【課題】本発明は、センサ装置の信頼性を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、処理回路部１４Ａ、１４Ｂからのセンス信号を出力する第１の出力端子１５Ａ、１５Ｂと、駆動回路部１１Ａ、１１Ｂ、検知素子１２Ａ、１２Ｂ、検出回路部１３Ａ、１３Ｂ、及び処理回路部１４Ａ、１４Ｂの内少なくともいずれか１つを被故障診断部とし、被故障診断部が正常か異常かを判断するとともに異常と判断した場合には故障検知信号を第２の出力端子１６Ａから出力する故障診断回路１６と、を備え、被故障診断部からの故障検知信号に関する出力が第２の出力端子１６Ａにたどり着くまでの時間が、被故障診断部からのセンス信号に関する出力が第１の出力端子１５Ａ、１５Ｂにたどり着くまでの時間よりも短いセンサ装置としたものである。 （もっと読む）

【課題】物理量センサの検出精度を安定させる。
【解決手段】振幅検出回路１０１は、物理量センサの自励振動に応じたモニタ信号Ｓｍｎｔの振幅値Ｄ１０１を検出する。波形整形回路１０２は、モニタ信号Ｓｍｎｔをパルス信号Ｐ１０２に変換する。パルス振幅変調回路１０４は、振幅値Ｄ１０１に応じてパルス信号Ｐ１０３の振幅を調整して、物理量センサの自励振動を制御するためのドライブ信号Ｓｄｒｖとして出力する。 （もっと読む）

【課題】半導体層に対して良好にトレンチエッチングを行うことができる半導体素子の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体層に複数の方向のパターン１，２のトレンチが交差して形成されている半導体素子を製造する際に、複数の方向のパターン１，２のうち少なくとも１つの方向のパターン１に角度の変化点を１つ以上設けて、少なくとも１つの方向のパターン１を延長した箇所から複数の方向のパターン１，２の交差部をずらす（パターン３，４）ように、半導体層上にマスクパターンを形成する工程と、このマスクパターンを使用して、エッチングにより半導体層にトレンチを形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】物理量センサの検出精度を安定させる。
【解決手段】アナログ・デジタル変換回路１０１は、物理量センサからのモニタ信号Ｓｍｎｔをデジタルモニタ信号Ｄｍｎｔに変換する。振幅検出回路１０２は、デジタルモニタ信号Ｄｍｎｔの振幅値の平均値Ｄ１０７を検出する。デジタル・アナログ変換回路１０３は、振幅検出回路１０２によって得られた平均値Ｄ１０７をアナログ平均値Ｖ１０３に変換する。可変利得増幅回路１０４は、デジタル・アナログ変換回路１０３によって得られたアナログ平均値Ｖ１０３に応じて増幅利得が可変であり、その増幅利得に従ってモニタ信号Ｓｍｎｔを増幅または減衰させてドライブ信号Ｓｄｒｖとして出力する。 （もっと読む）

【課題】電源電圧の変動や温度変化に起因するノイズ補正精度の劣化を抑制できる物理量検出回路を提供する。
【解決手段】アナログ・デジタル変換回路１０１は、物理量センサからのモニタ信号Ｓｍｎｔおよびセンサ信号Ｓｓｎｃをそれぞれデジタルモニタ信号Ｄｍｎｔおよびデジタルセンサ信号Ｄｓｎｃに変換する。補正回路１０２は、デジタルモニタ信号Ｄｍｎｔの振幅および位相を調整してデジタルセンサ信号Ｄｓｎｃのノイズを減衰させるためのデジタル補正信号Ｄｃｏｒを生成するとともに、デジタル補正信号Ｄｃｏｒを用いてデジタルセンサ信号Ｄｓｎｃを補正してデジタルセンサ信号ＤＤＤを出力する。検波回路１０３は、デジタルセンサ信号ＤＤＤから物理量センサに与えられた物理量に対応する物理量信号Ｄｐｈｙを検波する。 （もっと読む）

【課題】センサーの取付角誤差に起因する検出値の誤差を補正するための補正パラメーターをより低コストで作成可能な姿勢検出装置の補正パラメーター作成方法、補正パラメーター作成用装置及び補正機能付きの姿勢検出装置を提供すること。
【解決手段】回転板２３０を上面２３１が水平になるように設置し（Ｓ１０）、立方体治具２１０の面２１１に、Ｘ軸（第１の軸）が面２１２（第２の面）に垂直になり、Ｙ軸（第２の軸）が面２１３（第３の面）に垂直になり、Ｚ軸（第３の軸）が面２１１（第１の面）に垂直になるように、姿勢検出装置１を固定する（Ｓ１２）。そして、立方体治具の面２１２、２１３、２１１と対向する各面を回転板の上面に順次固定し（Ｓ１４、Ｓ２０、Ｓ２６）、回転板を静止又は所定の角速度で回転させて姿勢検出装置の検出値を取得し（Ｓ１６、Ｓ１８、Ｓ２２、Ｓ２４、Ｓ２８、Ｓ３０）、補正パラメーターを作成する（Ｓ３２）。 （もっと読む）

【課題】ゼロ点出力の急峻な温度変動を低減し、低温から高温まで幅広い環境下において高精度で小型化に適した振動ジャイロセンサを提供する。
【解決手段】容器の内部に振動体を配置し、平板状の蓋体で気密封止して構成する振動体パッケージにおいて、蓋体の厚さ分布を不均一にする。蓋体は中央部が凸形状、中央部が凹形状、容器と接している部分以外に一つ以上の突起物がある形状、容器と接している部分以外に一つ以上の溝がある形状などを取る。 （もっと読む）

【課題】フレームと可動部とを連結する連結部のバネ定数の変動を抑制するのに適したマイクロ可動素子、および、そのようなマイクロ可動素子を備える光スイッチング装置を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ可動素子Ｘ１は、フレーム３０、可動部２０、及びこれらを連結する連結部４２が形成されているマイクロ可動基板Ｓ１と、支持基材Ｓ２と、マイクロ可動基板Ｓ１のフレーム３０および支持基材Ｓ２の間に介在してフレーム３０および支持基材Ｓ２に接合する複数のスペーサ９０Ａ，９０Ｂと、フレーム３０および支持基材Ｓ２の間に介在してフレーム３０および支持基材Ｓ２に接合するスペーサ部９１Ｃ，９２ならびに当該スペーサ部を覆ってフレーム３０および支持基材Ｓ２に接合する接着剤部９３を有する少なくとも一つの強固定部９０Ｃとを備える。強固定部９０Ｃは、二つのスペーサ９０Ａ，９０Ｂの間に位置する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、第１の振動体および第２の振動体に設けられた検出電極の位置ズレが生じた場合、角速度が生じていないときには、角速度が発生しているような出力信号を誤って出力してしまうということのない出力精度の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、第２の振動体２３における第１の振動体２２の第１の駆動電極２５および第２の駆動電極２６を設けた位置と対応する箇所に、第１の電極ズレ量検出電極２８および第２の電極ズレ量検出電極２９を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】パッケージの薄型化に適したパッケージドマイクロ可動デバイス製造方法とパッケージドマイクロ可動デバイスを提供する。
【解決手段】本発明のパッケージドデバイスＰＤは、デバイス層部（デバイスＤ，外壁部７０）と、これに接合されたパッケージング部材８０，９０とを備える。本発明の製造方法では、第１パッケージングウエハに、分離溝によって囲まれた配線領域８１Ａを形成し、分離溝内に絶縁部８２を形成し、デバイスＤを形成するための複数の区画を含むデバイスウエハの第１面側に、第１パッケージングウエハにおける配線領域８１Ａが形成された側を接合し、第１パッケージングウエハにおいて、配線領域８１Ａを通って当該ウエハを貫通する貫通孔を形成し、貫通孔内に導電材料８５を充填し、第２パッケージングウエハをデバイスウエハの第２面側に接合し、配線領域８１Ａが露出するように第１パッケージングウエハを薄肉化する。 （もっと読む）

【課題】物理量センサのセンサ信号から、物理量を精度良く検出することができる物理量検出方法、検出装置、および電子機器を提供すること。
【解決手段】電子機器の検出部５６０は、位相比較器５６１と、位相変化検出部５６２と、周波数算出部５６３と、角速度検出部５６４とを備える。位相比較器５６１には、コリオリ力の大きさに対応する周波数の信号成分と、所定周波数の基準信号の信号成分を含むセンサ信号Ｓが、ジャイロセンサより入力される。位相比較器５６１は、ジャイロセンサからのセンサ信号と基準信号との位相差を検出し、位相変化検出部５６２は、２つの時刻に検出された位相差より位相変化量Δψを検出する。そして、周波数算出部５６３は、２つの時刻間の時間差および位相変化量Δψに基づき、コリオリ力の大きさに対応する信号成分の周波数を算出し、角速度検出部５６４は、この周波数より角速度ωを検出する。 （もっと読む）

【課題】振動子の電気もれ信号成分と機械もれ信号成分とを個別に補正することによって、温度変化等に影響されず高精度な角速度の検出が出来る振動型ジャイロセンサを提供する。
【解決手段】振動子１と、振動子１に駆動信号Ｐ５を印加すると共に振動子１から帰還信号Ｐ１を受け、振動子１を発振させる発振回路２０と、を有し、振動子１が、印加された角速度に応じた検出信号Ｐ１０ａ、Ｐ１０ｂを出力する振動型ジャイロセンサにおいて、検出信号Ｐ１０ａ、Ｐ１０ｂを補正する第１の補正信号Ｈ１ａ，Ｈ１ｂを、駆動信号Ｐ５に基づいて生成する第１の補正回路４０と、検出信号Ｐ１０ａ、Ｐ１０ｂを補正する第２の補正信号Ｈ２ａ、Ｈ２ｖｂを、帰還信号Ｐ１に基づいて生成する第２の補正回路５０と、を備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子の近傍に温度センサを設けることなく、振動子の近傍の温度を検出することが可能な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、駆動回路２９の後段に、駆動制御回路３５の出力信号を入力する整流器４８と、この整流器４８の出力信号を入力する平滑回路４９と、この平滑回路４９からの出力信号と基準電圧５０とを比較して差動を出力する差動増幅器５１とからなる温度検出手段４７を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】２つの振動部の参照振動のカップリング効率を向上し且つ駆動エネルギの支持基板への漏出を抑制するのに適した角速度センサを提供する。
【解決手段】本発明の角速度センサＸ１は、Ｘ軸方向とＹ軸方向に振動可能でＸ軸方向に離隔する振動部１０，２０、Ｘ軸方向に延び且つＹ軸方向に離隔して振動部１０，２０を間に配する定在波振動可能な２本のカップリングビーム４０、カップリングビーム４０を支持基板Ｓ１に固定する固定部５０、２本のカップリングビーム４０と振動部１０を架橋する連結部６０、及び２本のカップリングビーム４０と振動部２０を架橋する連結部７０を備え、固定部５０はカップリングビーム４０の定在波振動における不動点箇所にてカップリングビーム４０に接続し、連結部６０，７０はカップリングビーム４０の定在波振動における不動点箇所にてカップリングビーム４０に接続する幅太部６１ａ，７１ａを有する。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡素で高精度の実用性の高い振動ジャイロセンサ振動体の提供を目的として、その駆動部と検出部をそれぞれ別の振動体に設け、これを接合或いは一体加工して構成する新しい考案を行うこと。
【解決手段】 弾性材料より成る実質的な真直ぐな板状棒を主体とし、該棒は駆動部と検出部に分離されて機能する様に配置・構成する。すなわち、駆動部は主にその長手方向の縦振動で励振され、検出部は屈曲振動（面垂直横振動も含む）で動作する様にした複合振動体として構成する。ここに両部の振動体は主に圧電的に動作することを考慮しているが、原理的に静電的、磁気的に動作させても良い。 （もっと読む）

【課題】 容量素子を用いた閉ループ式の力検出装置において、単純な制御系を用いつつ、高精度な検出結果を得る。
【解決手段】 筐体内に可撓性接続部材を介して導電性の作用体３１０を変位自在に取り付ける。上方固定電極Ｅ１との間の静電容量値Ｃ１と、下方固定電極Ｅ２との間の静電容量値Ｃ２と、を測定する。制御ユニット５０は、電極Ｅ１に電圧Ｖ１を印加したり、電極Ｅ２に電圧Ｖ２を印加したりして、作用体３１０に上下方向へのクーロン力を作用させる。このとき、容量差ΔＣ＝Ｃ１−Ｃ２が０になるように、印加電圧差ΔＶ＝Ｖ２−Ｖ１を調整するフィードバック制御を行い、作用体３１０を基準位置ｄ０近傍に維持する。所定時点におけるΔＶとΔＣとを用いて、Ｄ（α）＝ΔＶ＋ｋ・ΔＣ（但し、ｋは比例係数）なる演算で得られた値Ｄ（α）を、上下方向に作用した力（加速度）の検出値として出力する。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板をエッチングすることで得られる空間に、互いに交叉する３つの周回光路を形成することができる周回光路装置を得る。
【解決手段】光源基板４０の励起光源７１によって励起された光を固体レーザ媒質５１に集光させて発光点４２から第１反射面基板２０にレーザ光を放射するとともに第１反射面基板２０に設けた第２の光源８０から基準平面１１と平面ＰＬ２とに平行な両方向にレーザ光を放射し、第１反射面基板２０の複数の反射面２１〜２８と光源基板４０の反射面４１を利用して反射させ、互いに直交した平面内に３つの周回光路ＬＣ１〜ＬＣ３を容易に形成する。 （もっと読む）

【課題】センサ信号と検波信号との位相関係を精密に調整する。
【解決手段】波形整形回路１０１は、物理量センサに供給される駆動信号Ｓｄｒｖを基準クロックＣＫｒｅｆに変換する。ＰＬＬ回路１０２は、基準クロックＣＫｒｅｆを逓倍してそれぞれ位相が異なるｎ個の発振クロックＣＫ０，ＣＫ１，・・・，ＣＫｎ−１を生成する。セレクタ１０３は、設定値ＳＥＴ１に基づいて発振クロックＣＫ０，ＣＫ１，・・・，ＣＫｎ−１のいずれか１つを選択クロックＣＫＳＥＬとして出力する。分周回路１０５は、選択クロックＣＫＳＥＬを分周してアナログ検波信号Ｓｄｅｔを生成する。入力アンプ１０６は、物理量センサからのセンサ信号Ｓ１０を電圧に変換してアナログセンサ信号Ｓｓｎｃとして出力する。同期検波回路１０７は、アナログ検波信号Ｓｄｅｔを用いてアナログセンサ信号Ｓｓｎｃから物理量信号を検波する。 （もっと読む）

【課題】物理量を検出する素子を内蔵した素子取付パッケージにおいて、特定の面を所定
の方向に向かせて回路基板に取り付けることができる素子取付パッケージを提供すること
を目的とする。
【解決手段】物理量を検出する基準面３０を有する素子８を内蔵し、素子８が設置される
回路基板５５上に素子８を取り付けるための素子取付パッケージ１であって、素子取付パ
ッケージ１の回路基板５５上への取付面２は、基準面３０が所定の方向に向くように回路
基板５５に対して角度を規定したものである。 （もっと読む）

【課題】ジャイロセンサの零点を動的に較正することができる角速度検出装置及びその方法を提供する。
【解決手段】移動体に設けられる角速度検出装置が、ジャイロセンサ１０２と、ジャイロセンサ以外のセンサからなる移動体運動計測センサ１０６と、ジャイロセンサ１０２の零点の自己相関性を一次モデルで表した式を状態方程式とし、ジャイロセンサ１０２の出力から求まる角速度と記移動体運動計測センサ１０６の出力から求まる角速度との差分を観測量として、該零点の最尤推定値を求め、該推定値に応じて零点較正した後のジャイロセンサ１０２の出力を角速度検出値として出力する補正手段１１０と、を備える。 （もっと読む）