【課題】 本発明は、振動特性が安定し高い信頼性を有し、検出感度が高く高精度の圧電ジャイロを提供することが目的である。さらに本発明は低い電圧で駆動でき消費電力の低い圧電ジャイロを提供することが目的である。
【解決手段】 基部と基部から突出して形成される複数の振動脚とを備えたシリコン（Ｓｉ）からなる音叉型構造体上に圧電薄膜が構成された圧電ジャイロであって、その振動脚にＶ字溝が形成されており、その溝の斜面に圧電薄膜が形成されている。本圧電ジャイロは、平面が（１００）面であるＳｉウェハーを用意し、ウェットエッチング法によって所定の形状でＶ字溝を形成し、そのＶ字溝の斜面に圧電薄膜を形成した後、音叉型構造体の外形形状でマスク層を形成し、そのマスク層をマスクとして使用してドライエッチング法で加工することで製造することができる。 （もっと読む）

【課題】 シリコンウェハに容易に作製できて、また検出感度が高い（Ｓ／Ｎ比が良い）容量型ＭＥＭＳセンサ用の信号検出回路を提供する。
【解決手段】 ＭＥＭＳセンサ１０に設けられた検出用のキャパシタ１に、ＤＭＯＳＦＥＴからなる第１トランジスタ３のゲートが接続されている。第１トランジスタ３のソースは接地され、そのゲートには、一端が接地された抵抗４が接続されている。第１トランジスタ３のドレインとＤＭＯＳＦＥＴからなる第２トランジスタ５のソースと第２トランジスタ５のゲートとが接続され、その結線がバッファアンプ６の入力端子に接続されている。バッファアンプ６の出力端子と第１トランジスタ３のゲートとの間には、帰還キャパシタ８が設けられている。第１，第２トランジスタ３，５は、ＤＭＯＳＦＥＴであるため、ゲート電位が零である場合でも電流が流れる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、微小な容量値の差を精度よく検出することができる検出回路を提供することを目的とする。
【解決手段】センサの第１の容量と第２の容量との容量値の差を検出する検出回路は、発振信号を生成する発振器と、発振器に結合され、第１の容量で遅延された発振信号と第２の容量で遅延された発振信号との位相差に応じた信号を出力する位相比較器と、位相比較器に結合され、位相差に応じた信号を発振信号の所定数サイクルの期間分積分した信号を出力する積分回路と、積分回路に結合され、積分した信号を上記期間の終了タイミングでサンプルしホールドした信号を出力するサンプルホールド回路を含む。 （もっと読む）

【課題】 圧電デバイスに衝撃などが加わった際の圧電振動片を保持するリード板の変形を防止し、リード板の変形による検出感度の低下を防止することにより所望の検出を行うことができる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電デバイスであるジャイロセンサ１００は、パッケージ２０内にジャイロ振動片１０、複数のリード板１５、および支持基板１８を収納し、蓋体２１をパッケージ２０の固着面に固着している。リード板１５には、支持基板１８の一部が当該支持基板１８の窓開き部２５にそれぞれのリード板１５に対応して張り出したリード板補強部１６が接合されている。 （もっと読む）

【課題】小さなダイヤフラムサイズであっても高感度の半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体圧力センサ１は、ダイヤフラム３が形成されたＳＯＩ基板２と、ＳＯＩ基板２上に設けられた４つのピエゾ抵抗素子Ｒ１〜Ｒ４とを有する。各ピエゾ抵抗素子Ｒ１〜Ｒ４のうち互いに対向する２つのピエゾ抵抗素子Ｒ１〜Ｒ４は、その全長をＬ、ダイヤフラム３の内側からエッジまで長さをＬeffとしたとき、０．５＜Ｌeff／Ｌ＜１なる関係を満たすように、ダイヤフラム３の内側と外側とに跨って配置されている。 （もっと読む）

【目的】角速度（コリオリの力）の検出感度を向上して、さらには製造容易とした角速度センサ素子を提供する。
【構成】音叉振動を励起する駆動電極を音叉状水晶片の一方の音叉腕に有し、内側面と外側面との間の両主面側で互いに逆向きの電界とする異符号の電荷を検出するそれぞれ内側電極と外側電極とからなる二組のセンサ電極を音叉状水晶片の他方の音叉腕に有する角速度センサ素子において、前記二組のセンサ電極のうちの各内側電極は両主面に設けられて独立し、かつ同符号となる各外側電極と電気的に接続した構成とする。 （もっと読む）

【課題】 個々のジャイロセンサの検出感度を簡易に調整でき、また温度補正できる方法を提供する。
【解決手段】 ジャイロセンサを構成する圧電振動ジャイロ素子の駆動側共振周波数と検出側共振周波数とを測定してその離調周波数を求め、予め求められた圧電振動ジャイロ素子の離調周波数と検出感度との反比例の関係に基づいて、所望の検出感度に対する圧電振動ジャイロ素子の出力信号の増幅率を決定する。少なくとも３つの異なる温度においてそれぞれ離調周波数を求めかつ検出感度を算出し、それから得られる検出感度の温度特性を２次曲線で近似し、この２次曲線に基づいて出力信号の増幅率を補正する。使用時には、温度センサにより周囲温度を測定し、その変化に対応して出力信号を増幅させる。 （もっと読む）

コリオリの角速度計（１’）において、読み取り振動の周波数を、励起振動の周波数に、電子的に同調させる本発明の方法では、励起振動には基本的に影響を及ぼさず、読み取り振動を表す読み取り信号が相当する外乱成分を含むように読み取り振動を変更する外乱力をコリオリの角速度計（１’）の共振器（２）に入力する。読み取り振動の周波数は、読み取り信号に含まれる外乱成分の大きさが最小であるように制御されている。
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【課題】 限られた接続面積内で振動子の機械的支持且つ電気的接続をより確実なものとする。
【解決手段】 柱状の振動子２の振動時に発生する節点部に接合され、上記振動子２の長手方向に開放された少なくとも二股状の形状に形成された接続部１２Ｂと、該接続部１２Ｂを中心にして上記振動子２の振動方向と略直交する両方向に伸びた腕部１１Ｂ_１，１１Ｂ_２とを有する支持部材１０Ｂにより、上記振動子２の機械的支持及び電気的接続を行う。 （もっと読む）

【課題】 電源電圧の変動に対する検出信号の感度電源依存精度を向上させた振動ジャイロを提供する。
【解決手段】 振動子１に加える駆動信号の振幅、および検出手段１６１〜１６４で得られる検出信号の振幅をいずれも電源電圧の変動に対して依存させずに一定に維持するとともに、電源電圧に比例した電源依存性補正電圧を発生させる電源電圧依存回路６６と、この回路６６で発生された電源依存性補正電圧を、信号処理回路３１〜６４内から出力される検出信号に乗算する乗算回路６５とを備える。 （もっと読む）

本発明の１つの実施の形態は、シールされたマイクロデバイスパッケージの内部における真空レベルを一定に維持するためのゲッタを含んだマイクロデバイスパッケージに関する。複数のマイクロデバイスパッケージを含んだ積層ウエファアセンブリが、下側カバーウエファと中心のウエファとの位置を合わせた形で形成される。下側カバーウエファは、１つ以上のゲッタを収容するために１つ以上のボンドパッドを有する。中心のウエファは１つ以上の経路を、前記１つ以上のボンドパッドにほぼ位置を合わせられ、これに対応する形で有している。１つ以上のゲッタが、その１つ以上の経路に挿入される。積層ウエファアセンブリは、上側カバーウエファを下側カバーウエファに対向する形で位置合わせし、その間に中心のウエファを挟むことで完成する。ウエファの位置合わせをするステップと、ゲッタを活性化するステップと、そしてマイクロデバイスパッケージをシールするステップとを所定の順序で行うことにより、マイクロデバイスパッケージの内部における真空レベルは一定に維持される。
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感知ループダブラを備えた干渉方式光ファイバジャイロ（ＩＦＯＧ）などの光ファイバリング干渉計。このＩＦＯＧデバイスは、光源と、この光源およびフォトダイオードと光学的に通信するサーキュレータと、このサーキュレータから放出された光を、それぞれ変調し得る２つの経路に分割し得る集積光学系チップ（ＩＯＣ）を備える。このＩＯＣはさらに、サーキュレータに向かう方向に光が伝播するときに、これら２つの経路のそれぞれからの光を合成することができる。このＩＦＯＧデバイスはさらに、ファイバコイル、およびＩＯＣとファイバコイルの間に配設された偏波保存（ＰＭ）コンバイナ／スプリッタを備える。このＰＭコンバイナ／スプリッタは、１度目は第１偏光状態でファイバコイルを通して光を送出し、その後同じ光を、２度目は第２の直交する偏光状態でファイバコイルを通して送出するように動作する。そのため、光は、単一ループＩＦＯＧデバイスと比べて２倍の距離を伝播し、したがって、実質的にＬＤ積が２倍になる。

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光ファイバセンシングコイルは、無被覆光ファイバをほぼ円状のループに巻くことにより形成される。無被覆光ファイバは、コアおよびクラッドを含む。無被覆光ファイバが巻かれた後、無被覆光ファイバのターンは融着され、それによって光ファイバの個々のターンのクラッドは相互接触箇所で互いに融着される。
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【課題】 重力データベースを用いて、非連続的な原子干渉計慣性計測器測定値及び連続的な広帯域幅計測器測定値を処理するシステムを提供する。
【解決手段】 一実施形態は、傾度を有する重力擾乱ベクトルデータベースと、リアルタイム重力グラジオメータ傾度測定値とデータベースからの傾度とを比較して、観測値を与えるコンパレータと、入力において観測値を受信し、モデル化された誤差状態ベクトルを出力するカルマンフィルタとを備え、重力データベースからの重力擾乱ベクトルを用いて、広帯域幅の従来型慣性加速度計の具体的な力測定値から、実際の重力擾乱ベクトルの既知の部分が除去され、それにより航法データが形成される。その方法の一実施形態は、記憶された傾度を有する重力擾乱ベクトルデータベースを設けるステップと、重力傾度のリアルタイム測定値を与えるステップと、記憶された傾度及び重力傾度を処理して、航法用データを形成するステップとを有することができる。 （もっと読む）

【課題】駆動用電極の電極の長さを長く形成したとき、励振振動脚部に２次モードの励振を発生させてしまう可能性が生じる。又、検出用電極の場合では、電極の長さを長くして電極の大きさを大きく形成したとき、検出電荷量が低下してしまい、検出電荷を有効に取り出すことが難しくなる。
【解決方法】励振振動脚部と検出振動脚部とが平行に設けられ、且つこの励振振動脚部及び検出振動脚部の同一方向の端部に、励振振動脚部及び検出振動脚部を保持する基部が設けられた形状の角速度センサ素子において、励振振動脚部の長さ方向の長さをａとした場合、駆動用電極の長さｂ１を、０．３５ａ以上０．６８ａ以下の範囲とし、検出用電極の長さｂ２を、０．５ａ以上０．８５以下の範囲とし、且つ、ｂ１とｂ２との関係が、ｂ１＜ｂ２であることを特徴とする角速度センサ素子。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、不要な振動成分を無くす為に圧電振動式慣性センサー素子の少なくとも２つの脚部にそれぞれ少なくとも１個所の角部に質量変化を加え脚部の質量バランスを相互に調整した圧電振動式慣性センサー素子を提供し、同時に圧電振動式慣性センサー素子のそれぞれの脚部の少なくとも１箇所の角部をレーザー光で除去する圧電振動式慣性センサー素子の製造方法を提供し、また電子部品の微小部分に複数のレーザー光を異なる角度から同時に照射して微小部分を除去するレーザー加工装置を提供すること。
【解決手段】目的を達成する為に、音叉型振動子を用いた圧電振動式慣性センサー素子のそれぞれの脚部の角部を除去することを特徴とし、振動子のそれぞれの脚部の角部をレーザー光で除去することを特徴とし、複数のレーザー光を異なる角度から照射し微小部分を除去することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 駆動質量体と感知質量体とを両方デカップルド構造とする。
【解決手段】 Ｘ軸を中心に揺動自在な駆動質量体10、Ｚ軸を中心に揺動可能な感知質量体30、及びＸ軸を中心に駆動質量体10と共に揺動しＺ軸を中心に感知質量体30と共に揺動する媒介質量体20を備える。駆動質量体10はＸ軸を中心に捻れ変形する第１捻れバネ51により基板に、媒介質量体20はＺ軸を中心に曲げ変形する第１曲げバネ61により駆動質量体10に、感知質量体30はＸ軸を中心に捻れ変形する第２捻れバネ52により媒介質量体20に、かつＺ軸を中心に曲げ変形する第２曲げバネ62により基板に、各々連結する。駆動質量体10が駆動電極110によってＸ軸を中心に振動中に外部から角速度が印加されれば、コリオリの力によって感知質量体30がＺ軸を中心に回転し感知電極130はこれを感知する。 （もっと読む）

【課題】 角速度検出ジャイロスコープの精度と効率を改善するための構造と配列を開示する。
【解決手段】 電圧ピックオフ用導体が、ジャイロスコープが回転的に静止している場合に実質的にゼロの応力を受ける角速度検出ジャイロスコープの共振エレメントの表面に取付けられている。同じように、ジャイロスコープが回転的に静止している場合に実質的に均一なレベルの応力を受ける共振エレメントの領域によって規定される箇所に、アクチュエータ用導体が共振エレメントに取付けられている。圧電共振エレメントの電圧応答を改善する方法も開示されている。 （もっと読む）