【課題】本発明は、第１、第２の質量部の振動が固定部を介して外部へ漏れることを低減するとともに、第１、第２の質量部の振動振幅が過大とならないようにでき、これにより、安定で、高精度な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは第１の質量部２４を共振駆動する振動周波数と、第２の質量部２６の固有周波数とに差を設けるとともに、前記第１の質量部２４を共振駆動する振動周波数と前記第２の質量部２６の固有周波数との差を、前記第１の質量部を共振駆動する振動周波数の±３８％以内としたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、自己診断機能を有する回路の小型化を実現することを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、ＡＤ変換器１３のサンプリン
グ周波数を変化させる周波数可変回路１５と、ＡＤ変換器１３の出力信号に通過帯域を制限するフィルタ１６と、フィルタ１６を通過したＡＤ変換器１３の出力信号におけるノイズレベルの積分値を算出する出力電圧判定回路１７と、を備え、ＡＤ変換器１３のサンプリング周波数を前記フィルタ１６における通過帯域外まで変化させることにより、ＡＤ変換器１３の量子化ノイズレベルを変化させ、当該量子化ノイズレベルの積分値が所定の範囲内にあるか否かを前記出力電圧判定回路１７において判定することにより自己診断を行う電子機器としたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子における共振振動の周波数を変化させることができる構成を実現することを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、振動子１１と、モニタ回路１２と、フィルタ回路１３と、振動制御回路１４と、駆動回路１５とを少なくとも有する振動子駆動制御回路ループ１６と、前記振動子駆動制御回路ループ１６内における信号が基準信号として入力されると共に前記振動子１１の振動周波数と同期した信号を生成し出力する位相同期回路１７と、前記位相同期回路１７の出力信号周波数が前記基準信号に対して独立となるよう切り替える切替回路２１とを具備し、前記フィルタ回路１３が、前記位相同期回路１７の出力信号周波数に応じてその通過周波数帯域を可変させるセンサ装置としたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、センサ装置の検出精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、位相調整部３０が前記ドライブ入力処理部１０の温度特性と検波部２１の温度特性との差を用いてドライブ信号の位相を調整する構成としたものである。この構成により、ドライブ入力処理部１０や検波部２１が温度特性を持っていても、位相調整部３０がドライブ入力処理部１０の温度特性と検波部２１の温度特性との差を用いてドライブ信号の位相を調整するため、ドライブ信号とセンス信号との周波数ずれの発生を抑制することができ、正しい検波を可能とすることができるため、その結果としてセンサ装置の検出精度を向上させることができるのである。 （もっと読む）

【課題】 軽量な演算処理によって、三次元姿勢角度を推定する。
【解決手段】 加減速運動可能な躯体の三次元姿勢角度を推定する三次元姿勢推定装置であって、加速度センサーと、方位センサーと、ジャイロセンサーと、前記躯体の三次元姿勢角度の暫定値である暫定角度を求める暫定角度算出部と、前記躯体の前記三次元姿勢角度を推定する姿勢角度推定部と、前記躯体が加減速運動状態にあるかないかを判定する判定部と、前記判定部が加減速運動状態にないと判定した場合には、前記姿勢角度推定部が直近に推定した三次元姿勢角度と前記暫定角度算出部が直近に求めた暫定角度とに基づいて補正値を求め、前記判定部が加減速運動状態にあると判定した場合には、前記判定部が加減速運動状態にないと判定した時点であって直近の時点において求めた前記補正値を保持する補正値算出部と、を備え、前記姿勢角度推定部は、前記三次元姿勢角度を推定する。 （もっと読む）

【課題】キャリブレーションを行う手間をかけることなく補正を行うことで、角速度センサーの検出値を正確に得ることが可能な角速度センサーの補正方法を提供する。
【解決手段】リンク３の一連の動きにおいて、角度センサー６がアクチュエーター４の回転角を検出する回転角検出工程と、回転角検出工程の後に演算部１５が回転角を微分して基準の角速度を算出する基準の角速度演算工程と、回転角検出工程と同じ工程で、角速度センサー１２が基体１に対するリンクの角速度を検出するリンクの角速度検出工程と、基準の角速度演算工程の後に、リンクの角速度が基準の角速度に近づくように補正するリンクの角速度補正工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 １つのアームに対する電極数が２本と少なく、駆動検出回路の規模や接続部周辺の占有面積を小さくでき、且つ、従来よりも高い検出感度を有する圧電振動ジャイロ用振動子及び角速度検出システムを提供すること。
【解決手段】 屈曲振動するアーム５とこれを支持固定する基部７とを有する基板と、下部電極４と圧電膜３と上部電極２ａおよび２ｂとを備え、圧電膜３の成膜面に対し平行なＸ軸方向及び圧電膜３の成膜面に対し垂直なＺ軸方向の振動の駆動及び検出をそれぞれ可能とし、上部電極２ａおよび２ｂはアーム５の屈曲部に形成され、上部電極２ａをＸ軸方向の振動の駆動もしくは検出に使用し、上部電極２ｂをＺ軸方向の振動の駆動もしくは検出に使用する。ここで、上部電極２ａおよび２ｂのＸ軸方向の幅をそれぞれＡ及びＢとした場合、０．３≦Ａ／Ｂ≦０．７を満たす値に設定されている。 （もっと読む）

【課題】振動子の検出電極から得られる出力信号の取り出し効率を低下させることなく同相もれ信号成分を抑制し、補正電極を追加することなく同相もれ信号成分を抑制し、振動子のばらつきによらず同相もれ信号成分を抑制する。
【解決手段】振動型ジャイロセンサは、振動子の複数の検出電極から出力される複数の出力信号から検出される少なくとも２つの複数の検出信号について、その内に２つ検出信号の差分信号を求めることによって角速度信号を検出し、２つの検出信号の加算信号を求めることによって前記検出信号に重畳される同相もれ信号成分を検出し、検出した同相もれ信号成分を基準信号として２つの検出信号を振幅増幅する。 （もっと読む）

本発明は、基板上に作られた共振マイクロジャイロスコープの連結構造（５）に関し、連結構造は、励起手段（３，４）によって与えられた振動運動が第１軸に沿って検出されることを可能にし、かつ第１軸を含む平面に載置された振動質量体（１，２）に伝達されることを可能にする。連結構造は、振動質量体にのみ固定されるような、振動質量体に接続されたビーム（５）の閉じた組立体を含み、励起手段によって与えられた振動運動を検出するように、かつ前記平面に収容される少なくとも第２軸に沿って振動質量体（１，２）に伝達するように組立体は配置され、連結構造は、固定点を有しない。
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【課題】駆動部や腕部が振動するときにも角速度検出部が振動し難いロボットを提供する。
【解決手段】第１腕部８と、第１腕部８を回転させる第１モーターと、第１腕部８が回転する角速度を検出する第１角速度センサー２６と、第１腕部８から第１角速度センサー２６に伝わる振動を減衰させる減衰容器２３及び減衰容器蓋部２３ａと、を有する。そして、減衰容器２３及び減衰容器蓋部２３ａは減衰部材を有し、減衰部材が第１腕部８と第１角速度センサー２６との間に配置される。 （もっと読む）

【課題】検出回路において電源電圧の制限を受けずに検波前利得を高め、検出信号の波形歪みの発生を避ける。
【解決手段】振動子を振動させ、この振動子に印加された角速度を検出する振動型ジャイロセンサにおいて、振動子の検出電極で検出される検出信号から角速度信号を生成する検出回路２０を備える。検出回路は、電源電圧に依存する信号処理を電流モードで行い、信号処理を電圧モードに代えて電流モードで行うことによって電源電圧による影響を避け、検波前利得を高めて、出力信号の雑音を低下させてＳ／Ｎ比を向上させ、検出回路の信号処理において電源電圧の制限による検出信号の波形歪みの発生を避ける。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動体の溶融により発生した加工屑を確実に除去することができる角速度センサ素子の製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサ素子の製造方法は、Ｓｉウエハ３４の上面にフィルムテープ３６を貼付した後、前記フィルムテープ３６をＳｉウエハ３４から剥離すると同時に、レーザ照射時に発生した加工屑３７をフィルムテープ３６に吸着させることにより除去する工程を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】ドリフト現象による誤差と感度の変動による誤差とを較正する方法を提供する。
【解決手段】角速度センサーを用いた角度検出方法にかかわる。角速度センサーの姿勢を第１姿勢から第２姿勢へ変更し、その間の角速度センサーの出力を積分した第１出力積分１６ａと変更に要した第１経過時間１７とを検出する。角速度センサーの姿勢を第２姿勢から第１姿勢と同じ姿勢の第３姿勢へ変更し、第１姿勢から第３姿勢１３へ変更する間の角速度センサーの出力を積分した第２出力積分１６ｂと第１姿勢から第３姿勢へ変更する間の第２経過時間１８とを検出する。第２出力積分１６ｂを第２経過時間１８にて除算してオフセット補正係数を演算する。第１出力積分１６ａからオフセット補正係数と第１経過時間１７との乗算値を引き算した第１正味出力積分１９ａを演算し、第１姿勢と第２姿勢との回転角度の差を第１正味出力積分１９ａにて除算して感度係数を演算する。 （もっと読む）

【課題】音叉型振動子からなる角速度センサの検出感度を安定化する。
【解決手段】角速度検出素子０と、当該角速度検出素子０に与えられた角速度を検出する角速度検出回路部１とで角速度センサを構成する、角速度検出回路部１は、角速度検出素子０から得られるモニタ信号を用いて当該角速度検出素子０から得られるセンス信号のノイズ成分をキャンセルするノイズキャンセル回路３０を備える。このノイズキャンセル回路３０中の振幅調整回路４にて、加算切り替え用アナログスイッチを構成するＮＭＯＳＦＥＴとＰＭＯＳＦＥＴとの各々の基板電位をソース又はＧＮＤ・電源に切り替えるスイッチ回路を設け、アナログスイッチがオンの場合には基板電位を信号ラインに、オフの場合には電源・ＧＮＤにそれぞれ切り替えることで、当該アナログスイッチのオン抵抗増加を抑える。 （もっと読む）

【課題】角速度センサにおいて、その小型化を図る。
【解決手段】検出素子１１は、基部１２と駆動信号が入力される駆動用電極１３を有し基部１２に接続された駆動用アーム１４Ａ、１４Ｂと、基部１２に接続され検出信号を出力する第１、第２の検出用アーム１５Ａ、１５Ｂとを有し、第１、第２の検出用アーム１５Ａ、１５Ｂは互いに並走するよう形成され、第１の検出用アーム１５Ａには第１、第２の検出電極１７Ａ、１７Ｂが、第２の検出用アーム１５Ｂには第３、第４の検出電極１７Ｃ、１７Ｄが形成され、第１の検出用アーム１５Ａにおいて、第１の検出電極１７Ａは第２の検出用アーム１５Ｂと反対側に形成され、第２の検出電極１７Ｂは第２の検出用アーム１５Ｂ側に形成され、第２の検出用アーム１５Ｂにおいて、第３の検出電極１７Ｃは第１の検出用アーム１５Ａ側に形成され、第４の検出電極１７Ｄは第１の検出用アーム１５Ａと反対側に形成された構成とする。 （もっと読む）

【課題】 安定で良好な特性を維持しつつ、小型化が可能で、ウェハ基板内に多数配置して量産化を図ることが可能な圧電音叉振動子およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】 矩形平板状の基部と、基部と同一の厚さで同一平面内で互いに平行に配置され、その一辺に一端を連結されたｎ本の振動アームからなる圧電音叉振動子において、振動アームの幅をＷ１、振動アームの互いの間隔をＷ２、基部の振動アームが連結された辺の幅をＷ３とするとき、Ｗ３＝２ｎ×Ｗ１＋（２ｎ−１）×Ｗ２をほぼ満たす関係にある。製造においては、基板上に振動アームの先端を直線状となるように配列した第一の列１０１と、第一の列１０１を１８０度回転した向きに配列した第二の列１０２とを互いに対向して配置し、第一の列１０１の互いに隣接する圧電音叉振動子パターンの振動アームの間に第二の列１０２の振動アームを配置する。 （もっと読む）

【課題】慣性力を検出する感度と精度を向上させることを目的としている。
【解決手段】錘部７と、可撓性を有し錘部７を支持し、所定の厚みを有し同一平面に形成され、前記厚み方向において対称である第１アーム２、第２アーム３と、前記第１アーム２、第２アーム３を介して前記錘部７を保持する枠体６と、前記錘部７を駆動させる第１駆動電極８、第２駆動電極９と、前記錘部７に作用する慣性力を検出するための感知電極１０とを備え、前記第１アーム２、第２アーム３が、前記第１アーム２、第２アーム３が形成された平面に対する垂直な方向における前記錘部７の厚みよりも薄い箇所を有し、前記錘部７が、前記第１アーム２、第２アーム３が形成された平面に対する垂直な方向において対称であるものである。 （もっと読む）

【課題】確実に発振でき、発振起動時間を短縮できる発振駆動装置、これを用いた物理量測定装置及び電子機器等を提供する。
【解決手段】振動子と発振ループを形成し、該振動子に駆動振動を励振するための発振駆動装置は、所与の電圧を基準に、前記発振ループ内の信号に基づいて前記振動子に駆動振動を励振するコンパレーターと、前記発振ループ内の発振を検出する発振検出器と、前記発振検出器の発振結果に基づいて、スイッチ制御信号を生成する信号発生回路と、前記発振ループ内の振動子と前記コンパレーターの出力との間に挿入されたスイッチ回路とを含み、前記スイッチ回路は、発振起動過程において、前記コンパレーターの出力と前記振動子とを電気的に接続する期間と前記振動子に所与の設定電圧を供給する期間とを前記スイッチ制御信号に基づいて交互に切り替える。 （もっと読む）

【課題】一つの慣性力センサで複数の軸方向の角速度の検出を外部からの衝撃、振動による誤検出を防止しながら行うことを目的としている。
【解決手段】錘部７と、可撓性を有し錘部７を支持し同一平面内に形成された第１アーム２、第２アーム３とからなる連結部と、連結部を介して錘部７を保持する枠体６と、少なくとも異なる２方向を回転軸とする角速度を検出するための感知電極１０とを備えた慣性力検出素子１と、可撓性を有し慣性力検出素子１を支持する板状の支持体１２と、支持体１２を介して慣性力検出素子１を保持する収納体１１を備え、支持体１２は厚み方向の曲げ部１３を有するものである。 （もっと読む）

【課題】物理量センサシステムの回路規模を削減する。
【解決手段】物理量センサシステム(11)は、物理量センサ(10)を駆動させ、センサ信号(Ssnc)から物理量信号(Dphy)を検波する。アナログ・デジタル変換回路(102m,102s)は、モニタ信号(Smnt)およびセンサ信号(Ssnc)をデジタルモニタ信号(Dmnt)およびデジタルセンサ信号(Dsnc)にそれぞれ変換する。駆動制御回路(103)は、デジタルモニタ信号(Dmnt)に応じてドライブ信号(Sdrv)を制御する。位相調整回路(104)は、デジタルモニタ信号(Dmnt)とデジタルセンサ信号(Dsnc)との位相差を調整する。検波回路(105)は、位相調整回路によって位相差が調整されたデジタルモニタ信号(Dmnt)およびデジタルセンサ信号(Dsnc)を乗算することにより、物理量信号(Dphy)を検波する。 （もっと読む）