【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図った複合センサを提供することを目的としている。
【解決手段】角速度を検出する角速度検出素子１０と、加速度を検出する加速度検出素子１２と、加速度検出素子１２または角速度検出素子１０から出力される信号を処理するＩＣ１４と、角速度検出素子１０および加速度検出素子１２およびＩＣ１４とを収納するとともに、ＩＣ１４を固定配置したパッケージ１６とを備え、ＩＣ１４の上方に角速度検出素子１０を配置し、角速度検出素子１０の上方に加速度検出素子１２を配置した構成である。 （もっと読む）

【課題】移動ロボットの向いている方向を高精度に検出可能とする。
【解決手段】複数の区画に分割された床下空間内にて床下地面上を移動する移動ロボットであって、移動ロボットの床下地面上での回動角を算出する積算型センサ（角速度センサ１４１、回動角算出部１０４）と、複数の区画のうち互いに隣接する区画間に設けられた通気口に関する情報を検出する通気口検出部（側部距離センサ１４２、通過検出部１０６、進入角度算出部１０７）と、上記回動角と上記通気口に関する情報とに基づき、床下空間内で移動ロボットの向いている方向を検出する方向検出部（方向検出部１０５）とを備え、方向検出部は、通気口に関する情報を用いて、積算型センサの累積誤差を補正する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電荷増幅器からの出力信号にどのようなノイズ成分がのっている場合でも、確実にノイズ成分を除去することができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、検出回路２７における電荷増幅器２８ａおよび電荷増幅器２８ｂと同期検波器３１との間に電荷増幅器２８ａおよび電荷増幅器２８ｂの出力信号に生じるノイズ信号を除去するノイズ信号除去手段３５を設けた構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子に過大な衝撃が加わった場合に発生する誤差信号を出力信号から確実にキャンセルすることができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、位相器３１における第１の注入抵抗と第２の注入抵抗の抵抗値を切り替えて差動増幅器２９からの出力信号の振幅を減衰させる切り替えスイッチからなる振幅減衰手段を位相器３１に設けた構成としたものである。これにより、出力信号から誤差信号を確実にキャンセルすることができる。 （もっと読む）

【課題】 サイズを拡大させることなく、オフセットのキャンセルを可能すること。
【解決手段】 加速度を錘の姿勢変化に基づいて検出する。錘の姿勢変化は、錘と固定電極間の静電容量の変化量に基づいて、Ｃ／Ｖ変換回路において検出される。Ｃ／Ｖ変換回路では、錘と固定電極からなる静電容量素子の差動容量に基づいて、キャリア信号を振幅変調し、これを復調することによって容量変化を電圧信号として取り出す。差動容量検出型のＣ／Ｖ変換回路の初期状態におけるオフセット電圧をキャンセルさせるための補正回路をセンサ構造体の内部に設ける。補正回路は、検出容量に対して並列に接続された、ＳＯＩ基板からなる複数のコンデンサ素子を有する補正用コンデンサにより形成される。容量バランスをとるように、補正用コンデンサの接続配線をレーザで切断することにより、初期状態のオフセット電圧のキャンセル化を図る。 （もっと読む）

【課題】本発明は、温度変化の多い環境下で使用しても出力特性が安定している角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、モニタ信号検出回路３９からのモニタ信号が所定値のときの出力信号検出回路４０からの出力信号を角速度の信号としてサンプリングするサンプリング制御手段４５を設けた構成としたことにより、出力信号が温度変化により変化するのを抑制できるため、温度変化の多い環境下で使用しても出力特性が安定している角速度センサを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】１軸の回転系の角速度を検出する圧電振動片と１系列の検出手段でＺ軸回転系とＹ軸回転系の２軸の回転系の角速度検出を実現する角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度センサ１は、基部２０と、基部２０または基部２０に接続された連結腕３１，３２からＹ軸に平行に延出されＹ軸に直行するＸ軸方向に屈曲振動を行う駆動腕４０，５０と、駆動腕４０，５０に平行な検出腕６０と、がＸＹ平面に形成される圧電振動片１０と、Ｙ軸回りの回転により与えられるＺ軸方向のコリオリ力により検出腕６０に発生する振動成分と、前記ＸＹ平面に対し垂直なＺ軸回りの回転により与えられるＹ軸方向のコリオリ力により検出腕６０に発生する振動成分との両方に応じて、検出信号を出力する検出手段と、が備えられている。また、検出腕６０の先端には、検出腕部６１，６２の幅の５〜１０倍の幅を有する錘部６３，６４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】Ｙ軸回転系の捩れ振動成分の検出を実現する簡単な構造で小型の角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度センサ１は、基部２０と、基部２０または基部２０に接続された第１の連結腕３１、第２の連結腕３２からＹ軸に平行に延出されＹ軸に直交するＸ軸方向に屈曲振動をする駆動腕４０，５０と、駆動腕４０，５０に平行な検出腕６０と、がＸＹ平面に形成される圧電振動片１０と、Ｙ軸回りの回転により与えられるコリオリ力により検出腕６０に発生する振動成分に応じて、検出信号を出力する検出手段と、が備えられている。Ｙ軸回転系の振動成分は検出腕６０の捩れ振動成分である。 （もっと読む）

【課題】コンパクトで多軸の検出を可能とする。
【解決手段】センサモジュール１０は、外面に複数の外部端子３６ａが設けられたパッケージ本体２４内にセンサ用振動片を収容した少なくとの２つ以上のセンサ部品１４（１４ａ、１４ｂ）と、上面に前記各センサ部品１４が固着されるとともに、前記各センサ部品１４の前記外部端子３６ａが接合される複数の接合端子４０を有する配線基板１２と、前記配線基板１２の下面に設けられて実装基板に接合する複数の実装端子とを備え、前記各センサ部品１４は、検出軸を相互に交差させて配置するとともに、少なくとも１つは、前記パッケージ本体２４の側面が前記配線基板１２に固着してある。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図った複合センサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出素子２と角速度検出素子４を互いに積層配置するとともに加速度検出素子２の錘部１２と離隔させて加速度検出素子２の上方に角速度検出素子４を配置し、かつ、角速度検出素子４は、加速度検出素子２の錘部１２と対向する対向面に、加速度検出素子２の錘部１２と離隔させる凹部２６を設けるとともに、この凹部２６の少なくとも一部は錘部１２の可動範囲（Ｈ）を超えない深さ（Ｄ）として、加速度検出素子２の錘部１２の上方可動を抑制した構成である。 （もっと読む）

【課題】複数の検出軸の慣性力を検出でき、各種電子機器の小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】第１アーム２を第２アーム４に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム２を支持する支持部６と、支持部６に一端を連結するとともに他端を実装基板（図示せず）に固定する２つの固定用アーム８とを有する検出素子１を備え、第２アーム４には第２アーム４自身と対向するまで折曲した対向部１６を設け、第２アーム４の先端部には錘部１１を連結し、この錘部１１に凹部１２を設けるとともにこの凹部１２に第２アーム４の先端部を連結した構成である。 （もっと読む）

【課題】本発明は各種電子機器の小型化を図れる角速度センサを提供することを目的としている。
【解決手段】検出素子１１は、第２アーム１４の駆動振動面と第２アーム１４の歪面とが同一平面であって、前記第１、第２感知手段は、圧電体４１を介在させた上部電極２３と下部電極２２とからなる第１、第２感知電極部２９、３０を有し、圧電体４１には分極方向を異ならせた２つの分極部を並べて配置しており、第１、第２感知電極部２９、３０は各々１つの感知信号を出力するとともに、この感知信号に基づく加算信号から角速度を検出する構成である。 （もっと読む）

【課題】参照振動により検出信号に発生するノイズを低減することにより、高精度な角速度検出を行うことができる角速度センサを提供することである。
【解決手段】角速度センサは、参照振動子２と、検出振動子４と、参照振動発生手段６と、検出手段７とを有する。参照振動子２は、第１の回転軸Ａを中心として往復回転振動可能に支持される。検出振動子４は、参照振動子２の往復回転振動と外部から入力する角速度により発生するコリオリ力によって、第１の回転軸Ａとは異なる第２の回転軸Ｂを中心として回転する様に、参照振動子２により往復回転振動可能に支持される。参照振動発生手段６は、参照振動子２を第１の回転軸Ａを中心として往復回転振動させる。検出手段６は、参照振動子２と検出振動子４の相対的な位置を検出し、検出振動子４の第２の回転軸Ｂを中心とした回転の大きさによってコリオリ力を検出することで角速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】積算型センサを搭載するととともに、積算型センサの累積誤差を容易に補正することを可能とする点検システム及び誤差補正プログラムを提供する。
【解決手段】閉空間内において走行面上を自走する点検ロボット１００を含む点検システムが、カメラユニット１３０を所定角度回転させる毎にカメラユニット１３０が撮像する閉空間の画像から水平線分を抽出する画像処理部２３０と、画像処理部２３０によって抽出された水平線分と、水平線分が抽出される閉空間の画像を撮像した際におけるカメラユニット１３０の回動角とに基づいて、ジャイロセンサ１５０の累積誤差を補正する制御部２４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 音叉板面に垂直な軸の回りの回転運動の角速度を検出する、薄型でかつ平面形状も小型の運動センサを得ること。
【解決手段】 音叉基部より同じ方向に真直かつ平行に形成された２本の外脚および１本の中脚を備えた三脚音叉型の形状を有し、前記２本の外脚は前記三脚音叉の対称軸に関して対称な振動を行うように一定の振幅で励振され、前記中脚は励振されないが三脚音叉の板面内におけるそれ自身の振動を検出する表面電極を備えており、前記三脚音叉がその板面に垂直な軸の回りに回転する際に発生し、前記両外脚の軸方向にそれぞれ逆向きに作用するコリオリ力と前記両外脚の軸間距離によって発生する偶力が伝達されることによる前記中脚のコリオリ力に比例した振幅の振動を前記表面電極によって検出し、前記板面に垂直な軸の回りの回転運動の角速度に比例する検出出力を得る運動センサ。 （もっと読む）

【課題】本発明は、音叉の主面に検知電極を設けた場合でも、出力信号の補正をすることができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、検知部２７と連続して音叉１１を構成する第１のアーム１２の長手方向の一端に、この第１のアーム１２の内側および外側に分岐する内側分岐部３３と外側分岐部３４を設けるとともに、外側分岐部３４に第１の調整部３５を設けた構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】振動子の振動の漏れや外部の振動の振動子への影響を抑制することができる角速度センサを提供すること。
【解決手段】本発明は、ベース部とベース部から延びる複数のアーム部を有する音叉型振動子（１０）と、音叉型振動子（１０）のベース部を表面で支持する支持部（２０）と、支持部（２０）の表面と反対側の面である裏面に設けられた防振部（４０）と、支持部（２０）を防振部（４０）を介し実装する実装部（３０）と、を具備することを特徴とする角速度センサである。 （もっと読む）

【課題】角速度センサ同士の相対的な実装ずれを抑えることで、検出感度を向上させることを可能とする。
【解決手段】基板１０上の支持部に一端側が支持された弾性支持体と、弾性支持体の他端側に支持されたもので第１基板１００に対して変位可能な振動子を有し、振動を検出する方向が単軸方向の角速度センサを複数備えたもので、複数の角速度センサは、第１軸に感度を持つ第１角速度センサ１１と、第１軸に直交する第２軸に感度を持つ第２角速度センサ１２と、第１軸と第２軸の両方に直交する第３軸に感度を持つ第３角速度センサ１３とからなり、第１〜第３角速度センサ１１〜１３が基板１０上に同一工程で形成されたものからなる。 （もっと読む）

【課題】ジャイロの構成部品間で光ビームを送るための薄膜導波管を使用する低コストの光ジャイロのための方法および装置を提供する。
【解決手段】ジャイロは、絶縁体層を有する基板（１６）と、絶縁体層に形成されるシリコン導波管（１６）と、シリコン導波管に結合され、第１の光ビームの一部分を第１の逆向き伝搬方向に循環させ、第２の光ビームの一部分を第２の逆向き伝搬方向に循環させるように構成された共振器（１８）とを備える。第１のシリコン導波管は、それを通して第１および第２の光ビームを伝搬させる。第１および第２の光ビームの各々は、共振器内を循環するとき、共振周波数を有する。 （もっと読む）

【課題】実装部の長辺を縮小することが可能な角速度センサを提供する。
【解決手段】本発明は、それぞれがベース部とベース部から延びる複数のアーム部を有する第１および第２音叉型振動子（１０ａ、１０ｂ）と、第１および第２音叉型振動子を実装する実装部（３０）と、を具備し、第１音叉型振動子（１０ａ）のアーム部の先端は第２音叉型振動子（１０ｂ）の側面に対向しており、第１音叉型振動子（１０ａ）と実装部（３０）を接続する第１ワイヤ（４２ａ）は第１音叉型振動子（１０ａ）の幅方向に引き出されることを特徴とする角速度センサである。 （もっと読む）