【課題】慣性速度センサ素子が正常に動作していない場合であっても、異常を検知する。
【解決手段】慣性速度センサ素子１１は、駆動電気信号Ｓｄの周波数および振幅に応じて振動しその振動に対応する振動電気信号Ｓｏを出力するとともに、自己に加えられた慣性力に対応する慣性電気信号Ｓｉを出力する。駆動回路１２は、振動電気信号Ｓｏに応じて駆動電気信号Ｓｄの周波数および振幅を調整する。慣性力検出回路１３は、アナログ検波用信号（クロック信号ＣＬＫ１）用いて、慣性電気信号Ｓｉから慣性力成分を抽出する。異常検知回路１４は、駆動回路１２の動作状態が正常であるのか異常であるのかを判定する。また、異常検知回路１４は、ＣＲ発振器１５からのクロック信号ＣＬＫ２に同期して駆動回路１２の動作状態が異常である期間（異常状態期間）を計測し、その異常状態期間が異常検知期間（予め定められた期間）に到達すると異常検知信号Ｓａを出力する。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】第１、第２アーム４、６、錘部１４をＺ軸方向で挟むように、Ｚ軸の正方向に配置した第１対向基板２４とＺ軸の負方向に配置した第２対向基板２６とを設け、第１アーム４により第２アーム６および支持部８を中空保持して、第１、第２対向基板２４、２６が互いに接触しないように一定の間隔を設けるとともに、錘部１４と第１対向基板２４の各々の対向面に対向電極２２を配置し、支持部８のＺ軸方向における変位を抑制するストッパーを支持部８のＺ軸方向に設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、簡易な構成、かつ二軸方向の検出が可能である、干渉縞発生装置、リングレーザジャイロ及びリングレーザジャイロの形成方法を提供する。
【解決手段】 本発明のリングレーザジャイロは、基体が有する基準平面に直交する方向へ、当該基準平面に対して平行に積層される平板状プリズム基板を有し、周回光路で発振した順逆方向のレーザ光の各一部が平板状プリズムの入射面から平板状プリズムに入射し、順逆方向のレーザ光のうちいずれか一方のレーザ光が平板状プリズムの２つの反射面で反射され、他方向のレーザ光に対して微小角度で交叉した状態で重ね合わされて干渉縞を発生し、当該干渉縞の変化を検出手段で検出する。 （もっと読む）

【課題】小型かつ低コストにして制御演算部の負担が小さく、加速度・角速度及び磁気方位を高精度に検出可能なセンサ及びこれを用いた検出装置を提供する。
【解決手段】基体２と、下部封止板３及び上部封止板４と、一端が基体２の内面に連結された弾性梁部５と、弾性梁部５の中心部に取り付けられた重錘部６と、重錘部６の下面に形成された励磁コイル７と、下部封止板３の上面の重錘部６と対向する部分に配置された磁気検出素子８と、重錘部６の上面と上部封止板４の下面とに対向に形成された一対の加振機構９とから複合センサ１を構成する。励磁コイル７への励磁電流の供給及び加振機構９への加振電流の供給を制御し、磁気検出素子８の出力から、互いに直交する３方向についての加速度と角速度と磁気方位を検出する。 （もっと読む）

【課題】 小型を極力維持しながら、構造および電極配置の自由度を獲得し、少なくとも駆動・検出の能率と検出精度の向上を可能としたジャイロセンサ振動体を提供すること。
【解決手段】 圧電性材料の板材より成り、駆動電極とコリオリ力検出電極の少なくとも一方を備えた複数の音叉型振動体を、各脚の振動を妨げないように、各音叉の基部の主面にて積層接着し、一体化したこと。また各音叉型振動体またはその接着部は以下の特徴を任意に持つ。即ち、単体で電極膜の形成が行われたこと。機能を異にしていること。圧電性の方向が異なること。２脚または３脚音叉であること。駆動と検出を分担していること。検出軸が異なるか他の運動を検出すること。脚の間隔が異なること。固形物をスペーサとして混入した接着剤を用いること。シールド板を挟んで接着したこと。脚の向きが同じか異なること。３枚以上を積層したこと。各音叉の検出電圧が加算されること。 （もっと読む）

【課題】センサの可動部の保護及び製造プロセスの簡略化
【解決手段】可動部１８を有するセンサ素子１０と、センサ素子１０の上面を覆うように接合された上蓋２０と、センサ素子の下面を覆うように接合された下蓋３０とを備えるセンサ。上蓋２０には可動部１８の動作範囲に対応する領域に凹状の第１可動領域２２が形成されており、下蓋３０には可動部１８の動作範囲に対応する領域に凹状の第２可動領域３２が形成されている。上蓋２０及び下蓋３０に予め可動領域２２及び３２をそれぞれ形成してからセンサ素子１０への接合を行うため、製造プロセスを簡略化することができる。 （もっと読む）

【課題】ジャイロセンサのドリフトを大幅に抑制し、特に、ＭＥＭＳ技術を利用する振動型ジャイロセンサの計測精度を向上させる。
【解決手段】振動型ジャイロセンサ１のセンサ素子部４の検出軸方向を、ステッピングモータ７により回転軸８を介して周期的に反転させ、ジャイロセンサ出力を積分した後に、反転前の積分値と反転後の積分値の差分を演算することにより、ジャイロセンサの出力信号に含まれるドリフト成分を低減するようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、外乱振動を抑制しつつ、角速度検出素子とＩＣとの実装面積を低減させることができ、かつ信号の入出力のための電極パッドの配置数も低減して小型化が図れる慣性力センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の慣性力センサは、振動型の角速度検出素子３２と、この角速度検出素子３２から出力される出力信号を処理するＩＣ３４と、前記角速度検出素子３２およびＩＣ３４を防振手段を介して収納するパッケージ３８とを備え、前記防振手段を、角速度検出素子３２を積層したＩＣ３４を載置する載置部４０と、この載置部４０の外方に分離して配置され、かつ配線パターン４２を介して接続された外方部４４とにより構成するとともに、前記載置部４０を中空保持しつつ前記外方部４４によって前記パッケージ３８に取り付けたものである。 （もっと読む）

【課題】検出感度を大きくした慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部と角速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、第１アーム８を第２アーム１０に略直交方向に連結した２つの直交アームを有し、２つの第１アーム８の一端が支持部１２にて支持され、２つの第１アーム８の他端が第１固定部４に連結され、第２アーム１０の先端部に錘部３が連結され、第１固定部４は固定アーム７にて第２固定部６と連結され、第１アーム８をＸ軸方向に配置するとともに第１固定部４にはＸ軸方向のみに弾性変形する第１弾性部９を設け、第２連結部である固定アームをＹ軸方向に配置するとともに第２固定部６にはＹ軸方向のみに弾性変形する第２弾性部１１を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】姿勢等の高精度のセンシングが可能なセンサユニットを提供する。
【解決手段】姿勢及び動きを検出するジャイロユニット６、視野内の物体の相対姿勢及びその動きを検出する人工網膜ＩＣ７、周辺に存する音源の存在を検出する音響センサ８、Ｄ−ＧＰＳ９、及びこれらのセンサの動作を制御するコントローラ５を可搬性の筐体に収容してセンサユニットを構成する。コントローラ５は、各センサ３〜９による検出結果を実時間で受け入れ、これらの検出結果を所定のメモリ領域上に形成された情報空間内に更新自在に記録し、記録された検出結果をもとに、情報空間内において自己に対する上記物体の位置、方向及び動き、つまり筐体と物体のどちらが動いたを特定するようにした。 （もっと読む）

【課題】リード端子等のパッケージ固定部材に外部から伝達された応力が振動子に伝わるのを抑制し、ひいては環境温度の変化に起因するバイアス誤差を軽減できる音叉型振動ジャイロの提供。
【解決手段】リード端子Ｐ１〜Ｐ１４は、測定装置のプリント基板に固定されており、環境温度の変動によりプリント基板が変形すると、その変形による応力を受ける。鋼製のパッケージ底板５には底部の肉厚が０．４ｍｍとなるように溝５０が形成してあり、溝５０の底部は厚み１．５ｍｍの周辺部分の１／５以下の厚みであるので、バネとし作用する。環境温度変動による応力がリード端子Ｐ１〜Ｐ１４経由で底板５に伝達されても、そのバネが曲がるので、応力は島状部５１、支持部材３にはほとんど伝達されない。すると、振動子１の振動エネルギーが支持部材３経由で漏れる量が環境温度によりほとんど影響を受けないので、検出信号のバイアス誤差は格段に軽減される。 （もっと読む）

【課題】低速回転時でも精度よく回転角速度を求めることができる光ファイバジャイロを提供する。
【解決手段】本発明のジャイロは、環状の光ファイバ１１と、光ファイバ１１内を互いに逆方向に進行するレーザ光Ｌ₁およびＬ₂を発生させる半導体光増幅器１２と、光ファイバ１１からレーザ光Ｌ₁およびＬ₂を引き出す結合器１３と、レーザ光Ｌ₁をレーザ光Ｌ₁₁とＬ₁₂とに分岐する分岐器２１と、レーザ光Ｌ₂をレーザ光Ｌ₂₁とＬ₂₂とに分岐する分岐器２２と、レーザ光Ｌ₁₁とＬ₂₁とを結合する結合器２４と、レーザ光Ｌ₁₂とＬ₂₂とを結合する結合器２５と、結合されたレーザ光Ｌ₁₁およびＬ₂₁とを検波するフォトダイオード２６と、結合されたレーザ光Ｌ₁₂およびＬ₂₂を検波するフォトダイオード２７とを備える。フォトダイオード２６で検出される信号の位相と、フォトダイオード２７で検出される信号の位相との差が、１０°〜１７０°または−１０°〜−１７０°の範囲にある。 （もっと読む）

【課題】検出感度および出力の直線性の方向依存性を改善することができるようにする。
【解決手段】センサ体１は、水平面内に配置され、上面に第１の電極１０１を有し、下面に第２の電極１０３を有する第１のピエゾフィルム１０２と、第１のピエゾフィルム１０２から下方に離間された水平面内に配置され、上面に第３の電極１０７を有し、下面に第４の電極１０９を有する第２のピエゾフィルム１０８と、第１のピエゾフィルム１０２と第２のピエゾフィルム１０８との間に配置され、水平方向および垂直方向に変位可能な剛体１０５と、を有し、水平方向および垂直方向に対称性を有する構造にしている。 （もっと読む）

【課題】１つの半導体レーザで２軸回りの角速度を計測することができる半導体リングレーザジャイロを提供する。
【解決手段】半導体リングレーザジャイロ１は、両端面から光を出射する１つの半導体レーザ２と、半導体レーザ２の出射光を２軸方向に分配する分配手段６・７と、分配手段６・７により２軸方向に分配された光を反射する複数の反射手段８〜１３と、複数の反射手段８〜１３により同一平面内で光を周回させて半導体レーザ２の出射端面とは反対側の端面に入射させるように形成された２つの光周回路Ｒ１・Ｒ２と、２つの光周回路Ｒ１・Ｒ２の一方を周回する光を遮光する遮光手段１４・１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】低コストで生産性が高く、外乱による計測精度への影響が小さく、さらに計測精度が安定した半導体リングレーザジャイロを得る。
【解決手段】リング共振構造を有する半導体リングレーザジャイロにおいて、励起源として、発光領域の幅が発振波長の１０倍以上である半導体レーザ素子、あるいは発光領域のアスペクト比が１：１０以上である半導体レーザ素子を利用し、集光レンズに要求される光学特性を緩和し、また反射部材の光軸精度の許容範囲を確保する。これにより、低コストで生産性が高く、外乱による計測精度への影響が小さく、さらに計測精度が安定した半導体リングレーザジャイロを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】振動型ジャイロセンサの発振駆動回路において、ゲインコントロールアンプ（ＧＣＡ）および同期検波用参照信号を生成する回路（コンパレータ等）における回路の共用化を実現すること。
【解決手段】１入力２出力のコンパレータ（５０）は、駆動用電流／電圧変換増幅回路（ＯＰＡ）からの電圧信号（Ｖｉｎ）を所定電圧（ＶＲ０）と比較する共用化された差動部（５１）と、この差動部（５１）の出力信号を受け、電圧振幅を可変に調整して出力する第１の出力部（５３）と、差動部（５１）の出力信号を受け、電圧振幅が固定された同期検波用参照信号（ＰＥｒｅｆ）を出力する第２の出力部（６３）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】振動型ジャイロセンサにおいて、回路規模を増大させることなく発振起動時間を短縮し、かつ低消費電力化を実現する。
【解決手段】発振駆動回路（２００）は、駆動用電流／電圧変換増幅回路（ＯＰＡ）と、差動部（５１）および出力部（５３）を含む利得制御増幅回路（ＧＣＡ，５０）と、動作モード制御回路（７０）と、を含み、通常動作モード時においては、利得制御増幅回路（ＧＣＡ，５０）の出力信号の電圧振幅を、発振ループ（ＲＰ１）が発振起動過程にあるときには発振ループ（ＲＰ１）の利得が１より大きくなるように制御し、低消費電力モード時においては、発振駆動回路（２００）の一部をオフすると共に、利得制御増幅回路（ＧＣＡ，５０）から出力される駆動信号の電圧振幅を、発振ループ（ＲＰ１）の利得が１より大きくなるように制御する。 （もっと読む）

【課題】以前の運動予測システムの欠点を解消し、かつ実質的に不変な回転軸を有する移動体の運動を処理するために特に適している方法を提案する。
【解決手段】３本の感知軸を有する少なくとも１つの慣性または磁気センサを備えている移動体の運動の実質的に不変な回転軸を検出するための方法は、前記センサの３本の感知軸に対する、異なる時間での少なくとも３つのサンプルを含む物理測定値を得るステップＥ１０、Ｅ３１と、物理測定値空間内で、実質的に不変な回転軸を予測するステップＥ１１−Ｅ１５、Ｅ３２−Ｅ３４と、前記予測された軸を、運動の実質的に不変な回転軸と同定するステップとを含む。実質的に不変な軸周りで回転する移動体の運動を予測するために特に使用される。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の動きや地磁気等の外的要因が変化する場合においても、ノイズ，誤差の影響を低減した検出値を得ることができる慣性計測装置を提供することである。
【解決手段】複数種類の検出装置２，３を備えた慣性計測装置１であって、前記各検出装置２，３には各々所定値が設定されており、いずれかの検出装置２，３の検出値が所定値を超えた際に、超えた検出装置２，３による検出値の参照割合を低下させる。所定値を超えた検出装置２，３の検出値の参照割合を、所定値を超える前の参照割合の２０％以下に設定する。 （もっと読む）

【課題】部品の共通化を実現する多軸ファイバジャイロを提供する。
【解決手段】複数の光源２と、複数の光ファイバループ４と、複数の第１光カプラ３と、複数の第２光カプラ７と、複数の位相変調器６と、複数の偏光子９と、多芯フェルール付き受光素子８と、複数の光源２を時分割制御する時分割制御回路とを備えた。 （もっと読む）