【課題】
振動型ジャイロの自励発振を安定にさせることでノイズを抑え、高Ｓ／Ｎ化を実現すること。
【解決手段】
この検出装置は、駆動電極と駆動電極を挟むように所定の間隔をもって配置された一対の検出電極とを有する第１の側と、第１の側に対向するように設けられ共通電極を有する第２の側とを有する圧電素子を有し、駆動電極と共通電極との間に加えられる駆動信号により振動し、一対の検出電極からコリオリ力に応じた一対の検出信号を発生する片持ちタイプの振動型ジャイロと、一対の検出電極にバイアス電圧を印加するバイアス印加手段と、一対の検出信号を加算する加算手段と、加算手段により加算された検出信号の位相を４５°よりも大きく９０°よりも小さい範囲で遅延させる第１の位相遅延手段と、第１の位相遅延手段により遅延された検出信号を所定の電圧振幅となるように制御して駆動信号として出力する振幅制御手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】センサの小型化を図りつつ、バイアス信号を生成し、検出感度を向上させるセン
サを提供することを目的としている。
【解決手段】検出処理回路４は、駆動電極６に駆動信号を通電し検出素子２を振動させる
駆動回路１２と、検出素子２に与えられる角速度や加速度に起因して検出電極１０から出
力される検出信号に基づき、角速度や加速度を検出する検出回路１４と、モニタ電極８か
ら出力されるモニタ信号に基づき、検出素子２の振動状態をモニタするモニタ回路１６と
を備え、この検出信号には、検出素子２の周囲温度に起因して変化する温度依存性信号成
分が含まれているので、この温度依存性信号成分を相殺するバイアス信号成分を生成する
バイアス信号生成回路２２を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】検出感度を大きくした慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部と角速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、第１アーム８を第２アーム１０に略直交方向に連結した２つの直交アームを有し、２つの第１アーム８の一端が支持部１２にて支持され、２つの第１アーム８の他端が第１固定部４に連結され、第２アーム１０の先端部に錘部が連結され、第１固定部４は固定アーム７にて第２固定部６と連結され、第１アーム８をＸ軸方向に配置するとともに第１固定部４にはＸ軸方向のみに弾性変形する第１弾性部９を設け、第２連結部である固定アームをＹ軸方向に配置するとともに第２固定部６にはＹ軸方向のみに弾性変形する第２弾性部１１を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】モニタ増幅信号と検出増幅信号の位相ずれを抑制した角速度センサを提供することを目的としている。
【解決手段】駆動電極３２に駆動信号を通電し振動子３１を振動させる駆動回路３５と、慣性力に起因して検出電極３４から出力される検出信号を増幅する検出信号増幅回路３６と、モニタ電極３３から出力されるモニタ信号を増幅するモニタ信号増幅回路３７とを備え、モニタ信号増幅回路３７は第１増幅器４０と第１帰還抵抗４１と第１帰還容量４２とを有し、検出信号増幅回路３６は第２増幅器４３と第２帰還抵抗４４と第２帰還容量４５とを有し、モニタ電極３３の電極面積と検出電極３４の電極面積とを等しくすることにより、モニタ電極３３で生成される静電容量値と前記検出電極３４で生成される静電容量値とを等しくした構成である。 （もっと読む）

【課題】検出感度を大きくした慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部と角速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、第１アーム８を第２アーム１０に略直交方向に連結した２つの直交アームを有し、２つの第１アーム８の一端が支持部１２にて支持され、２つの第１アーム８の他端が第１固定部４に連結され、第２アーム１０の先端部に錘部が連結され、第１固定部４は固定アーム７にて第２固定部６と連結され、第１アーム８をＸ軸方向に配置するとともに第１固定部４にはＸ軸方向のみに弾性変形する第１弾性部９を設け、第２連結部である固定アームをＹ軸方向に配置するとともに第２固定部６にはＹ軸方向のみに弾性変形する第２弾性部１１を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度センサを搭載する車両が高地を移動する等して角速度センサにおける振動子の傾き角が絶えず変化しても、角速度センサの出力信号が変動するということはなく、安定した出力信号が得られる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、振動子１１と、この振動子１１を所定の振幅および周波数で振動駆動する駆動回路１９と、前記振動子１１に角速度が負荷された際にコリオリ力により振動子１１に発生する電荷を増幅するとともに出力電圧に変換して出力する検出回路２０とを備え、前記検出回路２０に、角速度センサが取り付けられる被検出体の傾斜に応じて発生する出力誤差を補正する補正手段３４を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】製造工程を簡略化し、製造コストを削減すること。
【解決手段】本発明は、角速度を検出する振動子を格納するパッケージ１０と、パッケージ１０と接続するための第１端子２７、２８と、外部と接続するための第２端子２４、２５と、第１端子及び第２端子の少なくとも一部を露出する樹脂部２１と、を有し、パッケージを支持する搭載部２０と、金属製の接合部３２を有し、パッケージ１０を覆い、搭載部２０に設けられた金属製の接合端子２２に接合部３２が接合することにより搭載部２０に固定されたカバー３０と、を具備する角速度センサである。 （もっと読む）

本発明は、検知のためにセンサーが回転される、回転Ωを検知するための回転速度センサーであって、前記センサーは、基材、及び基材表面の上側のｘ−ｙ平面に、実質的に平面状に存在する駆動−及び検知構造を有し、駆動−及び検知構造は、駆動質量（４）と検知質量（３）を有し、これらは、検知構造の中心（Ｚ）から異なる間隔で、中心（Ｚ）の回りに対称的に配置され、そして、その振動モードは、部分的に相互に伝えられることが可能であり、及び部分的に分離され、回転Ωは、検知質量の、駆動−及び検知構造の平面からの傾きを検知することにより検知される回転速度センサーに関する。そして本発明は、両質量（３、４）の内、前記中心に対して、より大きな間隔を有する側のものは、コリオリの力の影響下に、前記平面からの傾斜が可能であり、及び結合手段（７）によって基材に結合され、これにより、前記傾きの戻り動作が、前記結合手段によって補助される、ことを特徴とする。本発明の結合手段により、センサーの、従属する環境作用に対する構成の強さが改良される。 （もっと読む）

【課題】可動構造部のスティッキングを抑制するのに適するとともに、歩留りよく製造するのに適するマイクロ可動素子、そのようなマイクロ可動素子を製造するのに用いることのできるウエハ、及び、そのようなウエハを製造するための方法を提供する。
【解決手段】本発明のウエハ製造方法は、例えば、プレ第２層上にポリシリコンまたはアモルファスシリコンを成膜することによって微細凹凸面を形成する工程と、プレ第２層の微細凹凸面上にプレ中間層を形成する工程と、プレ第１層およびプレ第２層を、微細凹凸面上のプレ中間層を介して接合する工程とを含む。本発明のマイクロ可動素子Ｘ１は、例えば前記のウエハに加工を施すことによって得られたものであって、第１層において成形された構造部６２Ａと、構造部６２Ａに空隙を介して対向する部位を有して構造部６２Ａに対して相対変位可能な、第２層において成形された構造部６１とを備える。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い振動型ジャイロセンサ、制御回路、電子機器及び振動型ジャイロセンサの製造方法を提供すること。
【解決手段】振動型ジャイロセンサ２００は、振動ジャイロ素子３１と、この振動ジャイロ素子３１を駆動する制御回路２５０とを備える。ＧＣＡ２４は、加算回路２２の出力の電圧振幅を検波回路２５で検出し、加算回路２２の出力が一定の電圧振幅になるようにフィード・バックを掛けることで増幅度をコントロールしている。振動型ジャイロセンサ２００の製造段階または出荷前の段階で、ボルテージ・ホロワァ２８を介して、ＧＣＡ２４から出力される駆動信号が監視されればよい。これにより、信頼性の高い振動型ジャイロセンサを実現できる。ボルテージ・ホロワァ２８を介して監視されることにより、圧電膜３３の静電破壊や電荷抜けによる分極崩れが起こることを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】高結合圧電単結晶において製造が容易で量産性に優れた、高感度で高駆動効率を有する角速度センサおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、ベース部１０とベース部１０から延びる複数のアーム部１２とを有し、複数のアーム部１２のうち互いに駆動振動する２つのアーム部１２はそれぞれベース部１０に反対の先端部２２の幅ｔ１がベース部１０に接続する部分の幅ｔ２より広い音叉型振動子を有する角速度センサおよびその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】複数の検出軸の慣性力を検出でき、各種電子機器の小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】第１アーム２を第２アーム４に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム２を支持する支持部６と、支持部６に一端を連結するとともに他端を実装基板（図示せず）に固定する２つの固定用アーム８とを有する検出素子１を備え、第２アーム４には第２アーム４自身と対向するまで折曲した対向部１６を設け、第２アーム４の先端部には錘部１１を連結し、この錘部１１に凹部１２を設けるとともにこの凹部１２に第２アーム４の先端部を連結した構成である。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図ったセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部と角速度検出部を有する検出素子１を備え、検出素子１は、第１アーム８を第２アーム１０に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム８の一端を支持する支持部１２と、第２アーム１０の先端に連結した錘部２とを有し、第１アーム８の厚みを第２アーム１０の厚みよりも薄くし、かつ、第１アーム８の他端にて実装基板に固定した構成である。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図った複合センサを提供することを目的とする。
【解決手段】コリオリ力に起因して撓む第２アーム４に形成した角速度検出部と、錘部１１の可動に起因して撓む第１アーム２に形成した加速度検出部とを有する検出素子１を備え、検出素子１は、相互作用を抑制する抑制層を介在させて積層した圧電層と歪抵抗層とを設け、角速度検出部は、コリオリ力に起因して撓む第２アーム４の状態変化を圧電層で検出して角速度を検出し、加速度検出部は、錘部１１の可動に起因して撓む第１アーム２の状態変化を歪抵抗素子３０で検出して加速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】信号線に発生する静電容量を低減して、特性向上を図ったセンサの製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】第１アーム２を第２アーム４に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム２の一端を支持する支持部６とを備え、第１、第２駆動電極部１７ａ、１７ｂおよび第１〜第４感知電極部１９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０ｂを第２アームに配置し、第１、第２駆動電極部１７ａ、１７ｂおよび第１〜第４感知電極部１９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０ｂは、上部電極１５と下部電極１４との間に圧電層１３を介在させて形成し、上部電極１５から上部信号線１５ａを引き出すとともに下部電極１４から下部信号線１４ａを引き出し、かつ、互いに対向させずに引き出した構成である。 （もっと読む）

【課題】複数の検出素子や複数の角速度センサを実装するための実装面積を確保する必要がなく、各種電子機器の小型化を図れる角速度センサを提供することを目的としている。
【解決手段】２つの第２アーム４に配置された第１感知手段１９と第２感知手段２０と第３感知手段２１は検出回路部に接続され、この検出回路部において、第１〜第３感知電極部１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂから出力される角速度信号に基づき角速度を検出しており、この角速度信号には、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸における、Ｘ軸周りのＸ成分信号およびＹ軸周りのＹ成分信号およびＺ軸周りのＺ成分信号および可撓体の振動成分信号が含まれ、上記の検出回路部には、これらのＸ成分信号とＹ成分信号とＺ成分信号と振動成分信号を分離する分離手段を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】信号線に発生する静電容量を低減して、特性向上を図ったセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】第１アーム２を第２アーム４に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム２の一端を支持する支持部６とを備え、第１、第２駆動電極部１７ａ、１７ｂおよび第１〜第４感知電極部１９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０ｂを第２アームに配置し、第１、第２駆動電極部１７ａ、１７ｂおよび第１〜第４感知電極部１９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０ｂは、上部電極１５と下部電極１４との間に圧電層１３を介在させて形成し、上部電極１５から上部信号線１５ａを引き出すとともに下部電極１４から下部信号線１４ａを引き出し、かつ、互いに対向させずに引き出した構成である。 （もっと読む）

【課題】実装体積の小さな３軸の角速度センサを提供すること。
【解決手段】本発明は、第１ベース部と前記第１ベース部から第１方向に延びる複数の第１アーム部とを有する第１音叉型振動子１０ａと、第２ベース部と前記第２ベース部から第２方向に延びる複数の第２アーム部とを有する第２音叉型振動子１０ｂと、第４方向に延びる軸を支点に振動する駆動ジンバル部と、第５方向に延びる軸を支点に振動する検出ジンバル部とを有し第３方向に延びる軸の角速度を検出するダブルジンバル部と、を具備する角速度センサである。 （もっと読む）

【課題】物理量センサの起動時におけるハイパスフィルタのコンデンサへの充電の時間を速くするとともに、増幅器のバイアス電流による偏差を打ち消して増幅器の出力をできるだけ速く収束させること。
【解決手段】物理量センサ１１からの出力信号に含まれる超低周波成分を除去するための、コンデンサおよび抵抗を含んで構成されるハイパスフィルタ１２と、ハイパスフィルタからの出力信号を増幅する増幅器１３と、ハイパスフィルタに接続されたときに当該ハイパスフィルタの時定数を小さくしてコンデンサの充電時間を早めるための補助回路１５と、を有し、補助回路１５は、物理量センサの起動時にはハイパスフィルタ１２に接続され、物理量センサの起動が完了した後においてハイパスフィルタとの接続が解除されるように構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、補正データの分解能を高くしても、記憶手段の容量が大きくなって、角速度センサおよびその出力信号が入力される車両制御装置が大きくなるということがない小形の角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、検出回路３７からの出力信号を補正する補正データを少なくとも２次曲線以上の較正曲線で構成するとともに、この較正曲線の係数を記憶手段５０に記憶するようにしたものである。 （もっと読む）