを収納するとともに、ＩＣ１４を固定配置したパッケージ１６とを備え、角速度検出素子１０の上方に加速度検出素子１２を配置し、角速度検出素子１０とパッケージ１６とを角速度検出素子１０に設けた連結部１７を介して接続するとともに連結部１７は弾性手段とした構成である。 （もっと読む）