【課題】検出感度を大きくした慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部と角速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、第１アーム８を第２アーム１０に略直交方向に連結した２つの直交アームを有し、２つの第１アーム８の一端が支持部１２にて支持され、２つの第１アーム８の他端が第１固定部４に連結され、第２アーム１０の先端部に錘部が連結され、第１固定部４は固定アーム７にて第２固定部６と連結され、第１アーム８をＸ軸方向に配置するとともに第１固定部４にはＸ軸方向のみに弾性変形する第１弾性部９を設け、第２連結部である固定アームをＹ軸方向に配置するとともに第２固定部６にはＹ軸方向のみに弾性変形する第２弾性部１１を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】検出感度を大きくした慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部と角速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、第１アーム８を第２アーム１０に略直交方向に連結した２つの直交アームを有し、２つの第１アーム８の一端が支持部１２にて支持され、２つの第１アーム８の他端が第１固定部４に連結され、第２アーム１０の先端部に錘部が連結され、第１固定部４は固定アーム７にて第２固定部６と連結され、第１アーム８をＸ軸方向に配置するとともに第１固定部４にはＸ軸方向のみに弾性変形する第１弾性部９を設け、第２連結部である固定アームをＹ軸方向に配置するとともに第２固定部６にはＹ軸方向のみに弾性変形する第２弾性部１１を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】 圧電単結晶の中で水晶は温度特性に優れ、異方性エッチングが可能なため高精度かつ低コストな振動型ジャイロセンサを作るのに適している。特に音叉型振動子に代表される縦型振動ジャイロは構造が簡単で有望である。しかし圧電定数が非常に小さいため電気機械結合係数が小さく、特に小型化した場合、限られた電源環境では充分な出力を得ることが難しい。解決策として、振動脚の断面をＨ型にして電界の利用効率を向上し、電気機械結合定数を改善して駆動振幅を増大させることは以前から提案されていたが、Ｈ型断面ではジャイロが利用する屈曲振動の周波数が振動方向によって極端に変化してしまい、バランスの良い振動体が製作できなかった。
【解決手段】 振動脚の断面を王の字形とすることで、振動方向による共振周波数の変化を緩和し、バランスの良い縦型振動ジャイロを提供する。 （もっと読む）

【課題】横方向の加速度の影響を除去し易く、かつ固定部の固定が容易な、感度の高い横置き型の角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】ケース４のセンサ素子支持部４２の上面に固定される一対の固定部２０と、センサ素子支持部４２と平行な面に沿って延在する検出腕２１と、センサ素子支持部４２と平行な面に沿って延在すると共に検出腕２１の延在方向と交差して互いに反対方向に延在する一対の上駆動腕２２および下駆動腕２３とを備える。検出腕２１において、一端が一対の固定部２０の一方に連結され、他端が一対の固定部２０の他方に連結されている。上駆動腕２２および下駆動腕２３において、一端が検出腕２１に連結され、他端が自由端となっている。 （もっと読む）

【課題】実装デバイスに配置されたゲッターの能力を評価しうる手段を提供する。
【解決手段】
１つの密閉空間と、その密閉空間内に配置されたゲッターと、隔壁を備えた流路を介してその密閉空間と連結され、かつ、そのゲッターによって吸収可能なガスが封入されている他の１つ又は複数の密閉空間と、前述の其々の密閉空間内に形成された振動体とを備え、レーザーを用いて前記隔壁の少なくとも一部を除去して貫通させることにより、そのゲッターが配置された密閉空間内に前述のガスが流入可能となるようなゲッターの評価用装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】基体を小さくした場合であっても、素子の感度を高くすることの可能な角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】ケース４のセンサ素子支持部５１の上面に固定される固定部２０と、固定部２０の両側に連結されると共にセンサ素子支持部５１の上面と平行な面に沿って延在する上検出腕２１および下検出腕２２と、上検出腕２１を間にして固定部２０に連結されると共に上検出腕２１の延在方向に延在する一対の上振動腕２３とを備える。上検出腕２１には一対の圧電素子２１Ａ，２１Ｂがはみ出して設けられ、下検出腕２２には一対の圧電素子２２Ａ，２２Ｂがはみ出して設けられ、上振動腕２３には一対の圧電素子２３Ａ，２３Ｂがはみ出して設けられている。 （もっと読む）

【課題】センサ装置内部（密封空間）の真空度を測定することができるセンサ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】真空となるように密封された密封空間を備え、密封空間に、センサ部および密封空間の真空度を測定する真空計が設けられていることを特徴とする。ここで、密封空間が複数の基板を接合することにより形成され、接合に常温接合が用いられていることを特徴とする。特に、センサ部の少なくとも一部、およびその外側に配置された枠状のフレーム部を有するセンサ基板と、センサ基板の一表面側でセンサ基板のフレーム部全周に亘ってフレーム部に接合された支持基板と、センサ基板の他表面側でセンサ基板のフレーム部全周に亘ってフレーム部に接合された封止基板と、を備え、密封空間は、フレーム部と支持基板と封止基板とで形成される空間であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検出感度を大きくした慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部と角速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、第１アーム８を第２アーム１０に略直交方向に連結した２つの直交アームを有し、２つの第１アーム８の一端が支持部１２にて支持され、２つの第１アーム８の他端が枠体部４に連結され、第２アーム１０の先端部に錘部２が固定され、枠体部４は固定アーム１１にて固定部７と連結され、第１アーム８および固定アーム１１の厚みを第２アーム１０や錘部２の厚みよりも非常に薄く形成し、かつ、第１アーム８と固定アーム１１とは互いに直交方向に配置した構成である。 （もっと読む）

【課題】小型化することができ所望の共振周波数で駆動されることができ、かつ高いＱ値を得ることができる圧電振動子を有する角速度センサを提供する。
【解決手段】本発明に係る角速度センサは，圧電振動子と検出部を含み、圧電振動子は基体と基体に固定された固定端および基体に接しない自由端を有する振動部と振動部の屈曲振動を生成する駆動部を有し、振動部は第１支持部と第１支持部に支持された４本の片持梁状部と第１支持部を支持し固定端を備える第２支持部を有し、第１、第２片持梁状部は第１支持部の一方の中心線に関して対称を成し、第３、第４片持梁状部は第１支持部の一方の中心線に関して対称を成し、第１、第４片持梁状部は第１支持部の他方の中心線に関して対称を成し、第２、第３片持梁状部は第１支持部の他方の中心線に関して対称を成し，検出部は振動部の上方に形成され振動部に加わる回転の角速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】検出感度を大きくした慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部と角速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、第１アーム８を第２アーム１０に略直交方向に連結した２つの直交アームを有し、第１アーム８は、第１連結アーム１１を第２連結アーム１３に直交させたＴ字状の直交アームであって、この第１連結アーム１１の一端が、支持部１２にて支持されるとともに第２アーム１０を介して錘部２に連結されており、第１連結アーム１１の他端が直交する第２連結アーム１３に連結されており、第２連結アーム１３の両端部が枠体部４に連結され、第１アーム８および第２連結アーム１３の厚みを第２アーム１０や錘部２の厚みよりも非常に薄く形成し、かつ、第１アーム８と第２アーム１０とは互いに直交方向に配置した構成である。 （もっと読む）

【課題】小型かつ高感度な力学量検出センサを提供することができる。
【解決手段】 本発明に係る力学量検出センサは、半導体材料からなる第１の層、絶縁材料からなる第２の層、半導体材料からなる第３の層が順に積層されてなる半導体基板と前記半導体基板を挟持して前記半導体基板と接合される一対の支持基板とによって囲まれて形成される密閉室を備えた力学量検出センサにおいて、前記第１の層に開口を有する固定部と、その開口内に配置され、かつ前記固定部に対して変位する変位部と、前記固定部と前記変位部とを接続する接続部を有し、前記第３の層に前記変位部に接合される重量部と、前記重量部を囲んで配置され、前記固定部に接合される枠部を具備し、気体吸収物質が前記密閉室内の側壁上に配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い振動型ジャイロセンサ、制御回路、電子機器及び振動型ジャイロセンサの製造方法を提供すること。
【解決手段】振動型ジャイロセンサ２００は、振動ジャイロ素子３１と、この振動ジャイロ素子３１を駆動する制御回路２５０とを備える。ＧＣＡ２４は、加算回路２２の出力の電圧振幅を検波回路２５で検出し、加算回路２２の出力が一定の電圧振幅になるようにフィード・バックを掛けることで増幅度をコントロールしている。振動型ジャイロセンサ２００の製造段階または出荷前の段階で、ボルテージ・ホロワァ２８を介して、ＧＣＡ２４から出力される駆動信号が監視されればよい。これにより、信頼性の高い振動型ジャイロセンサを実現できる。ボルテージ・ホロワァ２８を介して監視されることにより、圧電膜３３の静電破壊や電荷抜けによる分極崩れが起こることを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】小面積で高抵抗値を有する帰還抵抗器を備えたＱ／Ｖ変換回路、それを用いた検出装置、ジャイロセンサ等を提供すること。高抵抗を使うことにより低ノイズのＱ−Ｖ変換回路が実現できる。
【解決手段】検出回路６０は、振動子１０からの出力信号を増幅する増幅回路７０を含む。増幅回路７０に設けられたＱ／Ｖ変換回路７２，７４は、帰還抵抗器ＲＡ１を有する。帰還抵抗器ＲＡ１は、Ｎ型ポリシリコン層２１０と、ノンドープポリシリコン層２００と、Ｎ型ポリシリコン層２２０とが互いに接して直列接続されて構成される。ノンドープポリシリコン層には、検出装置の製造工程中に不作為にて一般的にはＰ型の不純物が微量だけ含有される。それにより帰還抵抗器として非常に高い抵抗器が実現できる。 （もっと読む）

【課題】音叉振動の駆動効率を高めてＣＩを小さくした角速度センサを供する。
【解決手段】音叉基部から一対の音叉腕が延出した音叉状水晶片と、前記音叉腕の主面及び側面に設けられて音叉振動を励起する駆動電極と、前記音叉腕に設けられて前記駆動電極の基準電極を兼用するとともに角速度に起因して生じる電荷を検出するセンサ電極と、前記音叉状水晶片に設けられて前記音叉振動の振幅を検出するモニタ電極とを備える角速度センサにおいて、前記モニタ電極は前記音叉基部であって前記一対の音叉腕の股部近傍に設けた構成とする。 （もっと読む）

【課題】振動子等の電子部品を封止体（パッケージ）に封止してなる振動子封止体、およびこの振動子封止体を備える物理量センサにおいて、振動子の検出感度特性および起動特性を向上させる。
【解決手段】開口を有し内部の収容部に振動子が収納される容器と、開口の周縁で接合して前記開口を覆う蓋体とを有し、容器と蓋体とが対向する接合部で封止材により真空封止される振動子封止体の製造方法において、容器内に接着剤を用いて振動子を実装する工程と、振動子を実装した容器を真空雰囲気中において所定の温度で制御した状態で、加熱するアニール処理工程と、封止材を真空雰囲気中の封止チャンバ内で加熱溶融させて、容器と蓋体とを押し付けて真空封止する溶接工程とを順に備え、アニール処理工程において、所定の温度を振動子の振動特性に基づいて定める。 （もっと読む）

【課題】高結合圧電単結晶において製造が容易で量産性に優れた、高感度で高駆動効率を有する角速度センサおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、ベース部１０とベース部１０から延びる複数のアーム部１２とを有し、複数のアーム部１２のうち互いに駆動振動する２つのアーム部１２はそれぞれベース部１０に反対の先端部２２の幅ｔ１がベース部１０に接続する部分の幅ｔ２より広い音叉型振動子を有する角速度センサおよびその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】検出軸の取付角度の変化にかかわらず、検出精度の向上したジャイロセンサモジュールおよび角速度検出方法を提供すること。
【解決手段】センサ出力補正回路３２に含まれる第１のオフセット調整回路３６および第２のオフセット調整回路３７によって、第１角速度ω１および第２角速度ω２から、車両１０２が停止している時の第１のジャイロセンサ１０の出力値Ｂ１および第２のジャイロセンサ２０の出力値Ｂ２を減じることによって、車両１０２の移動時のより正確な第１角速度ω１”および第２角速度ω２”を得ることができる。また、第１検出軸１１と第２検出軸２１とのなす角は鋭角θ₁₂で、第１検出軸１１と第２検出軸２１とで鋭角θ₁₂で挟まれた間の角速度ωを検出できるので、検出軸と被検出軸６０とのなす角度が小さくなり、検出精度のよいジャイロセンサモジュール１００を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】小型薄型化及び低コスト化を図りつつ、検出感度の良好な角速度センサを提供する。
【解決手段】一枚の基板にスリットを形成して、コリオリ力を検出するための片持ち梁の振動子を固定する回路基板部と、外部接続用の端子を有する中継基板部と、回路基板部と中継基板部とを弾性支持するためのビーム（橋梁）部とを同一平面上に設けた角速度センサにおいて、金属製の基板材にエッチングによりスリットを形成してベース部とし、このベース部の面にガラス材からなる絶縁層を形成し、導体パターンを印刷したものを基板とした。これにより、振動子の激しい振動に十分対応できる基板が得られ、十分なＱ値（共振ピークにおける振幅増幅率）を確保でき、検出感度の良好な角速度センサを提供できる。 （もっと読む）

【課題】横方向の加速度の影響を受け難く、かつ固定部の固定が容易な、横置き型の角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】ケース４のセンサ素子支持部４１の表面に固定される固定部２０と、固定部２０の両側に連結された上連結腕２１および下連結腕２２と、上連結腕２１に連結された一対の上検出腕２３と、各上検出腕２３の表面に形成された圧電素子２３Ａ，２３Ｂと、下連結腕２２に連結された一対の下検出腕２４と、各下検出腕２４の表面に形成された圧電素子２４Ａ，２４Ｂと、各上検出腕２３に連結された上駆動腕２５と、各上駆動腕２５の表面に形成された圧電素子２５Ａ，２５Ｂと、各下検出腕２４に連結された下駆動腕２６と、各下駆動腕２６の表面に形成された圧電素子２６Ａ，２６Ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】応力の発生しにくい、電気的に絶縁された複数の導電性の領域を有するマイクロ構造体などの構造体を、比較的簡易な構成で提供することである。
【解決手段】マイクロ構造体などの構造体は、互いに電気的に絶縁された複数の導電性の領域106、107、108、109を有する。複数の導電性の領域106、107、108、109間は、連続した酸化領域104によって絶縁されている。酸化領域104は、複数の貫通孔105もしくは溝が形成された材料の酸化物から成っている。 （もっと読む）