【課題】感度特性と応答特性とに優れた振動ジャイロセンサを提供する。
【解決手段】振動ジャイロセンサ１０は、駆動振動アーム１４Ａ，１４Ｂと、駆動振動アーム１４Ａ，１４Ｂを振動させるための駆動圧電素子２０Ａ，２０Ｂと、駆動振動アーム１４Ａ，１４Ｂを振動させながら振動ジャイロセンサ１０を回転させたときに生じる角速度に応じて励振する検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂと、検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂの振動を検出するための検出圧電素子３０Ａ，３０Ｂと、検出圧電素子３０Ａ，３０Ｂの少なくとも一部を被覆する樹脂層を備える。検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂの検出振動は樹脂層によって効率よく減衰されるので、感度特性を維持しつつ、応答特性を一層向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】
コリオリ力による振動子の変位がゼロになるようにサーボ系を構成しているが、振動子に共振特性があるためにサーボ系のゲインを大きくすることに限界があり、サーボ系の応答性に限界があった。
【解決手段】
振動子を所定の振動周波数で振動させ、この振動子にコリオリ力が働く様に検出部を構成し、このコリオリ力を打ち消す様に前記振動子に外力を繰り返し制御系により与える。これにより高感度且つＳＮ比の高い角速度センサが実現される。 （もっと読む）

【課題】物体の物理量の検出精度が高い物理量測定装置を提供する。
【解決手段】圧電薄板５１は、薄板状の圧電板５０の一方の主面に検出電極５５が設けられ、この検出電極５５から引き出されて圧電板５０の一つの側面に沿って形成された電極間配線５５ｃにより、圧電板５０の他方の主面に設けられた接続用検出電極５５ａに接続されている。また、圧電板５０の他方の主面には、接続用検出電極５５ａと絶縁されるように隙間を介して形成された接地電極５９が設けられている。圧電薄板５１は、振動ジャイロ１の圧電基板１０の振動腕１１の基部１３との付け根近傍に接合部材１００により接合されている。このとき、圧電基板１０の検出側接続端子２５ａと圧電薄板５１の接続用検出電極５５ａとが位置合わせされ、圧電基板１０の接地側接続端子としての用途を兼ねる励振電極１５ａと圧電薄板５１の接地電極５９とが位置合わせされている。 （もっと読む）

【課題】物体の物理量の検出精度が高い物理量測定装置を提供する。
【解決手段】振動ジャイロ１は、圧電基板１０を加工することにより形成された基部１３と、基部１３の一端側から延出する二つの振動腕１１，１２と、を有している（振動腕１２は図示を省略）。圧電基板１０の一方の面において、振動腕１１，１２それぞれの基部１３との付け根部近傍には圧電薄板５１，５２がそれぞれ接着・固定されている（圧電薄板５２は図示を省略）。振動腕１１の基部１３との付け根部近傍には、外形に欠切部５９を有する薄板状の圧電板５０上に検出電極５５が設けられた圧電薄板５１が、接着剤１００により接着・固定されている。本実施形態では、圧電薄板５１の対向する長辺側のそれぞれの略中央に欠切部５９が設けられることにより形成された幅狭部５１ｂと、この幅狭部５１ｂを挟んだ両側に設けられる幅広部５１ａ，５１ａ’とにより略Ｈ字状の外形を有している。 （もっと読む）

【課題】物体の物理量の検出精度が高い物理量測定装置を提供する。
【解決手段】振動ジャイロ１は、圧電基板１０を加工することにより形成された基部１３と、基部１３の一端側から延出する二つの振動腕１１，１２と、を有している。圧電基板１０の一方の面において、振動腕１１，１２それぞれの基部１３との付け根部分近傍には圧電薄板５１，５２がそれぞれ接着・固定されている。また、圧電基板１０の圧電薄板５１，５２が設けられた面と対向する面の、圧電薄板５１，５２と平面視で重なる領域に、圧電基板１０を所定の幅にて所定の深さで除去することにより形成された括れ部２１，２２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】容易に振動子を振動させつつ、検出電極と駆動電極との間の寄生容量を抑制することができる角速度検出装置を提供する。
【解決手段】角速度検出装置１は、半導体基板５と、半導体基板５から浮いた状態で支持される梁部１１と、梁部１１の両端部に設けられて梁部１１を支持するために半導体基板５に形成された一対の支持部１２、１３とを有する振動子７とを備えている。振動子７は、梁部１１に形成された圧電体膜２２と、梁部１１の一端部から中央部に延び、圧電体膜２２上に形成された、角速度を検出するための検出電極２４、２５と、梁部１１の他端部から中央部に延び、検出電極２４、２５との間に間隔を有するように圧電体膜２２上に形成された、振動子７を振動させるための駆動電極２３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ジャイロセンサなどに適用可能な性能を持つ、シリコン基板上にＫＮＮ薄膜を形成した圧電薄膜素子を提供する。
【解決手段】シリコン基板１上に下部電極２と、圧電薄膜３と、上部電極４とを有する圧電薄膜素子１０において、圧電薄膜３が一般式（Ｋ_１−ｘＮａ_ｘ）ＮｂＯ_３（０＜ｘ＜１）で表されるアルカリニオブ酸化物系ペロブスカイト構造の薄膜で形成されると共に、圧電薄膜３の圧電定数ｄ_３１の印加電界依存性を示す｜圧電定数ｄ_３１（印加電界７０ｋＶ／ｃｍ時）−圧電定数ｄ_３１（印加電界７ｋＶ／ｃｍ時）｜／｜圧電定数ｄ_３１（印加電界７０ｋＶ／ｃｍ時）｜の値が０.２０以下である。 （もっと読む）

【課題】櫛歯電極間のギャップ長に制限されることなく検出電極の振動振幅を大きくすると共に検出方向からの外力による影響を無効にする。
【解決手段】振動量増幅機構７ａ〜７ｄは、長手方向中心位置よりも可動部材４ｂ側の位置において梁１１ａ〜１１ｄ及び梁１２ａ〜１２ｄを介して角速度センサ１の上下面を挟持するガラス基板に接合されている。このような構成によれば、可動部材４ｂに振幅Ａｓｉｎ（ωｔ＋α）の振動が与えられた場合、可動側検出電極２側の長手方向端部の振動振幅Ｂは可動部材４ｂ側の長手方向端部と梁１１ｃ，１２ｃ間のＸ軸方向距離Ｌ１と可動側検出電極２側の長手方向端部と梁１１ｃ，１２ｃ間のｘ軸方向距離Ｌ２（＞Ｌ１）の比（Ｌ２／Ｌ１）だけ増幅される。これにより、可動側検出電極２は−（Ｌ２／Ｌ１）×Ａｓｉｎ（ωｔ＋α）の振幅で振動するようになる。 （もっと読む）

【課題】角速度の検出感度を向上させると共に検出方向からの外力による影響を低減する。
【解決手段】振動量増幅機構７ａ〜７ｄは、長手方向中心位置よりも可動側駆動電極２側の位置において梁１１ａ〜１１ｄ及び梁１２ａ〜１２ｄを介して角速度センサ１の上下面を挟持するガラス基板に接合されている。このような構成によれば、可動側駆動電極２がコリオリ力により振幅Ａｓｉｎ（ωｔ＋α）で変位した場合、可動部材４ｂ側の長手方向端部の変位は図２に示すように可動部材４ｂ側の長手方向端部と梁１１ｃ，１２ｃ間のＸ軸方向距離Ｌ１と可動側駆動電極２側の長手方向端部と梁１１ｃ，１２ｃ間のｘ軸方向距離Ｌ２（＜Ｌ１）の比（Ｌ１／Ｌ２）だけ増幅される。これにより、可動部材４ｂは−（Ｌ１／Ｌ２）×Ａｓｉｎ（ωｔ＋α）の振幅で変位するようになる。 （もっと読む）

【課題】陽極接合の確実性を向上した力学量センサを提供できる。
【解決手段】力学量センサが，固定部，変位部，接続部，これらに接続されず，かつ互いに離隔される複数の第１のブロック部材と，を有する，第１の半導体材料の第１の構造体と，台座，重量部，複数の第２のブロック部材とを有する，導電性を有する第２の半導体材料の第２の構造体と，絶縁材料から構成され第１，第２の構造体を接合する接合部と，第２の構造体に積層配置される第１の基体と，第１の構造体に積層配置される第２の基体と，第３の構造体を貫通して，複数の第１，第２のブロック部材をそれぞれ電気的に接続する複数の第１の導通部と，第２の基体を貫通して，複数の第２のブロック部材それぞれと電気的に接続される複数の第２の導通部と，を具備する。 （もっと読む）

【課題】角速度センサの封止圧力と加速度センサの封止圧力とを同一にする場合であっても、角速度センサの検出感度の向上と加速度センサの検出感度の向上を図ることができる技術を提供する。
【解決手段】角速度センサと加速度センサ３とを同一の封止圧力で封止する。このときの封止圧力は、角速度センサの検出感度を向上させる観点から、大気圧よりも低い減圧状態とする。そして、減圧下においても、加速度センサ３の検出感度を向上するために、加速度センサ３の可動体１４の移動を抑制する移動抑制部（ダンパー）２３を設ける。この移動抑制部２３は、可動体１４と一体的に形成された複数の突起部２３ａと、周辺部１２と一体的に形成された複数の突起部２３ｂを有し、突起部２３ａと突起部２３ｂは、交互に等間隔で離間して配置される。 （もっと読む）

【課題】 駆動・検出に棒の屈曲２次振動姿態を用い、高精度かつ支持が容易、構造簡素で実用性が高いジャイロセンサ振動体を提供すること。
【解決手段】 弾性材料より成る実質的に真直な棒を主体とし、該棒はその長軸を含む第１の平面内において両端自由の２次の屈曲振動を圧電的に励振する駆動電極と、前記棒が前記長軸に平行な回転軸の回りに回転するとき前記平面と直交する平面である第２の平面に沿って発生するコリオリ力によって生起される振動を圧電的に検出する検出電極を備えているジャイロセンサ振動体。また、駆動電極と検出電極とは、棒の重心の反対側に配置されていること。また少なくとも棒の重心が弾性的に支持されていること。また棒は重心の両側で圧電性の方向が９０°異なっていること。また棒の両端寄りの部分に緩衝器を備えていること。 （もっと読む）

【課題】本発明は、生産効率に優れ、生産性の高いジャイロセンサ素子の製造方法を提供すること、さらには、小型化に適したジャイロセンサ素子の製造方法を提供することにある。さらに、感度の高く、信頼性に優れたジャイロセンサ素子の製造方法を提供することにある。
【解決手段】駆動振動脚及び検出振動脚を有する水晶片上に電極が形成されるジャイロセンサ素子の製造方法であり、水晶ウェハー上にマスク層を形成する工程と、マスク層を形成した水晶ウェハーをエッチングして水晶片が備わる水晶片基板を形成する工程と、水晶片基板に振動測定用電極を形成する工程と、水晶片基板に備わる水晶片の駆動及び検出振動周波数を測定する工程と、水晶片基板から振動測定用電極を除去する工程と、水晶片基板をウェットエッチングする工程と、ウェットエッチング後に水晶片基板に電極を形成する工程と、水晶片基板から電極が形成された水晶片を分離する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】摂動錘の中心と定在波の腹の位置とを一致させることができる角速度センサを提供する。
【解決手段】励振用ＩＤＴ７、８および摂動錘６の間と励振用ＩＤＴ９、１０および摂動錘６の間に調整用電極１７、１８を配置する。そして、調整用電極１７、１８に対して調整電圧を印加することにより、定在波の腹の位置を調整する。これにより、定在波の腹の位置を摂動錘６の中心位置とを一致させることが可能となる。したがって、角速度センサ１の感度低下を防止することが可能となる。 （もっと読む）

本発明は、基板とセンサモジュールとダンパエレメントと保持フレームとを備えたセンサ装置に関する。ここで、基板は主延在平面とその平面に対し垂直方向に設けられた開口部とを備えており、保持フレームは開口部内に取り付けられており、ダンパエレメントは保持フレームと開口部の間に配置されている。また、センサモジュールは形状結合および力結合により保持フレーム内にプレスされている。
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【課題】ＮＥＭＳに適合可能な装置、マイクロコンポーネントまたはナノコンポーネントを提案することである。
【解決手段】測定される作動力の影響が与えられる試験体と、少なくとも１つの吊るされたピエゾ抵抗のひずみゲージを有し、前記作動力の動作の下で試験体によって影響を与えられるひずみを検出する手段と、少なくとも２つのリジッドアームの端部の第１のレベルにおいて少なくとも１つの連結素子によって互いに機械的に連結された少なくとも２つのリジッドアームを有するひずみ増幅セルであって、前記２つのリジッドアームのうちの第１のリジッドアームの第２の端部が、試験体に機械的に連結され、前記２つのリジッドアームのうちの第２のリジッドアームの第２の端部が、基板に固定され、前記連結素子が、前記吊るされたピエゾ抵抗のひずみゲージの第１の端部に機械的に連結されるひずみ増幅セルと、を有する、ピエゾ抵抗検出器を備えた装置。 （もっと読む）

【課題】 小型を極力維持しながら、構造および電極配置の自由度を獲得し、少なくとも駆動・検出の能率と検出精度の向上を可能としたジャイロセンサ振動体を提供すること。
【解決手段】 圧電性材料の板材より成り、駆動電極とコリオリ力検出電極の少なくとも一方を備えた複数の音叉型振動体を、各脚の振動を妨げないように、各音叉の基部の主面にて積層接着し、一体化したこと。また各音叉型振動体またはその接着部は以下の特徴を任意に持つ。即ち、単体で電極膜の形成が行われたこと。機能を異にしていること。圧電性の方向が異なること。２脚または３脚音叉であること。駆動と検出を分担していること。検出軸が異なるか他の運動を検出すること。脚の間隔が異なること。固形物をスペーサとして混入した接着剤を用いること。シールド板を挟んで接着したこと。脚の向きが同じか異なること。３枚以上を積層したこと。各音叉の検出電圧が加算されること。 （もっと読む）

【課題】 電単結晶振動子の小型化を実現しつつ、低コストで高感度な音叉型圧電単結晶振動子を用いた圧電振動ジャイロを提供すること。
【解決手段】 音叉型圧電単結晶振動子２は、振動部である第１の振動アーム３１ａと第２の振動アーム３１ｂとこれら振動アームを支える基台３２から構成される。検出電極３３ａは第１の振動アーム３１ａの外側に設けられた検出電極と第２の振動アーム３１ｂの中央に設けられた検出電極が音叉型圧電単結晶振動子２上で電気的に接続される。また、同様に検出電極３３ｂは第２の振動アーム３１ｂの外側に設けられた検出電極と第１の振動アーム３１ａの中央に設けられた検出電極が音叉型圧電単結晶振動子２上で電気的に接続される。この検出電極３３ａ、３３ｂで検出した出力信号に基づいて角速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】静電容量型の力学量検出センサについてセンサ躯体の内部配線における配線接続不良をなくし、製品不良を抑制した力学量検出センサおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明に係る力学量検出センサは、静電容量型の力学量検出センサであって、半導体基板はフレーム内に配置され、上方支持基板と下方支持基板を連結する支柱を備え、該支柱の上端あるいは下端の少なくとも一方に、上方支持基板あるいは下方支持基板と支柱とを連結し、導電性材料からなる連結部を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高感度なモーションセンサーとして三軸検知可能であり、また磁界センサーとして使用可能で、簡便な構成で、小型で、かつ低消費電力の複合センサーを提供すること。
【解決手段】傾斜面を有する基板の前記傾斜面に設けられた磁気検知素子と、前記基板上に梁により支持され３軸方向の自由度を有する錘を有する磁界発生部とを備えた複合センサーであって、
前記磁気検知素子により第１の物理量の外部磁界を検知可能であると共に、
前記錘を有する磁界発生部の位置変動による前記磁気検知素子の出力の差に基づいて第２の物理量を検知することを特徴とする。 （もっと読む）