【課題】小型化と同時に、角速度の検出精度が高く、外乱に対して強い振動ジャイロを提供する。
【解決手段】円環状又は多角形状の振動体１１と、振動体１１を柔軟に支持するとともに固定端を有するレッグ部１５と、振動体１１の上方に形成されるとともに、第１上層金属膜５０及び第１下層金属膜３０により圧電体膜を厚み方向に挟む複数の電極を備え、さらに、レッグ部１５上のシリコン酸化膜２０上に形成されるとともに、第１下層金属膜３０と連続する第２下層金属膜３１と、シリコン酸化膜２０上又はその上方に形成されるとともに、第１下層金属膜３０及び第２下層金属膜３１と接することなく圧電体膜４０上を経由して第１上層金属膜５０と連続する、第２下層金属膜と実質的に同層の第２上層金属膜５１とを備える。 （もっと読む）

【課題】外部からの衝撃に対して高い耐久性を有するとともに検出精度の高い角速度センサを提供する。
【解決手段】本発明の一形態に係る角速度センサ１は、基部３と、振動子部２と、支持部１６と、緩衝部１５とを具備する。支持部１６は、基部３と振動子部２との間に接続されており、振動子部２を支持し、基部３の幅よりも小さい幅を有している。緩衝部１６は、基部３と支持部１６との間に接続されており、基部３の厚みよりも小さい厚みを有し、基部３の幅と同等の幅を有している。支持部１６は、基部３の幅よりも小さい幅で形成されているため、振動子部２から基部３へ向かう振動の伝播を効率よく抑える。また、緩衝部１６は、基部３の厚さよりも小さい厚みで形成されているため、基部３に比べて撓み易く、これにより支持部１６に作用する応力を効果的に緩和する。 （もっと読む）

【課題】物体の特定の１点の３次元運動状態を表す加速度と角速度とを精度良く検出するできるとともに物体の姿勢を検出できる小型のモーションセンサを実現する。
【解決手段】加速度および角速度が検出される物体に固定されるフレームと、一端が前記フレームに結合し他端が前記フレームの内側に突出している複数のビームと、複数の前記ビームのそれぞれの前記他端に結合し複数の前記ビームによって前記フレームの内側において前記フレームに対して運動可能に支持されている環形の可動リングと、前記可動リングに張り渡されたダイヤフラムと、前記ダイヤフラムに結合し前記ダイヤフラムによって前記可動リングに対して運動可能に前記可動リングの内側において支持されている内錘と、前記内錘を周回運動させるための駆動手段と、前記ダイヤフラムに設けられ互いに直交する３軸の角速度成分を検出するための複数の圧電素子と、複数の前記ビームに設けられ互いに直交する３軸の加速度成分を検出するための複数のピエゾ抵抗素子と、を備えるモーションセンサ。 （もっと読む）

【課題】光センサ内の光駆動回路の出力分解能を向上させる。
【解決手段】光センサ回路は、アナログ測定データを生成する光学回路１０と、アナログ測定データを検出し、アナログ測定データをデジタル測定データに変換する検出器回路２０と、デジタル測定データを復調し、その後、復調されたデジタル測定データに基づいてセグメント化デジタル信号を生成する信号処理回路３０とを備える。光センサ回路は、セグメント化デジタル信号に基づいてアナログ駆動信号を生成する光学駆動回路４０をさらに備える。そして、アナログ駆動信号が使用されて光学回路が駆動される。 （もっと読む）

【課題】パッケージングした振動型ジャイロセンサ素子を良好な共振特性、且つ、高感度にする。
【解決手段】圧電薄膜５の圧電効果を利用して角速度を検出する振動型ジャイロセンサ素子１０をカバー材３０とＩＣ基板２１を用いて大気中でパッケージングし、上部電極６は、振動子１１を振動させる電圧を印加する振動子１１の長手方向に形成された駆動電極６ａと、駆動電極６ａと接触することなく平行に振動子１１の長手方向に形成され、振動の方向と垂直な方向に発生するコリオリ力を検出する検出電極６ｂ，６ｃとからなり、振動子１１の振動していない状態での、振動子１１から対向部までの距離を、振動子１１が最も振動した場合の変位量である最大変位量の２．５倍以上とした周囲空間が、振動子１１の振動方向に設けられており、振動子１１の振動していない状態での、振動子１１から対向部までの距離を、振動子１１のコリオリ力検出方向の幅の２倍以上とした周囲空間が、振動子１１のコリオリ力検出方向に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡素で高精度の実用性の高い振動ジャイロセンサ振動体の提供を目的として、その駆動部と検出部をそれぞれ別の振動体に設け、これを接合或いは一体加工して構成する新しい考案を行うこと。
【解決手段】 弾性材料より成る実質的な真直ぐな板状棒を主体とし、該棒は駆動部と検出部に分離されて機能する様に配置・構成する。すなわち、駆動部は主にその長手方向の縦振動で励振され、検出部は屈曲振動（面垂直横振動も含む）で動作する様にした複合振動体として構成する。ここに両部の振動体は主に圧電的に動作することを考慮しているが、原理的に静電的、磁気的に動作させても良い。 （もっと読む）

【課題】感度特性に優れ、生産性の向上を図ることができる角速度センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る角速度センサの製造方法は、振動子部１０２の厚みに相当する厚みの基板１１１と、基板１１１よりも厚い基板１１２とをそれぞれ準備することを含む。基板１１２の上には絶縁膜１１２ａが形成される。絶縁膜１１２ａには基板１１２の表面を露出させる開口９０が形成される。基板１１１と基板１１２は絶縁膜１１２ａを挟んで貼り合わされる。基板１１１の上には圧電機能層７が形成される。開口９０の形成位置に対応する基板１１１上の領域内には振動子部１０２が形成される。基板１１１及び基板１１２を切断することで基部１０３の外形が形成される。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】測定装置（８）はマイクロエレクトロメカニカル容量センサ（９ａ、９ｂ）を有しており、前記センサは、検査質量（２）の機械的な変位を測定するために、互いに近づきかつ互いに離れるように移動可能な電極を有している。前記測定装置（８）は電荷積分器を有しており、その電荷積分器は演算増幅器（１１）を有し、その演算増幅器は、センサ（９ａ、９ｂ）と接続された少なくとも１つの増幅器入力（１３ａ、１３ｂ）と、増幅器出力（１５ａ、１５ｂ）と、を有し、その増幅器出力は、積分コンデンサ（１６ａ、１６ｂ）を介して増幅器入力（１３ａ、１３ｂ）にフィードバックされている。前記増幅器入力（１３ａ、１３ｂ）は、高オームの電気抵抗（１７ａ、１７ｂ）を介して電気的なコモンモード参照電位のための端子（１８）と接続されている。前記演算増幅器（１１）は、前記増幅器入力（１３ａ、１３ｂ）に加えて、補助入力（２０ａ、２０ｂ）を有している。前記増幅器出力（１５ａ、１５ｂ）は、ローパス（２２）を介して補助入力（２０ａ、２０ｂ）と接続されている。 （もっと読む）

【課題】各圧電振動子の駆動周波数の差による干渉ノイズの問題、干渉周波数成分を除去するローパスフィルタを設けることによる応答性悪化の問題、周波数を異ならせることによる各軸の検知特性のずれの問題を解消する。
【解決手段】入力バッファ２１，３１は圧電振動子１１，１２の検出用電極Ｅｄに現れる電圧信号を入力する。加算回路２２は、入力バッファ２１，３１の出力電圧をそれぞれ加算し、振幅制御回路２３は加算回路２２の出力電圧が一定振幅になるようにしてループゲインを自動利得制御する。移相回路２４は正帰還によって発振動作するように圧電振動子１１，１２へ与える駆動電圧の位相を制御する。差動増幅回路２５，３５は軸回りの角速度に応じて現れる電圧差を増幅し、同期検波回路２８，３８は発振信号から生成した同期信号で検波を行い、角速度に応じた電圧信号を検出する。 （もっと読む）

【課題】 センサの検出感度が良好で、振動子を安定的に固定することができる二軸型角速度センサを提供する。
【解決手段】 非圧電材料からなる振動子３と、この振動子３に設けられた駆動用電気−機械エネルギ変換素子２３及び検出用電気−機械エネルギ変換素子２５と、駆動用電気−機械エネルギ変換素子２３に対して設けられた複数の駆動用電極２７と、検出用電気−機械エネルギ変換素子２５に対して設けられた複数の検出用電極２９とを備える。振動子３は、振動子の中心に位置する中心部５と８つのアーム部からなる第１乃至第８のアーム部７〜２１から構成する。第５乃至第８のアーム部１５乃至２１の中心部５とは反対側に位置する端部をそれぞれ固定状態にする。 （もっと読む）

【課題】新規な構造の半導体力学量センサを提供すること。
【解決手段】単結晶シリコン基板１０１に片持ち梁１０２が形成され、その先端に錘１３９が形成され、さらに突起１０４が延設され、可動電極を形成している。突起１０４に対向するように突起１０６、１０７が離間して固定されて配置されており、固定電極を形成している。そして、本センサにおける容量を取り出す電極および振動電極の外部取り出し用のアルミ電極は、単結晶シリコン基板１０１の主表面上に形成されている。 （もっと読む）

【課題】センサ信号と検波信号との位相関係を精密に調整する。
【解決手段】波形整形回路１０１は、物理量センサに供給される駆動信号Ｓｄｒｖを基準クロックＣＫｒｅｆに変換する。ＰＬＬ回路１０２は、基準クロックＣＫｒｅｆを逓倍してそれぞれ位相が異なるｎ個の発振クロックＣＫ０，ＣＫ１，・・・，ＣＫｎ−１を生成する。セレクタ１０３は、設定値ＳＥＴ１に基づいて発振クロックＣＫ０，ＣＫ１，・・・，ＣＫｎ−１のいずれか１つを選択クロックＣＫＳＥＬとして出力する。分周回路１０５は、選択クロックＣＫＳＥＬを分周してアナログ検波信号Ｓｄｅｔを生成する。入力アンプ１０６は、物理量センサからのセンサ信号Ｓ１０を電圧に変換してアナログセンサ信号Ｓｓｎｃとして出力する。同期検波回路１０７は、アナログ検波信号Ｓｄｅｔを用いてアナログセンサ信号Ｓｓｎｃから物理量信号を検波する。 （もっと読む）

【課題】量産性に優れ、小型で高感度な音叉型振動子を有する角速度センサを提供すること。
【解決手段】本発明は、ベース部１０と、ベース部１０から延びる少なくとも２本のアーム部１２と、２本のアーム部１２それぞれの表面にそれぞれ形成された第１駆動電極２８及び第１検出電極３０と、２本のアーム部１２それぞれの側面から裏面にかけて形成され、互いに電気的に接続された第２駆動電極３２と、を有する音叉型振動子を具備することを特徴とする角速度センサ。 （もっと読む）

【課題】 放射状６脚を有するジャイロセンサ振動体に最適な形状および構造を与えることによって、優れた性能のジャイロセンサ振動体を提供すること。
【解決手段】１個の共通の基部１から互いに６０度ずつの角度をなして１平面内に放射状に配列された６本の振動脚２a〜２ｆを有し、６本の脚のうち一直線に並ぶ２本の脚に前記１平面に平行な方向の脚のたわみを検出する検出電極を設けて検出脚とし、他の脚には前記１平面に垂直な方向の脚の振動を駆動する駆動電極を設けて駆動脚とすると共に、検出脚に平行な方向の回転軸回りの回転角速度を、検出脚を用いて検出するようにし、基部１によって支持を行ったジャイロセンサ振動体。 （もっと読む）

【課題】感度が高く感度の温度依存性が低いＭＥＭＳを提供する。
【解決手段】シリコンウエハの２つの主面の一方側からの加工により、可撓部と前記可撓部の変形または変位を検出するための検出手段とを形成し、前記シリコンウエハの２つの前記主面の他方に所定の金属材料に比べて前記シリコンウエハに熱膨張係数が近い連結材料からなる第二ウエハを直接接合し、前記第二ウエハをエッチングすることにより環状の間隙を形成するとともに前記間隙に囲まれ前記連結材料からなる連結部を形成し、前記間隙に表れる前記シリコンウエハの前記他方の主面と前記第二ウエハの端面とに犠牲膜を形成し、前記連結部および前記犠牲膜の表面に前記金属材料を堆積させることにより前記金属材料からなる錘部を形成する、ことを含むＭＥＭＳ製造方法。 （もっと読む）

【課題】キャップを金属製ステムにシール封止する際に、ステム胴部とキャップとの間で接触を生じ、スパーク等を生じて、内部の部品に影響を及ぼすことのないジャイロパッケージを得る。
【解決手段】ジャイロ部品を搭載した金属製ステム（１０）に金属製キャップ（２０）を位置決めしてシール封止する構造を有するジャイロパッケージにおいて、金属製ステムのステム胴部（１１）をテーパ状に形成し、金属製キャップのフランジ部（２２）と金属製ステムのフランジ部（１２）との間で電気溶接により接合したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動腕の振動周波数を調整することができ、感度及び応答性を高めることができる角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る角速度センサ素子１は、少なくとも１つの振動腕２ｂと、振動腕２ｂの両端を固定する一対の支持部２ａ，２ａ、及び一対の支持部２ａ，２ａを連結する伸縮可能な伸縮部２ｂを備える支持枠２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】感度特性と応答特性とに優れた振動ジャイロセンサを提供する。
【解決手段】振動ジャイロセンサ１０は、それぞれ同一の材質から成る駆動振動アーム１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ，１４Ｄと、検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄを備える。駆動振動アーム１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ，１４Ｄは、その振動方向Ｐと平行な方向の材質のヤング率が相対的に大きくなるように形成される。一方、検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄは、その振動方向Ｑ１，Ｑ２と平行な方向の材質のヤング率が相対的に小さくなるように形成される。これにより、感度特性を維持したまま、応答特性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】感度特性と応答特性とに優れた振動ジャイロセンサを提供する。
【解決手段】振動ジャイロセンサ１０は、駆動振動アーム１４Ａ，１４Ｂと、駆動振動アーム１４Ａ，１４Ｂを振動させるための駆動圧電素子２０Ａ，２０Ｂと、駆動振動アーム１４Ａ，１４Ｂを振動させながら振動ジャイロセンサ１０を回転させたときに生じる角速度に応じて励振する検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂと、検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂの振動を検出するための検出圧電素子３０Ａ，３０Ｂと、検出圧電素子３０Ａ，３０Ｂの少なくとも一部を被覆する樹脂層を備える。検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂの検出振動は樹脂層によって効率よく減衰されるので、感度特性を維持しつつ、応答特性を一層向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】素子部における振動の伝達過程における枠状の固定部の変形を防止して、素子部において効率良く駆動系から検出系の振動腕へ振動を伝達させることにより、検出出力を高めることができる角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る角速度センサ素子２は、枠状の固定部２１と、固定部２１の枠内に固定され、駆動系及び検出系の振動腕２２〜２４を備えた素子部２０と、固定部２１上であって少なくとも固定部２１と素子部２０との連結部位に形成された、固定部２１を補強する接着剤２６（補強材）と、を有する。 （もっと読む）