【課題】小型化を実現でき、検出感度に優れる静電容量型ジャイロセンサを提供する。
【解決手段】内部に空洞１０を有する半導体基板２の表面部（上壁１１）に、第１ベース部６３と、第１ベース部６３と一体をなす櫛歯状の第１櫛歯部６４とを含むＺ固定電極６１を形成する。また、当該上壁１１に、第２ベース部６５と、第２ベース部６５と一体をなし、Ｚ固定電極６１の第１櫛歯部６４に対して間隔を空けて噛み合う第２櫛歯部６６とを含み、Ｚ固定電極６１に対して上下動可能なＺ可動電極６２を形成する。そして、ベース部６３の対向部８４には、第１駆動部１８を形成し、この第１駆動部１８に櫛歯状に噛み合うように、Ｚ可動電極６２の先端部７０に、櫛歯状の第２駆動部１９を形成する。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値の低下を効果的に防止または抑制することができ、優れた性能を発揮することのできる振動片、振動子および電子機器を提供すること。
【解決手段】振動片２は、基部２１と、検出用振動腕２２、２３と、連結腕２４、２５と、駆動用振動腕２６、２７、２８、２９とを有している。連結腕２４は、Ｙ軸方向への屈曲振動により圧縮または伸長する第１面２４３と、第１面２４３が圧縮したときに伸長し、第１面２４３が伸長したときに圧縮する第２面２４４と、第１面２４３と第２面２４４との間に設けられた溝４３１、４３２とを有している。連結腕２４の屈曲振動周波数をｆとし、円周率をπとし、連結腕２４に用いた材料の振動方向の熱伝導率をｋとし、連結腕２４に用いた材料の質量密度をρとし、連結腕２４に用いた材料の熱容量をＣｐとし、連結腕２４の振動方向の幅をａとし、ｆｍ＝πｋ／（２ρＣｐａ^２）としたとき、１＜ｆ／ｆｍである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子を用いた慣性力センサに関し、検出精度に対する長期信頼性を高めることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、振動子１と、振動子１を振動可能に支持する台座７と、振動子１を制御するＩＣ２と、これら振動子１、台座７、ＩＣ２を収容するパッケージ３とを備えた慣性力センサにおいて、振動子１は振動部４とこれを支持する支持部６からなり、台座７は底部１６とこの底部１６外周に設けた側壁部１７からなり、支持部６の一部を側壁部１７の上面に接着固定し、この接着領域における支持部６の側面に側壁部１７に至る切欠き部１８を設けた構成とした。 （もっと読む）

【課題】小型で感度が高い振動型角速度センサを提供する。
【解決手段】支持部と、錘部と、前記錘部からそれぞれ前記支持部まで延伸し前記錘部を支持している複数の梁部と、前記錘部を励振する励振手段と、前記支持部に対する前記錘部の運動を検出する検出手段と、前記支持部および前記錘部の少なくとも一方の前記梁部との境界近傍に形成され、前記梁部の張力に応じて前記梁部の延伸方向に弾性変形し前記梁部の主撓み方向には実質的に変形しないばね定数安定化手段と、を備える振動型角速度センサ。 （もっと読む）

【課題】感度が高く製造コストが低い振動型角速度センサによって直交する３軸周りの角速度を検出する。
【解決手段】振動中心を含む基準平面において振動中心を基準として等方的に配置された３つ以上の錘部と、前記錘部に連結される結合部と、基準平面に対して垂直に往復運動可能に且つ基準平面と平行で、放射方向に往復振動可能に、前記３つ以上の錘部のそれぞれを結合部に連結する第一ばね部と、３つ以上の錘部を連結する第二ばね部と、基準平面に垂直な軸周りに回転振動可能に前結合部を支持部に連結する第三ばねと、放射方向に３つ以上の錘部を同期して往復振動させるための励振素子と、基準平面の垂線方向について３つ以上の錘部の変位を検出する第一検出素子と、基準平面に垂直な軸周りの結合部のトルクを検出するための第二検出素子と、から構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、コリオリ力を利用した角速度センサ装置に関し、角速度の検出精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、振動型センサ素子１およびこのセンサ素子１を振動可能に支持する台座７と、台座７を天面に実装するとともにセンサ素子１を制御するＩＣ２をパッケージ３内部に配置した角速度センサ装置において、台座７を形成する底板１６の実装面の少なくとも四隅に凹部１９を形成し残部２０をＩＣの天面に接続する構成とした。 （もっと読む）

【課題】加工誤差によって、角速度変化に対するサーボ電圧変化が低下することが抑制された角速度センサを提供する。
【解決手段】基板と、対を成す振動子と、互いに直交する振動軸と検出軸との２軸方向に変位可能となるように、対を成す振動子同士を連結すると共に、それぞれを基板に連結する梁部と、対を成す振動子を、振動軸方向に互いに逆位相で振動させる駆動部と、振動子の振動、及び被検出軸方向の周りの角速度によって、振動子に発生したコリオリ力による、振動子の検出軸方向への変位を静電容量の変化として検出する検出部と、静電容量の変化に基づいて、対を成す振動子それぞれの検出軸方向への変位を抑制する抑制部と、を備え、抑制部は、第１抑制電極と第２抑制電極を有し、その電極間隔が、検出部の構成要素である検出電極の検出軸方向の幅の２倍となっている。 （もっと読む）

【課題】装置全体が小型でありながら、検出感度の高いセンサを製造することが可能な技術を提供する。
【解決手段】本発明は基板上に形成される可動体として具現化される。その可動体は、第１枠体と、前記第１枠体に対して、互いに対向して、かつ部分的にあるいは完全に重なり合うように配置されている第２枠体と、第１ばね部を介して前記第１枠体と接続しており、かつ第２ばね部を介して前記第２枠体と接続している結合部と、第３ばね部を介して前記結合部と接続している、前記基板に固定された固定部を備えている。前記第１ばね部、前記第２ばね部および前記第３ばね部は、一方向のばね定数が他の方向のばね定数に比べて顕著に低く、実質的に当該一方向のみの相対変位を許容する。前記第１ばね部、前記第２ばね部および前記第３ばね部が相対変位を許容する方向は、互いに直交している。 （もっと読む）

【課題】低駆動電圧化を図りつつ、物理量（例えば速度、加速度等）を高精度に検出することができる物理量センサー素子片、物理量センサー素子および物理量センサーを提供すること。
【解決手段】物理量センサー素子片２は、電圧の印加により捩り振動する４つの駆動用振動腕２２、２３と、駆動用振動腕２２、２３とは別体として設けられ、駆動用振動腕２２、２３が屈曲振動したときにその屈曲振動に伴って屈曲振動し、その屈曲振動の状態に応じた電荷を生じさせる２つの検出用振動腕１００とを有し、検出用振動腕１００で生じた電荷に基づいて、所定の物理量を検出し得る。 （もっと読む）

【課題】センサを密封する、MEMSセンサ・パッケージを提供する。
【解決手段】MEMSセンサ・パッケージは、MEMSセンサと、第1のリーク・レートでガスリークに浸透するセンサボディと、埋め戻し圧力までセンサボディに加圧する埋め戻しガスと、を有し、埋め戻し圧力は、MEMSセンサの減衰を提供し、埋め戻し圧力は、ガスリークのためのセンサボディ内の圧力の増加が、MEMSセンサ・パッケージに関する少なくとも特定の設計サービス寿命に関する所定の範囲を越えて、MEMSセンサのQ値の偏差に生じさせないようにセットされる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサに用いられる角速度センサ素子に関し、出力感度の大きな角速度センサ素子を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサ素子は、第１の駆動アーム１１ａおよび第２の駆動アーム１１ｂの形状を錘部１０の振動方向と直交する方向に延びるアーム辺の折り返し構造としたものであり、この構成によれば、第１の駆動アームおよび第２の駆動アームの振動方向への変位量が大きくなり、これにより、出力感度が大きな角速度センサ素子を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】複数の検出軸まわりの回転の角速度を検出することが可能な振動片、それを用い
た角速度センサー、およびそれを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】第１基部６Ａと、第１基部６Ａの第１軸方向の両端部から略同じ長さで延出
された第１駆動アーム２Ａおよび第２駆動アーム３Ａと、第１基部６Ａの第１軸方向と直
交する第２軸方向の一方の端部から延出された第１検出アーム４Ａと、第１基部６Ａの第
１検出アーム４Ａが延出された一端部とは反対側の他端部から延出された接続部５と、接
続部５に一端部が接続された第２基部６Ｂと、第２基部６Ｂの接続部５と接続された一端
部とは反対側の他端部から第１検出アーム４Ａと略同じ長さで延出された第２検出アーム
４Ｂと、第２基部６Ｂの第１軸方向の両端部から第１および第２駆動アーム２Ａ，３Ａと
略同じ長さで延出された一対の第３および第４駆動アーム２Ｂ，３Ｂと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】従来のジャイロセンサ素子の製造方法では、離調度層別をするためだけに振動測定用電極を形成する必要があり、多大な工数がかかり、リードタイムが長くなり、更には、不良発生の要因になり、歩留まりを低下させるという問題があった。
【解決手段】水晶片２の駆動振動脚３の幅を測定し、離調度ランク換算表を用いて、駆動振動脚３の幅毎に離調度ランク層別を行う。 （もっと読む）

【課題】固定部と該固定部の外径側を囲むように配設された錘とを複数の梁で連結してなる振動体を備えたセンサ素子を例えばＳＯＩウェハを用いたＳｉウェハ一括プロセス処理で形成できるようにした振動体型力学量センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】振動体１１を備えたセンサ素子よりなる振動体型力学量センサにおいて、前記センサ素子は半導体部材から形成されたものであるとともに、振動体１１は固定部１２と固定部１２の外径側を囲むように配設された錘１４とを複数の梁１３で連結したものであり、さらに、前記センサ素子の一方の面にガラス基板１０１が接合され、固定部１２がガラス基板１０１側と接合されることにより振動体１１がガラス基板１０１で機械的に支持されてなる構成としている。 （もっと読む）

【課題】 振動型ジャイロ素子の検出精度を向上させること。
【解決手段】 振動型ジャイロ素子は、基部１０と、基部から、所定面内で第１方向に延出する駆動腕２０と、基部１０から、所定面内において第１方向と交差する第２方向に延出する検出腕３０と、駆動腕２０に設けられる駆動電極と、検出腕に設けられる検出電極と、を含み、駆動腕２０は、駆動電極によって形成される電界による歪みによって、所定面に垂直な第３方向に振動し、これによって駆動振動ＶＡが生じ、第１方向の軸回りに作用する角速度によって駆動腕２０に第１検出振動ＶＢが生じると、検出腕３０に、第１検出振動ＶＢに対応した第２検出振動ＶＣが生じ、第２検出振動ＶＣに基づく歪みによって検出腕３０に電界が生じ、検出腕に３０生じる電界によって電荷（Ｑ１〜Ｑ４）の移動が生じ、電荷（Ｑ１〜Ｑ４）の移動による電気信号が検出電極から取り出される。 （もっと読む）

【課題】 振動型ジャイロセンサーの検出精度を向上させる。
【解決手段】 基部１０と、基部から所定面内で第１方向（Ｙ軸方向）に延出する検出腕３０と、検出腕の連結部２５から、所定面内で第１方向と交差する方向である正の第２方向（＋Ｘ軸方向）に延出する第１駆動腕２０と、検出腕の連結部から負の第２方向（−Ｘ軸方向）に延出する第２駆動腕２０’と、を含み、第１駆動腕２０と第２駆動腕２０’の各々は、所定面に直交する第３方向（Ｚ軸方向）に、かつ変位方向が互いに同じになるように振動し、第１方向の軸回りに作用する角速度によって第２方向にコリオリ力Ｆｃが生じ、検出腕３０に第２方向の検出振動ＶＢが生じ、検出振動による歪みに対応して電界が生じ、電荷が移動し、電気信号が検出腕３０に設けられる検出電極から取り出される。 （もっと読む）

【課題】実装基板に対する振動片の平行度を確保することができる圧電デバイス、振動ジ
ャイロを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の圧電デバイス１０は、第一の金属膜を表面に有する第一、第二及び
第三のバンプを含み、前記第一、第二及び第三のバンプを第一の面に有する半導体デバイ
ス４０と、第二の金属膜を有し、前記第二の金属膜を介して前記第一の金属膜に接続され
た圧電振動片６０と、を備え、前記第一、第二及び第三のバンプの前記第一の面から頂部
までの高さは、それぞれ同じであり、前記第三のバンプの重心は、前記第一のバンプの重
心と前記第二のバンプの重心とを結んだ場合に形成される直線から離間していることを特
徴としている。 （もっと読む）

【課題】力の検出軸方向に対し圧電センサーの主面が直交するように、振動型慣性センサ
ーチップの圧電センサーの主平面と、これを収容するパッケージの外部底面とが平行にな
るような慣性センサーを提供する。
【解決手段】慣性センサー１は、圧電センサー１０と圧電センサー１０を支持する第１支
持面及び第２支持面を有した支持基板２０とを備えた振動型の慣性センサーチップ３と、
慣性センサーチップ３を支持台４を介して片持ち梁の状態で搭載する基台５と、慣性セン
サーチップ３と基台５とを同一空間内に収容する空間を備えたパッケージ７と、を備えて
おり、基台５は圧電デバイス６を一体的に備えている慣性センサー１である。 （もっと読む）

【課題】小型化かつ、接続信頼性の向上を図った圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方
法を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の圧電デバイス１０は、接続用電極パッド６４を備えた圧電振動片６
０と、前記接続用電極パッド６４と電気的に接続すると共に前記圧電振動片６０を支持す
る電極パターン５０を備えた半導体デバイス４０とを備え、前記電極パターン５０は一方
の端部を前記半導体デバイス４０のパッドと接続させ、他方の端部を前記接続用電極パッ
ド６４と接続させ、前記一方の端部と前記他方の端部の間に前記半導体デバイス４０の一
方の主面４３から離反する方向に立ち上がる屈曲部５２を形成し、前記一方の主面４３と
前記電極パターン５０の間の屈曲部５２に樹脂を形成したことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】従来に比して高感度且つ高精度であり、しかも、耐久性を向上させることができる角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】本発明による角速度センサ装置１は、正多角形状の枠体６と、その枠体６に接続された複数のマス７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄとを有する駆動部を備えている。枠体６は、多角形の辺に相当する複数の駆動梁５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄから構成されており、角速度センサ装置１は、多角形の中心点に相当する中心基部２と、多角形の頂点とを結ぶ直線に相当する複数の検出梁３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄを含む検出部を更に有している。 （もっと読む）