ヨーレートセンサは基板表面を備えた基板と、駆動フレーム及び第１の検知質量体を備えた基板表面上に配置されている第１の可動の素子と、第１の検出質量体の下側に離間して配置されていて、基板表面に接合されている第１の電極と、第１の検出質量体の上側に離間して配置されていて、基板表面に接合されている第２の電極とを有している。本発明において、駆動フレームは少なくとも１つの駆動ばねを介して基板に接合され、検出質量体は少なくとも１つの検出ばねを介して駆動フレームに接合され、第１の可動の素子は基板表面に対して平行な駆動振動するように励振可能であり、第１の検出質量体は基板表面に対して垂直に変位可能である。
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【課題】 振動ジャイロ式の角速度センサにおいて、コリオリ力の検出感度を高める。
【解決手段】 外寸ξ１のシリコン基板の下面に、外径φ１，内径Ｄ１の円環状の溝Ｇを堀り、この溝Ｇで取り囲まれた内側部分に、直径Ｄ１、高さＨの円柱状の振動子１２０を形成する。溝Ｇの上方のダイアフラム部１１０は、可撓性をもち、その外周部は台座１３０によって装置筐体に固定される。振動子１２０は、ダイアフラム部１１０によって変位自在に支持される。ここで、寸法比φ／Ｈの値が「２．２５ ≦ φ／Ｈ ≦ ２．５４」なる条件を満たすように設定すると、他の部分の寸法にかかわらず、振動子１２０の水平方向振動の共振周波数と垂直方向振動の共振周波数とが近似し、コリオリ力の検出感度が著しく向上する。 （もっと読む）

【課題】梁部の剛性を高めずに感度を維持しつつさらに小型化したり梁部の応力を緩和するための設計について自由度が高いＭＥＭＳセンサを提供する。
【解決手段】枠形の支持部と、前記支持部から前記支持部の内側に延伸している複数の梁部と、前記支持部の内側に配置され空隙を挟んで複数の前記梁部に対向している錘部と、それぞれ前記梁部の先端部と前記錘部の互いに異なる結合領域とに結合し前記複数の梁部に前記錘部を連結している複数の連結部と、前記梁部に設けられ前記錘部の運動に伴う前記梁部の変形を検出する検出手段と、を備えるＭＥＭＳセンサ。 （もっと読む）

【課題】可撓部が変形する際に破断しにくく耐衝撃性能に優れたＭＥＭＳセンサを提供する。
【解決手段】支持部と、一端が前記支持部に結合している可撓性を有する膜であって、厚肉部と前記厚肉部との境界を区間端とし前記厚肉部から離れるにつれて厚さが漸減している漸減区間を有する薄肉部とが前記一端から離れる方向に配列されている可撓部と、前記薄肉部に形成され前記薄肉部に生ずる歪みを検出するための歪み検出手段と、を備えるＭＥＭＳセンサ。 （もっと読む）

【課題】電気機械結合係数を改善した、屈曲振動を利用する圧電振動子、および、安定した感度が得られる振動ジャイロ装置の提供を図る。
【解決手段】振動ジャイロ装置１は、圧電基板３と上面電極２と下面電極４とを備え、上面電極２と下面電極４との電位差に応じて主面法線方向に振動する。下面電極４は、電気機械結合係数が下限極値となる値から外した電極厚である。ここで、上面電極２には周波数信号が印加されるものであり、下面電極４は基準電位に接続されるものである。この振動ジャイロ装置の電気機械結合係数は下面電極４の電極厚を変更することで変化して電気機械結合係数の下限極値を示し、電気機械結合係数が下限極値となる値から下面駆動電極の電極厚が外れると、電気機械結合係数がクリップする値まで急峻に立ち上がる特性を有するものである。 （もっと読む）

【課題】 基板に垂直な軸周りの角加速度を高感度に検出する。
【解決手段】 回転質量部３は、基板２の表面と隙間をもって対向した状態で配置する。回転質量部３と固定支持部５Ａ，５Ｂの間は回転支持梁４を用いて連結し、回転支持梁４は回転質量部３を回転可能に支持する。また、回転質量部３の中心部３Ａと固定支持部５Ａ，５Ｂとの間には、検出梁６Ａ〜６Ｄを設ける。これにより、角加速度αによって回転質量部３が回転変位したときには、検出梁６Ａ〜６Ｄのピエゾ抵抗Ｒa〜Ｒdが変化するから、ピエゾ抵抗Ｒa〜Ｒdに応じて角加速度αを検出することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、封止空間内の内部圧力を制御して錘部の振動周波数ｆｚを所望のピーク幅に調整可能にする封止型デバイス及び物理量センサを提供する。
【解決手段】物理量センサは、フレーム部と、フレーム部の内側に配置された錘部と、錘部とフレーム部とを接続する可撓部と、を備えた半導体基板と、フレーム部の一方の側に接合された第１基板と、フレーム部の他方の側に接合された第２基板と、第１基板上に設けられ、錘部と対向する第１電極と、第２基板上に設けられ、錘部と対向する第２電極と、第１基板上又は第２基板上に形成され、第１基板及び第２基板の接合により封止された半導体基板内の封止空間内部を所望の圧力に設定する内部圧力調整部材と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 特に、下地膜を改良して、圧電体膜の圧電定数ｄ３１を高めることが出来る圧電素子及び角速度センサを提供することを目的としている。
【解決手段】 シリコン基板１１上に下から第２下地膜２１、第１下地膜１２、Ｒｕ膜３１、下部電極１３、圧電体膜１４及び上部電極１５の順に積層される。第２下地膜２１はＴａで形成され、第１下地膜１２は、ＮｉＦｅ、ＮｉＣｒ、ＦｅＣｒあるいはＮｉＦｅＣｒで形成される。また、下部電極は、例えば、Ｐｔで形成され、圧電体膜１４は例えばＰＺＴで形成される。これにより従来に比べて効果的に圧電体膜１４の圧電定数ｄ３１を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】ゼロ点出力の急峻な温度変動を低減し、低温から高温まで幅広い環境下において高精度で小型化に適した振動ジャイロセンサを提供する。
【解決手段】容器の内部に振動体を配置し、平板状の蓋体で気密封止して構成する振動体パッケージにおいて、蓋体の厚さ分布を不均一にする。蓋体は中央部が凸形状、中央部が凹形状、容器と接している部分以外に一つ以上の突起物がある形状、容器と接している部分以外に一つ以上の溝がある形状などを取る。 （もっと読む）

【課題】 駆動モードでの振動だけでは検出電極に電荷が発生しないような振動ジャイロ用素子を提供し、ＳＮ比が高く、２軸の角速度の検出が可能で、安価な振動ジャイロを提供すること。
【解決手段】 平面的に形成された付加質量部４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄを、それぞれ、同じ平面内に形成された第１のビーム３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄで支え、隣り合う第１のビーム３ａ、３ｄの接続部を一方の第２のビーム３ｅの一端で支え、別の隣り合う第１のビーム３ｂ、３ｃの接続部を他方の第２のビーム３ｆの一端で支え、さらに、リング状の第４のビーム３ｇの直交する接続端の対向する接続端に第２のビーム３ｅ、ビーム３ｆの他端を接続した振動子１を、第４のビームの別の対向する接続端にそれぞれ接続した第３のビーム３ｈ、３ｉを介して外周部の枠体２で支持し、励振部および検出部として機能させた振動ジャイロ用素子を用いる。 （もっと読む）

【課題】 検知軸が基板の面内方向となる場合でも、駆動モードと検出モードの共振周波数差を小さくして角速度を高感度で検出する。
【解決手段】 基板２には駆動質量部５を設け、駆動質量部５を撓み支持梁からなる駆動梁６を用いてＸ軸方向に振動可能に支持する。また、駆動質量部５の内部には検出質量部７を設け、検出質量部７を検出梁８を用いてＺ軸方向に変位可能に支持する。そして、検出梁８は、捩れ支持梁９と、捩れ支持梁９の端部を駆動質量部５および検出質量部７に接続する接続梁１０とによって構成する。これにより、捩れ支持梁９の端部に作用する応力を低減することができ、加工ばらつきが駆動モードと検出モードの共振周波数差に与える影響を小さくすることができる。 （もっと読む）

ジャイロシステムは、初期の第一振動幾何学的位置において振動する振動型ジャイロスコープであり、測定信号を与える振動型ジャイロスコープに基づく測定値を与える。周期的な命令信号は、ある時間周期に亘り、上記振動型ジャイロスコープに対して、上記時間周期の一部分が経過する間に、上記振動幾何学的位置を第一方向に回転させ（１１）、第一速度プロファイルに従って、上記第一位置から第二位置へ変化させ、上記時間周期の他の部分が経過する間に、上記振動幾何学的位置を上記第一方向とは反対の第二方向に回転させ（１２）、第二速度プロファイルに従って、上記第二位置から上記第一位置へ変化させるように与えられる。上記速度プロファイルは、位置の変化の速度変化を示すものである。上記システムにより与えられる測定値（１３）は、上記ジャイロスコープにより与えられる上記測定値から上記命令信号を減算することにより得られる補正信号に基づいている。
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【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサ及びこれに用いられる角速度センサ素子に関し、検出レベルの向上を目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明は、一端が固定部９に接続され他端が錘部１０に接続された駆動アーム１１からなる角速度センサにおいて、駆動アーム１１の形状を固定部９と錘部１０を結ぶ方向と直交する方向に延びるアーム辺１１ａ，１１ｂの折り返し構造としたものである。 （もっと読む）

【課題】 出力暴れを抑制しつつ加速度を高感度に検出することができる複合センサを提供する。
【解決手段】 ４個の質量部４，８，１２，１３を支持梁１４によって連結する。振動発生部１６，１９は、互いに隣合う質量部４，１３と、質量部８，１２とを逆位相で振動させる。そして、角速度検出用の変位検出部２２，２５は、質量部４，８の内側枠体６，１０を用いてＺ軸周りの角速度Ωを検出する。一方、質量部１２，１３の外側には、質量部２９，３２を設ける。加速度検出用の変位検出部４０，４３は、質量部２９，３２を用いてＹ軸方向の加速度αを検出する。また、基板２と質量部２９，３２との間には、質量部２９，３２の振動を減衰させるダンピング部３４，３７を設ける。これにより、質量部２９，３２の機械的なＱ値を低下することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明に係る静電容量型の物理量センサは、センサ特性の低下を招くことなく、小型化あるいはセンサの感度を向上させる物理量センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】物理量センサは、フレーム部と、フレーム部の内側に配置された錘部と、錘部とフレーム部とを接続する可撓部と、を備えた半導体基板と、フレーム部の一方の側に接合された第１支持基板と、フレーム部の他方の側に接合された第２支持基板と、第１支持基板と第２支持基板の少なくとも一方に設けられ、第１支持基板又は第２支持基板の一方の側と他方の側を導通する配線用端子と、第１支持基板の面上に設けられ、錘部と対向する第１電極と、第２支持基板の面上に設けられ、錘部と対向する第２電極と、を備え、フレーム部には前記フレーム部の一方の側と他方の側を導通する貫通配線部が配設され、貫通配線部と前記配線用端子とは電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】低電源電圧化の要請に従うように圧電振動子のドライブ電圧の振幅を抑制したまま、振動ジャイロの感度を高める。
【解決手段】振動ジャイロ１の圧電振動子１１は、駆動用電極Ｅａに入力されるドライブ電圧V_drvに基づいて振動し、コリオリ力によって生じる変形により、検出用電Ｅｄ１，Ｅｄ２それぞれに変形に応じた電位差で検出電圧V_agcが生じる。ＡＧＣ回路２３は、検出電圧V_agcが一定振幅となるように、自動利得制御してドライブ電圧V_drvを出力する。位相反転回路２０およびＢＴＬ増幅回路２１は、検出電圧V_agcとは位相が反転し、振幅が増幅されたＢＴＬ電圧V_btlを、検出抵抗１１Ａ，１１Ｂを介して検出用電極Ｅｄ１，Ｅｄ２に出力する。ＡＧＣ回路２３は、ドライブ電圧V_drvが設計上限値V'_drvを超えないように、検出電圧V_agcを抑制する。 （もっと読む）

【課題】角速度を検出する感度が高い圧電振動子を提供する。
【解決手段】音叉型圧電振動子７０は、略長方形状の基台部７４および柱状の２つの脚部７６ａ，７６ｂを含む。音叉型圧電振動子７０は、積層される２つの圧電体基板８０，８２を含む。圧電体基板８０，８２間には、内部電極８４が形成される。一方の圧電体基板８０の表面には、３つの駆動検出用電極８６，８８，９０が内部電極８４に対向するように形成される。一方の圧電体基板８０の厚みは、他方の圧電体基板８２の厚みの１／４の厚みに、すなわち、圧電体基板８０，８２の厚みの１／５の厚みに形成される。 （もっと読む）

【課題】
振動子を用いた角速度検出装置において、振動子を定常発振させるための信号は、振動子上の寄生容量を介して検出電極に結合し、検出信号に不要な成分を重畳させてしまう。このために増幅率を上げることができず、角速度検出装置のＳＮＲ改善を妨げていた。これに対し、振動子の振動脚の又部付近に補正電極を設けることで検出電極との間に新たな寄生容量を設け、これを介して不要な成分と逆位相の補正信号を注入することで、不要な成分を相殺する手法がある。しかし、定常的に振動する駆動脚とは別に、角速度の検出のための検出脚を有する設計の振動子の場合、駆動脚の又部は検出電極から遠くなる。したがって寄生容量が小さく、補正量が少ないという問題があった。
【解決手段】
基部の、検出脚付近に補正電極を設けることで、補正電極・検出電極間の寄生容量を大きくし、補正量を増やすことで、不要成分を充分に相殺する。 （もっと読む）

【課題】 補助的な光ジャイロを有しながらも小型で安価な光ファイバジャイロを提供する。
【解決手段】 光ファイバジャイロ１は、主要な検出系である第１の光ジャイロ１１と補助的な検出系である第２の光ジャイロ３１と、から構成されている。第１の光ジャイロ１１は、両端面から光を出射させる半導体レーザ１２と、光ファイバをボビンに多重巻きして光ファイバコイル部１６ｂを形成してなる感知コイル１６を有し、半導体レーザ１２の両端面１２ａ，１２ｂから出射した光を互いに反対方向に周回させる第１の光ファイバループ１３と、を備えている。一方、第２の光ジャイロ３１は、一端面から光を出射させるＳＬＤ３２と、ＳＬＤ３２の一端面から出射した光を２方向に分配する光分配器３３と、光分配器３３により２方向に分配された光が一対の光結合器１７，１８を介して感知コイル１６に導かれるように構成された第２の光ファイバループ３４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 小型かつ安価でありながら高性能な半導体リングレーザジャイロを提供する。
【解決手段】 半導体リングレーザジャイロ１は、両端面から光を出射させる半導体レーザ２と、半導体レーザの両端面から出射した光を互いに反対方向に周回させ、前記半導体レーザとともに共振器を構成する光ファイバリング３と、前記光ファイバ内を互いに反対方向に周回する２つの光のビート周波数から回転角速度を検出するための光検出部９とを備えている。光ファイバリング３は、光ファイバを円筒状のボビンに多重巻きして構成される感知コイル６を有している。そして、光ファイバの全長Ｌが、リング共振周波数Ｆ_rlg （＝Ｃ／ｎＬ）とビート周波数ΔＦ_beat（＝２ｒΩ／ｎλ）とが２ΔＦ_{beat_max}＜Ｆ_rlg≦１０ΔＦ_{beat_min}を満たす長さに設定されている。 （もっと読む）