【課題】小型化を図りつつ、電子部品の位置決めを簡単かつ正確に行うことができるセンサーデバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】センサーデバイス１は、角速度センサー７１１が実装された第１のリジッド基板２１と、角速度センサー７１２が実装された第３のリジッド基板２３とを有する実装基板２と、実装基板２を固定する台座３とを有している。また、台座３は、ｘ軸およびｙ軸に沿う第１固定面を有する基部３１と、基部３１上に設けられ、且つ、ｘ軸およびｙ軸に沿う第２固定面およびｙ軸およびｚ軸に沿う第３固定面の少なくとも一方を有した突出部４１〜４４と、を含み、リジッド基板２１、２２、２３の各々は、第１固定面、第２固定面または第３固定面に支持され、角速度センサー７１１、７１２は、検出軸が互いに交わっている。 （もっと読む）

【課題】信頼性を高め、小型薄型で、且つ優れた検出精度を発揮することのできるモジュールおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】モジュール１は、センサー素子４と、実装面を複数備え、且つ隣接する実装面の間が折り曲げ可能な実装基板２と、固定面３１〜３５を複数備えた支持部材３と、を有し、センサー素子４は、実装面の少なくとも１つに実装され、実装面の各々は、固定面３１〜３５の各々に沿って配置され、センサー素子４が支持部材３側に配置されている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、モジュールの位置決めを簡単かつ正確に行うことができる保持部材、モジュールおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】保持部材７は、モジュール１の保持の位置を決めるアライメント部７４１〜７４４を有し、アライメント部７４１〜７４４は、モジュール１を固定する載置面７４１ａ〜７４４ａを有している。保持部材７の中心に対し平面視で互いに直交する第１軸Ｊ１および第２軸Ｊ２により、保持部材７を第１〜第４の領域Ｓ１〜Ｓ４に区分けしたときに、アライメント部７４１〜７４４は、領域Ｓ１〜Ｓ４にそれぞれ１つずつ設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、音叉型振動子を発振回路を共用として自己診断を行うことにより簡略化及び小型化することを目的とする。
【解決手段】本発明による自己診断機能を有する角速度センサは、音叉型振動素子(1)に駆動電極(9)と検出電極(20)と自己診断用電極(6,7)を設け、各自己診断用電極(6,7)と駆動電極(9)を一対のスイッチ(SW1,SW2)を介して１個のみの発振回路(10)を共用として選択的にＯＮ／ＯＦＦすることにより、音叉型振動子(1)の各アーム部(2,3)を対称駆動又は非対称駆動とする構成である。 （もっと読む）

【課題】応力に起因したＭＥＭＳの固有振動数の変動を抑制することにより、ＭＥＭＳの検出感度の変動による測定精度の劣化を抑制することができる技術を提供する。
【解決手段】まず、半導体基板２の変形によって固定部３ａ〜３ｄは半導体基板２のｙ方向において外側方向に変位する。可動体５は、半導体基板２から浮いた状態で配置されているので、半導体基板２の変形の影響は受けずに変位しない。したがって、梁４ａには引張応力（＋σ１）が発生し、梁４ｂには圧縮応力（−σ２）が発生する。このとき、梁４ａと梁４ｂを組み合わせたバネ系を考えると、梁４ａに働く引張応力に起因するバネ定数の増加と、梁４ｂに働く圧縮応力に起因するバネ定数の減少が互いに相殺する。 （もっと読む）

【課題】ジャイロの零点オフセットを簡易にキャリブレーションすることを課題とする。
【解決手段】サーバ装置３０は、移動体端末１０が第１の地点から位置または角度の誤差が特定量となる第２の地点へ移動した場合に、モーションセンサ１１の出力を用いたデッドレコニングにより第２の地点で得られる位置または角度と特定量との差分を特定する。さらに、サーバ装置３０は、特定結果として得られた差分から、当該移動体が静止状態である場合にジャイロ１１ｂによって出力されるセンサ値である零点オフセットを算出する。 （もっと読む）

【課題】 異なる複数のセンサの各出力に対し、各センサの線形動特性の逆伝達関数を用いて補償すると共に、この逆伝達関数に対応したフィルタを施し、最終的に姿勢変換を行うようにして、姿勢推定を適切且つ高精度に行える姿勢推定装置を提供する。
【解決手段】 角速度センサ１０と傾斜計２０の各逆モデルを動特性補償部分と姿勢変換部分とに分け、センサ動特性については近似線形特性として伝達関数を同定し、その逆伝達関数を用いて特性を補償すると共に、逆伝達関数に対応してフィルタを設計し、且つ出力信号への姿勢変換演算の前にフィルタを施すようにすることから、逆伝達関数を用いた特性補償で、有効周波数領域の拡大を図りつつ、逆伝達関数とフィルタの伝達関数の積についてはプロパーな伝達関数とすることができ、確実な演算処理で姿勢推定が実行でき、複数のセンサを用いる相補フィルタの手法で精度のよい姿勢推定を行える。 （もっと読む）

【課題】電子デバイスの製造方法において、封止用のキャビティ内の真空度を高めることを目的とする。
【解決手段】シリコンを含む第１の基板１１の一方の主面１１ａ側に可動部１４ａを形成する工程と、シリコンを含む第２の基板２０の一方の主面２０ｃ側にキャビティ２０ｂを形成する工程と、第１の基板１１と第２の基板２０の少なくとも一方の主面に、酸素及び窒素のいずれかの原子を含むプラズマを照射する工程と、プラズマを照射した後、キャビティ２０ｂを可動部１４ａに対向させた状態で、第１の基板１１と第２の基板２０の各々の主面同士を真空中で接合することにより、キャビティ２０ｂ内を真空に保ちつつ、可動部１４ａを第２の基板２０で封止する工程と、封止の後、シリコンと上記原子とが反応する温度以上の温度に第１の基板１１と第２の基板２０をアニールする工程とを有する電子デバイスの製造方法による。 （もっと読む）

【課題】電位差によって生じる静電力の影響を抑え、Ｓ／Ｎ比の低下やセンサ感度の変動を防止できる複合センサを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る複合センサは、第１可動部および第２可動部と、これらの周辺に配置されている第１ダミー部および第２ダミー部を、積層基板の層内に形成して備えている。第１ダミー部と第２ダミー部は電気的に分離されており、第１可動部と第１ダミー部には第１電位が印加され、第２可動部と第２ダミー部には第２電位が印加される。 （もっと読む）

【課題】ジャイロ出力のゼロ点補正値を停車時のジャイロ出力信号によって得る時、ターンテーブルに乗って回転しているときのジャイロの出力をゼロ点補正値としないようにジャイロ出力の閾値を設定する際に、高性能のジャイロを必要とせず、また車両停止時に方位マークが回転し続ける問題を解決する「ジャイロ用ゼロ点補正方法及び装置」とする。
【解決手段】車両の停止判定時に、ジャイロの出力によってそのゼロ点補正値を算出するとき、ジャイロの標準出力値の上下に、車両がターンテーブルに乗って回転している時のジャイロの出力以内の範囲に閾値を設定する。車両の停止判定時のジャイロの出力が、閾値の範囲外にあることを検出したときから継続して閾値を超えている経過時間を算出し、経過時間が１分等の所定時間を超えたとき、車両はターンテーブルに乗っていなかったと判定して、車両の停車判定開始時のゼロ点補正値を採用する。 （もっと読む）

【課題】互いに噛み合う櫛歯状の第１電極および第２電極の大きさのばらつきを少なくでき、センサの検出精度を向上できるＭＥＭＳセンサおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】ベース基板７をエッチングすることにより、柱状部２９およびベース部３０を形成する。次に、当該柱状部２９およびベース部３０を熱酸化することにより、これらを絶縁膜に変質させる。これにより、柱状部２９からなる絶縁層８５およびベース部３０の表層部からなるベース絶縁層２１を形成する。次に、ベース絶縁層２１上にポリシリコン層２２を形成し、当該ポリシリコン層２２およびベース絶縁層２１の積層構造をエッチングして、Ｚ固定電極７１およびＺ可動電極７２の形状に成形する。同時に、それらの間にトレンチ５０を形成する。そして、当該トレンチ５０の底部を等方性エッチングすることにより、ベース絶縁層２１直下に凹部２０（空洞２３）を形成する。 （もっと読む）

【課題】上部電極の直下に下部電極を簡単に形成でき、上部電極と下部電極との短絡を防止し、センサの検出精度を向上できるＭＥＭＳセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ベース基板７上に駆動用電極２２を選択的に形成し、駆動用電極２２を被覆するように、ＳｉＯ_２からなる電極被覆膜２３を形成する。次に、電極被覆膜２３上に、犠牲ポリシリコン層５２および犠牲酸化膜５３を順に形成する。次に、犠牲酸化膜５３上に、ポリシリコン層２６を形成し、エッチングにより、固定電極２７、可動電極２８およびコンタクト電極２９の形状に成形する。同時に、それらの間にトレンチ５６を形成する。次に、トレンチ５６の底部をさらに掘り下げて、犠牲酸化膜５３から犠牲ポリシリコン層５２を露出させる。そして、犠牲ポリシリコン層５２を完全に除去することにより、固定電極２７の櫛歯部３２および可動電極２８の櫛歯部３９の直下に空洞３７を形成する。 （もっと読む）

【課題】従来の産業用ロボットの速度位置解析システムは、ドリフト安定度の高い慣性センサからの慣性信号に基づいて産業用ロボットの位置等を検出するように構成しているので、高価な慣性センサが必要となり、部品コストの増大の要因になっている。
【解決手段】本発明による産業用ロボットの速度位置解析システムでは、移動制御部２０は、産業用ロボット１を静止させているときにデータ蓄積部３０に対して静止情報２０ａを入力する。データ蓄積部３０は、静止情報２０ａを検出したときの慣性信号１１ａのデータに関連付けて静止情報２０ａを記憶する。速度位置後解析部３１は、静止情報２０ａが関連付けられている慣性信号１１ａのデータに基づいて求められる産業用ロボット１の速度をゼロとする補正値を求めて、求めた補正値を用いて慣性信号１１ａのデータを補正して産業用ロボット１の速度及び位置を求める。 （もっと読む）

【課題】小型化を実現でき、検出感度に優れる静電容量型ジャイロセンサを提供する。
【解決手段】内部に空洞１０を有する半導体基板２の表面部（上壁１１）に、第１ベース部６３と、第１ベース部６３と一体をなす櫛歯状の第１櫛歯部６４とを含むＺ固定電極６１を形成する。また、当該上壁１１に、第２ベース部６５と、第２ベース部６５と一体をなし、Ｚ固定電極６１の第１櫛歯部６４に対して間隔を空けて噛み合う第２櫛歯部６６とを含み、Ｚ固定電極６１に対して上下動可能なＺ可動電極６２を形成する。そして、ベース部６３の対向部８４には、第１駆動部１８を形成し、この第１駆動部１８に櫛歯状に噛み合うように、Ｚ可動電極６２の先端部７０に、櫛歯状の第２駆動部１９を形成する。 （もっと読む）

【課題】高精度の慣性計測装置を提供する。
【解決手段】慣性計測装置１は、被測定物に働く重力加速度を検出可能な加速度部５１と、被測定物の回転運動を検出可能な複数の角速度センサを有する角速度部５２、５３と、複数の処理機能が組み込まれた演算処理部５４とを備えている。角速度部５２にはＸＹＺ軸のそれぞれの角速度を検出可能な３つの角速度センサ、角速度部５３には３つの角速度センサの検出軸とは異なる軸の角速度を検出可能な１つ以上の角速度センサが含まれている。演算処理部５４では、これら４〜６つの角速度センサから、重力軸と最も平行な軸を検出軸とする角速度センサを除いて、重力軸と最も平行な軸の角速度が算出される。 （もっと読む）

【課題】補正タイミングを自己判定して角速度センサーのオフセット補正を行うことができるセンサー装置、電子機器及び角速度センサーのオフセット補正方法を提供すること。
【解決手段】初期状態検出部２１０は、加速度センサーの出力に基づいて加速度を算出し、算出した加速度と重力加速度が略一致する状態を初期状態として検出する。角速度算出部２２０は、初期状態における姿勢情報に基づいて初期状態における各検出軸方向の軸ベクトルを算出し、当該軸ベクトルと各検出軸方向の加速度成分と当該加速度成分の時間変化とに基づいて任意の軸回りに回転する角速度を算出する。角速度判定部２３０は、角速度算出部２２０が算出した角速度が略０である場合に、角速度センサーに加わる角速度が０であると判定する。オフセット補正部４０は、角速度センサーに加わる角速度が０であると判定された時に、角速度センサーの出力のオフセットを補正する。 （もっと読む）

【課題】エッチングパターンの形状または大きさによらずに、正確に制御された深さの凹部を形成することができる半導体基板のエッチング方法を提供すること。
【解決手段】半導体基板３をエッチングするに際し、まず、それぞれ独立に区画されたエッチング領域８７に対向する位置に同一パターンの開口８８を多数有するレジスト５９をマスクとして、異方性の深掘り反応性イオンエッチングする。これにより、半導体基板３の表面部に、深さがほぼ等しく揃った凹部８９が多数形成される。次いで、多数の凹部８９を区画する半導体基板３の側壁９０を、半導体基板３の表面に平行な横方向にエッチングして除去する。 （もっと読む）

【課題】高精度の物理量検出信号を得ることを可能とした物理量センサを提供する。
【解決手段】外部から印加された物理量を電気信号に変換する振動子２０と、振動子を発振させる発振回路３０と、振動子からの被検波信号を発振回路からの検波信号に基づいて検波する検波回路６０を有する物理量センサ１００において、検波回路の前段で発振回路からの検波信号及び振動子からの被検波信号の何れか一方の信号をΔΣ変調し且つ変調信号Ｖ２６を出力するΔΣ変調器７０と、出力電圧が可変な可変電圧源と、可変電圧源の出力電圧を制御する制御部を更に有し、ΔΣ変調器は出力電圧を基準として作成されたフィードバック信号Ｖ２２を用いてΔΣ変調を行うことを特徴とする物理量センサ。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡単な回路構成を用いながら電荷／電圧変換およびバッファアンプの飽和を防止することにより、０点変動を低減させることができ、これにより、角速度の測定精度の向上を図ることができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、検出部２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄを可撓部２２の内周部から外周部にわたって設けるとともに、前記検出部２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄの幅を質量部２３の中心からの距離に応じて大きくすることにより、検出部２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄのコリオリ力に起因しない電荷分をキャンセルまたは極めて小さくなるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】トリミングに起因した音叉アームの破損を抑制した慣性力センサを提供することを目的とする。
【解決手段】慣性力を検出する音叉型の振動子１０と処理回路とを備え、振動子１０は、２つの音叉アーム１２、１３と、これらを連結する基部１４とを有し、音叉アーム１２、１３の一方の面は電極１５を形成した電極面１６とし、他方の面はトリミング部１７を形成したトリミング面１８とし、トリミング部１７は音叉アーム１２、１３の角部１９を除いた部分に形成した構成である。 （もっと読む）