【課題】量産性に優れ、小型で高感度な音叉型振動子を有する角速度センサを提供すること。
【解決手段】本発明は、ベース部１０と、ベース部１０から延びる少なくとも２本のアーム部１２と、２本のアーム部１２それぞれの表面にそれぞれ形成された第１駆動電極２８及び第１検出電極３０と、２本のアーム部１２それぞれの側面から裏面にかけて形成され、互いに電気的に接続された第２駆動電極３２と、を有する音叉型振動子を具備することを特徴とする角速度センサ。 （もっと読む）

【課題】起動開始時における慣性力センサの破壊を防止する。
【解決手段】慣性力センサ１０は、駆動信号Ｓｄｒが供給されて自励振動し自励振動に対応する振動信号Ｓｏｓｃを出力するとともに外部から与えられた慣性力に応じてセンサ信号Ｓ１０を出力する。駆動回路１１は、振動信号Ｓｏｓｃに基づいて駆動信号Ｓｄｒｖを制御する。検出回路１２は、センサ信号Ｓ１０に基づいて慣性力を検出する。制御回路１４は、駆動回路１１を起動させる際、駆動回路１１の動作パラメータを設定し、駆動回路１１の動作パラメータの設定が完了した後に駆動回路１１を起動させる。 （もっと読む）

【課題】取付位置にずれが生じたときにも取付部位の姿勢角を正確に検出することができる姿勢角検出装置を提供する。
【解決手段】人体の部位１００の姿勢角を検出する姿勢角検出装置１０であって、姿勢角センサ２０と、移動量検出手段３１、３２と演算手段６０を備えている。姿勢角センサ２０は、人体の部位１００の表面に取り付けられ、自己の姿勢角を検出する。移動量検出手段３１、３２は、取付部位１００の表面を移動したときの姿勢角センサ２０の初期位置からの移動量を検出する。演算手段６０は、検出された姿勢角を検出された移動量に基づいて補正する。 （もっと読む）

【課題】樹脂接着剤が流動しても、電気的な接続が損なわれずに低背化を図れるセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】 素子３２、ＩＣチップ３４は、入出力信号用として、各々、入出力電極４８、５０を有し、素子３２は、その表面に配置した入出力電極４８を介して電気的に接続し、ＩＣチップ３４は、その表面にのみ配置した入出力電極５０を介して電気的に接続し、基板３５は、その表面に配置した金属配線パターン４２を介して電気的に接続し、このＩＣチップ３４の入出力電極５０と基板３５の金属配線パターン４２とをワイヤ５４を介してワイヤボンディングにより電気的に接続するとともにＩＣチップ３４の入出力電極５０と素子３２の入出力電極４８とを金属バンプ５５により電気的に接続し、ＩＣチップ３４と素子３２と基板３５とは、互いに重畳するように、液状樹脂５６を介在させて硬化させるとともに金属バンプ５５を金属接合させて固定した。 （もっと読む）

【課題】デジタル物理量信号の検波精度を向上させる。
【解決手段】物理量センサ１０は、外部から与えられた物理量に応じてセンサ信号Ｓ１０を出力する。アナログ／デジタル変換器１０４は、アナログセンサ信号Ｓｓｎｃをデジタルセンサ信号Ｄｓｎｃに変換する。デジタルフィルタ１００は、アナログ／デジタル変換器１０４からのデジタルセンサ信号Ｄｓｎｃのうち所定のカットオフ周波数よりも高い周波数成分を減衰させる。検波信号生成器１０５は、正弦波信号に対応するデジタル検波信号Ｄｄｅｔを生成する。乗算器１０６は、デジタルフィルタ１００を通過したデジタルセンサ信号Ｄｐｓにデジタル検波信号Ｄｄｅｔを乗算する。これにより、デジタル物理量信号Ｄｐｈｙが検波される。 （もっと読む）

【課題】加速度を検出するにあたり、検出誤差の発生を抑制し、検出精度の向上を図ったセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】検出素子１は、第１検出用素子１ａと、第１検出用素子１ａを挟んで、互いに対向する第２検出用素子１ｂおよび第３検出用素子１ｃとを有し、これら各々の対向面には第１〜第４対向電極１４、１６、１８、２０と第５〜第８対向電極１７、１９、２１、２３を配置し、加速度検出部は、第１、第２検出用素子１ａ、１ｂの対向電極間の静電容量変化による第１容量信号と、第１、第３検出用素子１ａ、１ｃの対向電極間の静電容量変化による第２容量信号との差動検知信号に基づいて加速度を検出しており、第１容量信号と第２容量信号との差動検知信号を直線近似させる手段を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】サンプリング周波数の増大を抑制しつつ位相調整の精度を向上させる。
【解決手段】シフトレジスタ１００Ｒは、サンプリング周波数よりも高い周波数を有する逓倍クロックＣＫｘに同期してサンプリング周波数と同一の周波数を有する動作クロックＣＫａを順次シフトさせることにより、複数の遅延クロックＣＣ１，ＣＣ２，・・・を生成する。セレクタ１００Ｓは、遅延クロックＣＣ１，ＣＣ２，・・・の中からいずれか１つを選択し、選択した遅延クロックをサンプリングクロックＣＫｓｐとして出力する。アナログ／デジタル変換回路１０４は、サンプリング位相調整回路１００からのサンプリングクロックＣＫｓｐに同期してアナログセンサ信号Ｓｓｎｃをデジタルセンサ信号Ｄｓｎｃに変換する。 （もっと読む）

【課題】加速度を検出するにあたり、検出誤差の発生を抑制し、検出精度の向上を図ったセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】検出素子１は、第１検出用素子１ａと、第１検出用素子１ａを挟んで、互いに対向する第２検出用素子１ｂおよび第３検出用素子１ｃとを有し、Ｘ軸方向において、その一部が対向しないようにずらして配置するとともに、Ｘ軸断面を方形状としＹ軸断面を凹凸形状とした第１Ｘ対向電極〜第４Ｘ対向電極１４ａ、１６ａ、１８ａ、２０ａを設け、加速度検出部は、第１、第２検出用素子１ａ、１ｂの対向電極間の静電容量変化と、第１、第３検出用素子１ａ、１ｃの対向電極間の静電容量変化に基づいて加速度を検出する構成である。 （もっと読む）

【課題】センサ信号と検波信号との位相関係を精密に調整する。
【解決手段】物理量センサ１０は、所定周波数の駆動信号Ｓｄｒｖが供給され外部から与えられた物理量に応じてセンサ信号Ｓ１０を出力する。波形整形回路１０１は、駆動信号Ｓｄｒｖを基準クロックＣＫｒｅｆに変換し、逓倍回路１０２は、駆動信号Ｓｄｒｖを逓倍して動作クロックＣＫａを生成する。シフトレジスタ１００Ｒは、動作クロックＣＫａに同期して基準クロックＣＫｒｅｆを順次シフトし、遅延クロックＣＫ１〜ＣＫｎを生成する。セレクタ１００Ｓは、設定値ＳＥＴに対応する遅延クロックを選択クロックＳＳＳとして選択する。入力アンプ１０３は、センサ信号Ｓ１０を電圧に変換してアナログセンサ信号Ｓｓｎｃとして出力する。同期検波回路１０４は、選択クロックＳＳＳを検波信号として用いてアナログセンサ信号Ｓｓｎｃから物理量信号を検波する。 （もっと読む）

【課題】外部から突発的な振動が与えられた場合であっても、その振動を吸収して、素子部への振動の伝達を防止することができる角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る角速度センサ素子１は、駆動系及び検出系の振動腕を備えたセンサユニット１０ａ〜１０ｃと、センサユニット１０ａ〜１０ｃを連結する基部４と、基部４及びセンサユニット１０ａ〜１０ｃを包囲する枠状の第１固定部６と、基部４及び第１固定部６を連結する第１連結腕５ａ〜５ｃと、第１固定部６の周囲の少なくとも一部に配置された第２固定部８と、第１固定部６及び第２固定部８を連結する第２連結腕７ａ〜７ｃとを有する。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】角速度検出部と加速度検出部とを有し、検出素子２は、第１アーム４と第２アーム６とを直交方向に連結して形成した直交アームと、第１アーム４の一端を支持する支持部８とを有し、互いに直交するＸ、Ｙ、Ｚ軸において、第１アーム４をＸ軸方向に配置し、第２アーム６をＹ軸方向に配置し、角速度検出部は、第２アーム６をＸ軸方向に振動させ、角速度に起因した検出素子２の状態変化に基づき角速度を検出しており、加速度検出部は、加速度に起因した検出素子２の状態変化に基づき加速度を検出しており、第１アーム４の厚みを支持部８の厚みよりも薄くした構成である。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】互いに直交するＸ、Ｙ、Ｚ軸において、第１アーム４をＸ軸方向に配置し、第２アーム６をＹ軸方向に配置し、角速度検出部は、第２アーム６をＸ軸方向に振動させ、角速度に起因した検出素子２の状態変化に基づき角速度を検出しており、加速度検出部は、加速度に起因した検出素子２の状態変化に基づき加速度を検出しており、対向部２１はＸ、Ｙ、Ｚ軸方向のいずれかの軸方向の加速度に起因していずれかの軸方向に可動自在であって、加速度に起因した対向部２１の可動によって変化する対向電極２２間の静電容量に基づき加速度を検出する構成である。 （もっと読む）

【課題】1系統の検出手段で2軸回りの角速度を検出でき、システムの簡素化を図ることを可能にした角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度センサは、支持基板と、検出用構造体101と、変位検出手段と、第1の駆動部102と、第2の駆動部103とを有する。検出用構造体は、支持基板に少なくとも一次元の自由度をもって可動に支持される。変位検出手段は、検出用構造体の一次元の自由度の方向への変位を検出する。第1の駆動部は、第1の軸回りの角速度155に対して、一次元の自由度の方向へ第1のコリオリ力153を発生せしめる第1の参照振動151を、検出用構造体の全体または一部分に励起する。第2の駆動部は、第2の軸回りの角速度156に対して、一次元の自由度の方向へ第2のコリオリ力154を発生せしめる第2の参照振動152を、検出用構造体の全体または一部分に励起する。 （もっと読む）

【課題】加速度を検出するにあたり、検出誤差の発生を抑制し、検出精度の向上を図ったセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】角速度検出部と加速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、互いに対向する第１、第２対向基板５、１５と、各々の対向面に配置した第１〜第４対向電極１４、１６、１８、２０と第５〜第８対向電極１５、１７、１９、２１と、これら対向電極と静電容量結合するとともに第１、第２対向基板５、１５の各々の対向面に配置した接地電極３０とを有し、この接地電極３０を第１、第２対向基板５、１５の各々の対向面に配置された隣接する対向電極の間に設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】検知軸を傾けた状態で振動子をパッケージに実装することができ、かつコストダウン可能な角速度センサを実現する。
【解決手段】パッケージ３０と、第１音叉型振動子１０ａと、前記パッケージ３０上に設けられ、前記第１音叉型振動子１０ａの検知軸１が前記パッケージ３０の底面３２に対して所定角度傾くように、前記第１音叉型振動子１０ａを支持する第１支持部２０ａと、第２音叉型振動子１０ｂと、前記パッケージ３０上に設けられ、前記第２音叉型振動子１０ｂの検知軸２が前記第１音叉型振動子１０ａの検知軸１と交差するように、前記第２音叉型振動子１０ｂを支持する第２支持部２０ｂと、を具備する角速度センサ。 （もっと読む）

【課題】耐久性に優れ量産性の高い振動センサを提供すること。
【解決手段】本発明は、パッケージ１０と、パッケージ１０の内部に搭載された振動子と、パッケージ１０の下外面１２が露出するように開口部２８を有し、パッケージ１０を開口部２８の対向する２辺８４で支持するように搭載する搭載部２０と、を具備し、搭載部２０の下面が実装されるべき実装面７０である振動センサである。本発明によれば、搭載部２０の開口部２８の２辺８４でパッケージ１０を支持するため、耐久性に優れている。 （もっと読む）

【課題】 駆動・検出に棒の屈曲２次振動姿態を用い、高精度かつ支持が容易、構造簡素で実用性が高いジャイロセンサ振動体を提供すること。
【解決手段】 弾性材料より成る実質的に真直な棒を主体とし、該棒はその長軸を含む第１の平面内において両端自由の２次の屈曲振動を圧電的に励振する駆動電極と、前記棒が前記長軸に平行な回転軸の回りに回転するとき前記平面と直交する平面である第２の平面に沿って発生するコリオリ力によって生起される振動を圧電的に検出する検出電極を備えているジャイロセンサ振動体。また、駆動電極と検出電極とは、棒の重心の反対側に配置されていること。また少なくとも棒の重心が弾性的に支持されていること。また棒は重心の両側で圧電性の方向が９０°異なっていること。また棒の両端寄りの部分に緩衝器を備えていること。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度センサの周囲の温度が急激に変化する環境下においても、正確に角速度を検出することができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、ケース３０の外側に周囲の温度を測定する外側温度センサを設けるとともに、ケース３０の内側にケース３０の内側の温度を測定する内側温度センサ５８を設け、さらに前記ケース３０の内側に温度可変素子５７を設けた構成としたものである。 （もっと読む）

本発明は、自動利得制御ループを使用した力平衡制御システム及び制御方法に関するもので、質量体の速度信号を制御する自動利得制御ループを使用して振動型角速度計の力平衡フィードバック制御を遂行するように構成され、複雑で雑音に敏感な従来のデジタル回路を簡単なアナログ回路で具現することができ、マイクロ角速度計に適用可能であるのみならず、汎用振動型角速度計または慣性センサー、圧力センサー、温度センサーなどの多様なセンサーに拡張可能な効果がある。
さらに、本発明の自動利得制御ループを使用した力平衡制御システムを多様なセンサーに適用することで、センサーの動的領域、帯域幅、線形性などの性能向上をはかることができる。
（もっと読む）

【課題】本発明は、補正データに改竄が生じた場合に、改竄が起きているビット自身の特定を可能にして、容易に補正データを修正することができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、第１の不揮発性メモリ６４におけるパリティ領域を水平パリティ７４、第１の垂直パリティ７１および第２の垂直パリティ７２で構成し、データ領域７３、水平パリティ７４の水平方向およびデータ領域７３、第１の垂直パリティ７１、第２の垂直パリティ７２の垂直方向のデータの和が奇数または偶数に統一されるように構成したものである。 （もっと読む）